李庆忠

作品数：23被引量：61H指数：4
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供职机构：江南大学更多>>
发文主题：有限元分析复合添加剂铜润滑油化学机械抛光更多>>
发文领域：机械工程理学电子电信金属学及工艺更多>>
发文期刊：《润滑与密封》《机械设计与制造》《机械设计》《半导体技术》更多>>
所获基金：国家自然科学基金中国博士后科学基金辽宁省教育厅高等学校科学研究项目国家杰出青年科学基金更多>>
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有机碱对铜CMP材料去除率作用的实验研究被引量：1
《机械科学与技术》2008年第6期812-814,818,共4页李庆忠 于秀坤 苏建修 郭东明 
国家自然科学重大基金项目(50390061);中国博士后科学基金项目(20060390984)资助
分别使用几种有机碱作为络合剂、SiO2水溶胶为磨料、H2O2为氧化剂,复配后分别进行相同工艺参数的抛光试验。试验结果表明:乙二胺强络合作用明显,对铜的去除率最大可以达到850.8 nm/min,表面粗糙度Ra=13.540°A;二羟基乙基乙二胺和二乙...
关键词：CMP 有机碱 铜 材料去除率 
ULSI制造中铜CMP抛光液的技术分析被引量：5
《半导体技术》2007年第5期382-386,共5页李庆忠 郭东明 康仁科 
国家自然科学基金重大项目资助(50390061);中国博士后科学基金资助(20060390984)
对ULSI制造中的层间介质化学机械抛光的发展趋势和要求进行了讨论,分析了铜化学机械抛光的材料去除过程、影响因素和抛光液的重要作用,讨论了酸性和碱性两种铜抛光液的组成和一些组分的功能,对研究铜化学机械抛光的电化学手段进行了阐...
关键词：化学机械抛光 抛光液 铜 技术分析 
分散剂对铜CMP材料去除率和表面粗糙度影响的实验研究被引量：9
《润滑与密封》2007年第3期70-72,109,共4页李庆忠 金洙吉 张然 康仁科 郭东明 
国家自然科学基金重大项目(50390061);中国博士后科学基金资助项目(20060390984);国家杰出青年科学基金资助项目(50325518)
使用5种分散剂,SiO2水溶胶为磨料、H2O2为氧化剂,分别进行抛光实验。结果表明:二乙烯三胺和吡啶2种分散剂相对较好,二乙烯三胺(质量分数0.05%)对铜的材料去除率达到570.20nm/min,表面粗糙度为Ra1.0760nm,吡啶(质量分数0.75%)的材料去除...
关键词：CMP 分散剂 铜 去除率 粗糙度 
机械润滑油第三次更新换代被引量：2
《机械设计与制造》2006年第11期170-171,共2页于秀坤 李庆忠 马先贵 吕绍乐 
分析了信息时代机械及相关行业的生产技术和生产设备对高档润滑油的需求;论述了Ⅲ类润滑油的优越性能,提出了解决润滑油光敏性的渠道;分析了国内外Ⅲ类润滑油的发展状况;提出了第三次润滑油更新换代即:“高性能化、低粘化、个性化”的...
关键词：机械 润滑油 第三次 更新换代 
动力流体传输曲管振动特性有限元分析
《机械设计与制造》2006年第6期60-61,共2页于秀坤 李庆忠 朱虹 朱晓光 
航天科学基金资助项目
针对悬臂的动力流体传输曲管,建立了它的振动方程和有限元分析模型。并通过对AN-SYS软件的二次开发,自定义了单元,以求解带有陀螺矩阵的曲管振动方程;同时考察了输液曲管的稳定性,求出了输液曲管发生颤振失稳时的临界流速。实例计算结...
关键词：输液曲管 特性振动 有限元分析 自定义单元 
IC制造中平坦化技术的性能与分析被引量：2
《沈阳航空工业学院学报》2006年第1期27-31,共5页李庆忠 于秀坤 苏建修 
表面平整化技术是半导体工业的关键技术,在一定程度上制约着半导体芯片集成技术的发展,针对多层立体布线的IC全局平坦化技术,介绍了代表当今平整化技术及其未来的发展方向,其中一些技术会取代传统的CMP技术而成为IC产业的主导技术之一;...
关键词：硅片 化学机械抛光 平坦化 集成电路 
某斜齿轮轮轴的有限元分析被引量：2
《沈阳航空工业学院学报》2005年第4期27-28,共2页于秀坤 朱虹 李庆忠 
文中所分析的某设备齿轮轴是整个设备的重要零件,由于该轴的齿形为斜齿,而且局部还有键槽、轴肩等特殊形状,因此其应力集中现象较严重。为了准确地掌握整个轴特别是一些特殊部位之应力情况,运用有限元理论,采用有限元分析软件ANSYS对该...
关键词：齿轮轴 有限元分析 ANSYS 应力 
复合添加剂在新戊基多元醇酯中极压抗磨特性的研究被引量：3
《润滑与密封》2005年第6期57-59,共3页李庆忠 于秀坤 康仁科 郭东明 
辽宁省教育厅科学研究计划资助项目(202243215);沈阳航空工业学院博士启动基金项目
考察了在新戊基多元醇酯(DHJ-100)中分别加入不同质量分数的HL-343与国际名牌H itec-343、Mob il-2523种复剂的极压抗磨性,初步探讨了添加剂的作用机理。结果表明,国产的HL-343复剂最大无卡咬负荷、烧结负荷都较高,低载长磨磨斑小、痕迹...
关键词：复合添加剂 极压抗磨性 摩擦磨损 
磷(膦)之星极压复合添加剂的摩擦特性的研究被引量：2
《润滑与密封》2005年第2期33-34,37,共3页胡俊宏 李庆忠 丁津原 马先贵 
以磷之星T120、膦之星T115和T321为主剂, 配合多功能剂配制了磷之星P120和膦之星P115极压复合剂。在四球试验机上进行了试验, 得到了润滑油的磨斑直径 (WSD)、最大无卡咬负荷 (pB) 和烧结负荷 (pD) 随添加剂的添加量变化的曲线。结果表...
关键词：极压 复合剂 复合添加剂 润滑油 曲线 多功能 试验机 主剂 研究 烧结 
三种齿轮油复剂的极压抗磨性能对比研究
《东北大学学报（自然科学版）》2005年第2期152-155,共4页李庆忠 于秀坤 胡俊宏 丁津原 
辽宁省教育厅科学研究计划资助项目(202243215)
在500SN基础油中分别加入不同质量分数的HL 343,Hitec 343和Mobil 252三种复剂,配制成不同的油样·考察了这些油样的极压抗磨性能,探讨了添加剂的作用机理,进行了油样的烘箱抗氧化试验·结果表明:国产的HL 343复剂最大无卡咬负荷和烧结...
关键词：复合添加剂 极压抗磨性 抗氧化性 摩擦磨损 
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