压阻式压力传感器

作品数：187被引量：755H指数：14
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基于仿生微结构的高性能柔性压力传感器被引量：2
《传感器与微系统》2023年第1期98-100,104,共4页杨红波 陈文东 
河南省教育厅高校重点研究项目(22B510017)。
柔性压阻式压力传感器可用于对人体姿态变化进行准确的检测。设计了一种新型柔性压阻式压力传感器。采用了聚二甲基硅氧烷(PDMS)基底、石墨烯油墨等材料对传感器进行了制备,阐述了制备的具体过程。然后,针对传感器的表面形貌和性能进行...
关键词：压阻式压力传感器 仿生白果叶微结构 聚二甲基硅氧烷 柔性材料 
MEMS电镀金属掩模工艺研究被引量：3
《传感器与微系统》2022年第11期27-30,34,共5页宫凯勋 梁庭 雷程 董志超 赵珠杰 白晨 
山西省自然科学基金资助项目(201801D221203);山西省重点研发计划项目(201903D121123);中央引导地方科技发展资金资助项目(YDZX20201400001664);高等学校科技创新项目(1810600108MZ)。
在碳化硅(SiC)压阻式压力传感器使用溅射剥离再电镀金属作为掩模进行背腔深刻蚀的工艺中,由于电镀过程中背腔侧壁金属的横向生长,实际背腔刻蚀面积小于设计刻蚀面积。针对该问题,基于电化学仿真计算理论,构建了晶圆背腔刻蚀掩模电镀模型...
关键词：仿真模拟 电镀工艺 金属掩模 刻蚀 压阻式压力传感器 
压阻式压力传感器的温度补偿及现场校准方法被引量：17
《传感器与微系统》2022年第10期145-148,共4页周志炜 邓天雨 师亮 陈宝成 张蒙 姜超 
针对硅压阻式压力传感器受到外界环境的影响,其灵敏度、分辨率、动态范围、工作直线等关键技术指标会发生改变。本文提出一种现场在线式校准方法,通过建立压力,温度误差数学模型和采用数字滤波及曲线拟合温度补偿技术,对传感器信号的误...
关键词：硅压阻式变送器 在线式校准方法 数学模型 数字滤波 温度补偿 
微型硅压阻式压力传感器研制被引量：13
《传感器与微系统》2017年第11期106-108,共3页王永洪 张明义 高强 王鹏 
国家自然科学基金资助项目(51778312;41502304);山东省重点研发计划资助项目(GG201703200019);山东省自然科学基金青年科学基金资助项目(ZR2016EEP06)
结合多晶硅材料的压力敏感特性,通过在硅膜片上沉淀多晶硅压敏电阻及精密的微型化封装工艺,设计了微型硅压阻式土压力和孔隙水压力传感器。传感器通过将硅膜片在压力下的电阻值变化转换为电信号输出,通过标定实验得出:传感器的零点输出...
关键词：微型 硅压阻式 土压力 孔隙水压力 
硅压阻式压力传感器误差修正算法的FPGA实现被引量：10
《传感器与微系统》2017年第2期101-103,106,共4页华振宇 徐大诚 
针对现场可编程门阵列(FPGA)的输入输出(I/O)资源丰富、并行执行特点对设计大规模硅压阻式压力传感器补偿系统以及提高其补偿效率有一定的意义,提出了一种FPGA补偿系统设计方案并对传感器输入输出存在的非线性误差,设计了32位单精度浮...
关键词：硅压阻式压力传感器 非线性校正 现场可编程门阵列 曲线拟合 
数字气压传感器的一种高效标定和补偿方法被引量：11
《传感器与微系统》2014年第11期44-47,共4页李亮 杜利东 赵湛 卫克晶 
国家"863"计划资助项目(2012AA040504);国家自然科学青年基金资助项目(51305423)
硅压阻式压力传感器受制造工艺和测量环境的影响,其输出大都具有一定的非线性,其中以温度的影响最为明显。鉴于此,传感器需要准确地标定测试和温度补偿,首先制作一种带有高精度AD和微处理器的数字气压传感器,用它采集数据;然后分析测试...
关键词：硅压阻式压力传感器 标定测试 温度补偿 最小二乘法 
硅压阻式压力传感器的现场可编程自动补偿技术被引量：5
《传感器与微系统》2008年第11期72-73,77,共3页袁智荣 郭和平 
为了提高硅压阻式压力传感器温度性能指标，并实现快速补偿，通过以ADμC816微处理器为核心设计了智能压力传感器，提出了传感器在宽温区下测量误差的自动补偿办法，通过对IC sensor系列压力传感器的应用，使其温度性能提高了1-2个数量级。
关键词：硅压阻 压力传感器 下载 自动补偿 
硅压阻式压力传感器非线性误差校正方法被引量：16
《传感器与微系统》2006年第1期76-78,84,共4页蒋小燕 徐大诚 杨成 谢维钦 王文襄 
江苏省2003科技攻关项目(BG2003038)
利用ZMD31020传感器信号处理器,实现了硅压阻式传感器的非线性及温度补偿。通过软件输入预先设定的数字量给ZMD31020处理器的存贮空间,可实现硅压阻式压力传感器(PRT)的零点输出、热零点漂移、满量程输出、热灵敏度漂移和非线性的高精...
关键词：压阻式压力传感器 信号调理 软件补偿 
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