半导体设备

作品数：1290被引量：220H指数：6
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一种半导体设备的软件自动化测试平台设计
《电子工业专用设备》2024年第6期38-42,共5页宫晨 付纯鹤 郑佳晶 高荣荣 张叶 
针对大型半导体设备软件组件众多、多人并行开发、离线环境开发周期长、真实场景集成周期短的特点,提出了一种软件自动化测试平台的实现方法,该方法提供了自动化测试平台、虚拟仿真平台,能够仿真硬件环境,定时对软件进行自动构建、自动...
关键词：半导体设备 软件自动化测试 虚拟仿真 
半导体供应链信息分类方法及平台应用
《电子工业专用设备》2024年第5期73-76,共4页盛齐宇 
效率是企业在竞争中的关键指标之一,在业务流程中存在一些非常容易被忽视的问题。为了解决这些问题而建立的互联网方案,用这种高效的平台来助力半导体企业提质降本增效。
关键词：半导体设备 半导体材料 半导体零部件 产品分类分级方法 网络信息平台构建 
磁浮平面电机在超精密工件台中的应用
《电子工业专用设备》2024年第3期68-71,共4页王伟 王文举 张继静 
为了提高半导体设备生产效率和整机性能,设备制造商想尽各种办法。介绍了超精密工件台三维模型,以及磁浮平面电机原理、组成、特性、技术指标与应用前景。同时阐述了超精密工件台采用磁浮平面电机,具有结构简单、高速度和高加速度、高...
关键词：半导体设备 超精密工件台 磁浮平面电机 双工件台 
SiC外延生长设备感应电源电磁干扰及防护措施设计
《电子工业专用设备》2024年第2期42-45,62,共5页周立平 陈国钦 熊峥 鲁彤 
在SiC外延生长设备的研制过程中,出现感应电源对设备其它部件存在电磁干扰,影响数据采集的稳定性和真实性,不利于设备控制的稳定性。分别从干扰现象、干扰机理、防护措施对问题进行阐述、分析和解决。
关键词：SiC外延 半导体设备 电磁干扰 防护措施 
外延生长设备EFEM系统设计被引量：1
《电子工业专用设备》2024年第1期15-18,共4页陈国钦 吴限 周立平 巴赛 
阐述了应用于外延生长设备的EFEM系统,通过采用顶升机构、机械手和校准器等部件,结合机器视觉辅助判断方法,设计了一种外延生长设备的EFEM系统,该系统有效地提高了晶圆洁净度,提升了设备的自动化水平;并在相关机型进行应用和测试,能够...
关键词：外延生长 机械手 机器视觉 半导体设备前端模块 
半导体设备运动控制系统接口设计被引量：1
《电子工业专用设备》2023年第1期31-33,49,共4页宋婉贞 周庆奎 陈高升 刘宝航 
在多自由度纳米级运动平台的运动控制系统架构中,运动控制器和电机驱动器之间增加了运动控制系统接口的设计,用于实现光纤接口和模拟量控制接口的转换,从而完成运动平台的驱动控制。运动控制系统接口的设计主要针对光纤接口的运动控制...
关键词：半导体设备 运动控制架构 系统接口设计 硬件 现场可编程逻辑门阵列程序(FPGA) 
半导体设备运动轨迹规划及平滑停止算法被引量：1
《电子工业专用设备》2023年第1期34-39,共6页步石 陈国兴 赵立华 陈沿宇 杨际腾 
为满足半导体精密设备步进速度和精度的控制要求,步进运动轨迹应具备精度高、冲击小、速度快等特征。根据其运动轨迹特征,设计出四阶S型运动轨迹规划算法,但在实际应用中,一种轨迹规划通常并不能完全覆盖所有的使用场景。为实现能够根...
关键词：运动控制 轨迹规划 平滑停止 精密运动 
半导体设备工艺配方管理系统研究
《电子工业专用设备》2023年第1期40-44,共5页吴燕林 孟晓云 刘福强 田洪涛 张康 
半导体设备工艺配方(以下简称配方),是指半导体设备工作状态下各种工艺参数的组合,其准确与否直接影响到半导体器件的质量。随着半导体设备自动化需求的不断提高,为减少人为误差,主机端需要严格把控设备端的配方内容,对设备端的配方管...
关键词：半导体设备 设备自动化 配方管理系统 配方交互 
半导体设备承载板的模态分析及拓扑优化被引量：2
《电子工业专用设备》2022年第5期56-59,共4页李龙飞 李树彦 侯得锋 杨师 梅阳 
为提升半导体专用设备的动力学性能,需要对其中的承载板进行结构优化,以确保该零件模态频率和质量满足使用要求。采用有限元软件对优化前的承载板进行模态分析,得到特定边界条件下的垂向模态频率。之后利用拓扑优化的方法,将承载板需要...
关键词：承载板 模态分析 拓扑优化 模态频率 
2021年中国半导体设备发展预测
《电子工业专用设备》2021年第3期20-20,共1页
随着国际贸易摩擦持续升温,2021年全球受到第二波疫情的影响,国内疫情得到有效控制,行业内企业集成电路设备和太阳能电池设备在市场推动下,将保持持续增长,预计2021年中国主要半导体设备制造商销售收入将达300亿元左右,同比增长23%左右...
关键词：半导体设备 持续增长 集成电路 销售收入 国际贸易摩擦 太阳能电池 设备制造商 
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