MEMS

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基于杠杆制造误差的MEMS谐振加速度计非线性研究
《仪表技术与传感器》2025年第3期11-14,19,共5页李蓉 赵文胜 邓权明 何江波 周吴 
国家自然科学基金(52205604,52075082);四川省自然科学基金(2022NSFSC2013);教育部春晖计划合作科研项目(182559)。
为提高MEMS谐振加速度计的线性度,考虑杠杆制造误差,研究了MEMS谐振加速度计的非线性误差。介绍了MEMS谐振加速度计的工作原理,分析利用有限元仿真计算传统四杠杆MEMS谐振加速度计的非线性误差,相比于无制造误差的理想状态,0.6μm制造...
关键词：MEMS谐振加速度计 杠杆 制造误差 非线性误差 
基于硅基的MEMS惯性开关设计与仿真
《仪表技术与传感器》2025年第3期52-57,共6页卢晓曼 王瑞 雷程 余建刚 梁庭 
国家重点研发计划(2023YFB3208500);山西省重点研发计划(2023020302010);中央引导地方科技发展资金项目(YDZJSX20)。
为了降低压膜气体阻尼对惯性开关响应时间的影响,基于硅基设计了一种MEMS惯性开关传感器,通过分析传感器悬臂梁尺寸对传感器最大位移及固有频率的影响和不同尺寸固支结构在100 g载荷的作用下的变形量,确定了惯性开关传感器的具体结构尺...
关键词：MEMS惯性开关 3层键合 压膜气体阻尼 COMSOL有限元仿真 响应时间 
面向MEMS谐振加速度计灵敏度提升的梯形微杠杆优化研究
《仪表技术与传感器》2025年第2期11-15,共5页赵文胜 李挺 李蓉 何江波 周吴 
国家自然科学基金(52205604,52075082);四川省自然科学基金(2022NSFSC2013);教育部春晖计划合作科研项目(182559)。
灵敏度影响微机电系统(MEMS)谐振加速度计精度。针对传统矩形微杠杆宽度较大会导致灵敏度损失的问题,提出并优化了一种梯形微杠杆。首先介绍了带有梯形微杠杆的MEMS谐振加速度计的工作原理和结构特点。再以灵敏度为目标函数,基于有限元...
关键词：微机电系统 谐振加速度计 梯形微杠杆 灵敏度 结构优化 
MEMS高温压力传感器复合金属层可靠性研究
《仪表技术与传感器》2025年第2期22-27,共6页杜康乐 雷程 梁庭 肖楚译 王旦旦 罗后明 
国家重点研发计划(2023YFB3208500);山西省重点研发计划(2023020302010);山西省科技重大专项计划“揭榜挂帅”项目(202201030201010);中央引导地方科技发展资金项目(YDZJSX20231B006)。
为解决MEMS压力传感器因复合金属层形貌翘曲导致高温失效分析后出现失效的问题,文中提出了3种制备复合金属层的工艺方法,经过逐步模拟键合过程,观察每增加一步工艺对应复合金属层的形貌,通过场发射扫描电子显微镜观察复合金属层的形貌,...
关键词：MEMS压力传感器 复合金属层 翘曲 高温考核 模拟键合过程 常温溅射 
MEMS悬空结构上纳米材料的EHD打印工艺优化研究
《仪表技术与传感器》2025年第1期14-19,共6页林鑫烨 刘亚东 姚冠宇 吴昊 唐祯安 余隽 
国家自然科学基金项目(61874018);中央高校基本科研业务费专项资金资助项目(DUT22YG105)。
电流体动力学(EHD)打印具有非接触、精度高和材料选择灵活等优点,可应用于MEMS悬空结构上沉积各种纳米材料从而实现传感器微型化。以悬空微热板上打印气敏薄膜为研究对象,采用高速摄像机对EHD打印进行实验观测,结合有限元仿真进行墨水...
关键词：电流体动力学打印 纳米材料 微机电系统 悬空结构 有限元仿真 
一种模态局域化感应式MEMS电场传感器设计
《仪表技术与传感器》2024年第9期22-27,共6页刘语斐 彭春荣 刘向明 高雅浩 彭思敏 厉嘉程 王俊鹏 毋正伟 任仁 韩炎晖 程千钉 张卫红 
国家自然科学基金项目(62031025);国家重点研发计划项目(2022YFB3207300);北京东方计量测试研究所刘尚合院士专家工作站静电研究基金项目(BOIMTLSHJD20221008)。
文中设计一种基于模态局域化效应的新型电荷感应式MEMS电场传感器,利用弱耦合谐振系统中的模态局域化现象所产生的大振幅比来提高传感器的灵敏度。传感器敏感结构为三自由度弱耦合谐振系统,通过加入屏蔽盖板的方式屏蔽敏感结构上方一侧...
关键词：MEMS 电场传感器 电荷感应 模态局域化 
MEMS正装传感器复合钝化层高温可靠性的研究
《仪表技术与传感器》2024年第6期19-25,共7页刘润鹏 赵妍琛 刘东 雷程 梁庭 冀鹏飞 王宇峰 
山西省科技重大专项计划“揭榜挂帅”项目(202201030201004);山西省重点研发计划项目(202102030201001,202102030201009)。
绝缘体上硅(SOI)所制备的压阻式正装压力传感器可在高温下良好工作,但高温环境下电阻条和金属引线长期暴露在环境中易受到氧化和腐蚀,对传感器的输出造成影响,使电学性能发生变化甚至失效,为避免这种情况,通常在表面进行钝化处理。文中...
关键词：绝缘体上硅(SOI) 压阻式正装压力传感器 复合钝化层 高温可靠性 
新型MEMS电容薄膜真空计设计与仿真数据分析
《仪表技术与传感器》2023年第12期117-121,共5页黄麒麟 许马会 单文桃 冯勇建 
为解决MEMS电容薄膜真空计的小量程与高灵敏度相矛盾的问题,基于MEMS技术,设计了一种新型结构的薄膜真空计,能够感应到微小的压强变化,实现0.001~1 Pa范围的真空度测量。在一定范围的真空度都具有测量的可行性,基于MEMS技术的电容薄膜...
关键词：有限元 MEMS 电容式 薄膜真空计 梁结构 小量程 
最佳激励电流磁通门铁芯结构的仿真优化与分析被引量：1
《仪表技术与传感器》2023年第10期24-27,共4页崔智军 刘琛 
陕西省自然科学基础研究计划项目(2022JM-391);安康市科学技术研究发展计划项目(AK2022-GY-08)。
在分析微型磁通门的功耗主要受最佳激励电流影响的基础上,提出了一种通过减小退磁系数的长条形阵列铁芯减小微型磁通门的最佳激励电流,以达到降低功耗的目的。利用有限元仿真软件Magnet对长条形阵列铁芯进行了结构分析与优化,研究了长...
关键词：磁通门 MEMS 最佳激励电流 长条形阵列铁芯 
基于多源IMU和粒子滤波优化的姿态融合算法被引量：4
《仪表技术与传感器》2023年第8期88-95,共8页宗意凯 苏淑靖 高瑜宏 
国家自然科学基金项目(51875534,62075199)。
针对利用惯性传感器解算姿态易受单种六轴传感器噪声特性和漂移特性影响的问题,提出了一种基于多源IMU组合与粒子滤波优化的互补滤波姿态融合算法。该算法利用多源数据与粒子滤波方法,实现了对姿态解算精度的提升。基于BMI088、ICM2068...
关键词：MEMS 多源IMU 姿态解算 互补滤波 粒子滤波 
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