氧化锌薄膜

作品数：407被引量：1194H指数：17
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新型氧化锌薄膜乙烷气体传感器在油浸式变压器中的应用
《自动化应用》2024年第21期130-133,共4页常洪燕 谭林斌 张冬至 
在大型油浸式电力变压器的健康管理中,变压器油中溶解气体的精准检测技术发挥非常重要的作用,尤其是在早期发现潜在故障方面。该技术可以更好地保证变压器绝缘性能的稳定性。其中,气体传感器在整个技术体系中发挥实时监管的作用,是该检...
关键词：油浸式变压器 ZNO薄膜 气体传感器 乙烷 
MOCVD方法生长氧化锌薄膜及其极性表面发光特性
《南昌大学学报（理科版）》2022年第6期607-610,620,共5页王剑宇 王立 
国家自然科学基金资助项目(62005112)。
氧化锌ZnO由于其高激子束缚能等特点在光电器件等方面表现出广泛的应用,制备高质量ZnO薄膜并研究其发光性能有着重要的意义。本文通过MOCVD方法在不同晶面的蓝宝石衬底上生长了不同极性表面的ZnO薄膜。扫描电子显微镜和阴极射线荧光表...
关键词：凝聚态物理 ZNO薄膜 蓝宝石衬底 MOCVD 阴极射线荧光 
前驱体通气时间对原子层沉积氧化锌薄膜的影响
《微纳电子技术》2022年第3期231-235,241,共6页马铭辰 王国政 王蓟 
吉林省科技厅重点科技研发项目(20180201033GX);吉林省科技厅技术攻关项目(20190302125GX);吉林省科技厅重大科技专项(20200501006GX);吉林省教育厅项目(JJKH20200777KJ)。
建立了反应腔室模型,模拟分析了原子层沉积(ALD)过程中前驱体质量分数随其通气时间的变化趋势。采用ALD法制备了ZnO薄膜,采用原子力显微镜(AFM)与扫描电子显微镜(SEM)对薄膜进行了表征,研究了不同二乙基锌通气时间下ZnO薄膜的表面形貌...
关键词：原子层沉积(ALD) 流体分析 ZNO薄膜 表面粗糙度 薄膜均匀性 
基于脉冲串模式的ZnO薄膜皮秒激光脉冲沉积技术被引量：1
《中国激光》2022年第6期31-42,共12页吴恩利 代守军 轩新想 何建国 刘洋 谭羽 貊泽强 余锦 
国家重点研发(2018YFB07400)、高端跨尺度多功能激光精密去除制造装备(2019ZDLGY01-04)、中国科学院科研仪器设备研制项目(YJKYYQ20200047)。
介绍了一种基于多脉冲模式的皮秒激光脉冲沉积方法,采用该方法在玻璃基底和单晶硅基底上沉积了透明导电氧化锌(ZnO)薄膜,使用光谱椭偏仪、原子力显微镜、扫描电子显微镜、X射线衍射仪、分光光度计和四探针测试仪分析了激光的不同脉冲串...
关键词：薄膜 脉冲激光沉积法 脉冲串模式 皮秒脉冲激光 氧化锌薄膜 
高功率脉冲磁控溅射制备ZnO薄膜的研究进展被引量：5
《真空》2021年第1期72-77,共6页张玉琛 张海宝 陈强 
国家自然基金项目(Grant Nos 11775028,11875090);北京市自然基金项目(Grant Nos 1192008,KM201510015009);北京市协同创新(No.CGPT15208)。
氧化锌薄膜材料由于具有高电导率、良好的光学透过率、原料储存丰富、成本低廉的特点,被认为是最具有潜力的透明导电薄膜。特别是其宽禁带(3.37e V)和高达60meV的激子束缚能,使其在环境温度制备同质结发光器件、太阳能电池电子传输层具...
关键词：高功率脉冲磁控溅射 氧化锌薄膜 放电特性 掺杂 
K掺杂量对氧化锌薄膜晶体结构和光学性能的影响被引量：4
《辽宁师范大学学报（自然科学版）》2020年第1期39-44,共6页王玉新 李真 王媛媛 赵帅 王磊 张巍 
辽宁省教育厅科学技术研究项目(LJ2019006)
利用溶胶-凝胶旋涂法(sol-gel)在玻璃衬底上制备了不同K掺杂量的K-N共掺ZnO薄膜.采用X射线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、紫外-可见分光光度计(UV-Vis)和光致发光谱(PL)对样品的晶体结构、表面形貌和光学性能进行了表征.结果表明:...
关键词：K掺杂 ZNO薄膜 透过率 光致发光谱 溶胶-凝胶法 
气体流量对磁控溅射ZnO薄膜沉积速率的影响
《读天下（综合）》2019年第22期0275-0275,共1页张媛菲 
采用射频磁控溅射技术,以氧化锌(ZnO)为靶材,在PET塑料表面沉积制备了氧化锌薄膜包装材料,研究了氩气(Ar)流量对所制备的ZnO薄膜结构、形貌、沉积速率的影响。实验结果表明,当氩气流量为45sccm时,ZnO薄膜表面均匀且致密。
关键词：射频磁控溅射技术 氧化锌薄膜 氩气流量 透过性 
旋涂法制备铈掺杂氧化锌薄膜的特性分析研究被引量：1
《无机盐工业》2019年第1期33-38,共6页解旭东 
山东省高校科技计划项目(J15LA59)
以旋涂法制备铈掺杂氧化锌薄膜,利用XRD、Uv-vis光谱、PL光谱、四点探针及磁性测试系统等手段分析铈掺杂与退火处理对薄膜的晶体结构、表面形貌、光学透射率、发光特性及电磁特性的影响。研究结果表明:所有薄膜皆为纤锌矿结构,具有很高...
关键词：ZNO薄膜 CE掺杂 旋涂法 退火处理 特性分析 
ZnO薄膜包装材料溅射制备工艺与阻隔性能研究被引量：3
《包装工程》2018年第15期100-105,共6页王超楠 黄保进 鲁听 罗笙芸 任达森 江志明 杨林 
贵州省教育厅青年科技人才成长项目(黔教合KY字[2016]162);贵州民族大学人才引进项目(16yjrcxm019)
目的为了解决普通聚合物包装塑料对水、氧的阻隔能力不足,以及包装内容物货架时间短等问题,研究氧化锌(ZnO)沉积复合薄膜制备工艺与阻隔性能之间的关系,探索其应用于包装材料的可行性。方法采用射频磁控溅射技术(RF),以ZnO为靶材,在PET...
关键词：射频磁控溅射 氧化锌薄膜 透氧率 透水率 
气体流量对磁控溅射制备ZnO薄膜沉积速率以及阻隔能力的影响
《科技风》2018年第15期126-126,共1页王超楠 杨林 鲁听 黄保进 江志明 
贵州民族大学人才引进项目(16yjrcxm019);贵州民族大学学生科研项目(16bksxm011)
采用射频磁控溅射技术,以氧化锌(ZnO)为靶材,在PET塑料表面沉积制备了氧化锌薄膜包装材料,研究了氩气(Ar)流量对所制备的ZnO薄膜结构、形貌、沉积速率、透氧率以及透湿率的影响。实验结果表明,当氩气流量为40 sccm时,ZnO薄膜表面均匀且...
关键词：射频磁控溅射技术 氧化锌薄膜 氩气流量 透过性 
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