刘萍

作品数：7被引量：28H指数：3
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发文主题：壳聚糖聚硅酸铝铁拉曼光谱微晶硅薄膜非晶硅薄膜更多>>
发文领域：理学电子电信医药卫生电气工程更多>>
发文期刊：《物理学报》《人工晶体学报》《中国学术期刊文摘》《可再生能源》更多>>
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复合材料：陶瓷衬底上多晶硅薄膜太阳电池研究进展
《中国学术期刊文摘》2006年第14期3-3,共1页刘萍 杨仕娥 王生钊 王红娟 张宇翔 卢景霄 
多晶硅薄膜太阳电池在提高电池效率和大幅度降低成本等方面具有极大潜力．陶瓷材料是高温路线制备多晶硅薄膜电池最常用的衬底材料之一．该文介绍了陶瓷衬底上多晶硅薄膜的制备方法及其电池结构和相关工艺，最后综述了当前该领域的最新...
关键词：多晶硅薄膜电池 陶瓷衬底 转换效率 复合材料 太阳电池 
H_2稀释在PECVD法制备微晶硅薄膜中的影响被引量：3
《可再生能源》2006年第4期18-20,共3页王生钊 卢景霄 王红娟 刘萍 陈永生 张丽伟 杨仕娥 郜小勇 
利用等离子增强化学气相沉积(PECVD)技术,研究了H稀释度D=H 2/(H 2+SiH 4)对在玻璃和不锈钢衬底上低温制备微晶硅薄膜的晶化率、晶粒尺寸、薄膜质量等的影响。结果表明,随着硅烷浓度的降低,样品的晶化率、晶粒尺寸有所改变。当D=99%时,...
关键词：PECVD 氢稀释 微晶硅薄膜 
低温快速热退火晶化制备多晶硅薄膜被引量：5
《可再生能源》2006年第3期13-15,共3页王红娟 卢景霄 刘萍 王生钊 张宇翔 张丽伟 陈永生 
利用PECVD设备沉积非晶硅薄膜,然后放入特制的快速热退火炉中进行退火。利用X射线衍射仪(XRD)分析退火后的薄膜晶体结构,用电导率测试仪测试其暗电导率。研究结果表明,利用快速热退火晶化能够使非晶硅薄膜在较低温度下,在较短时间内发...
关键词：快速热退火 非晶硅薄膜 暗电导 
陶瓷衬底上多晶硅薄膜太阳电池研究进展被引量：3
《人工晶体学报》2006年第2期409-414,共6页刘萍 杨仕娥 王生钊 王红娟 张宇翔 卢景霄 
多晶硅薄膜太阳电池在提高电池效率和大幅度降低成本等方面具有极大潜力。陶瓷材料是高温路线制备多晶硅薄膜电池最常用的衬底材料之一。本文介绍了陶瓷衬底上多晶硅薄膜的制备方法及其电池结构和相关工艺,最后综述了当前该领域的最新...
关键词：多晶硅薄膜太阳电池 陶瓷衬底 转换效率 
微晶硅薄膜的结构及光学性质的研究被引量：14
《物理学报》2006年第1期98-101,共4页郜小勇 李瑞 陈永生 卢景霄 刘萍 冯团辉 王红娟 杨仕娥 
借助RF-PECVD辅助RTP技术,采用高沉积气压的技术路线制备了优质的微晶硅薄膜,并利用拉曼光谱、反射谱和透射谱分别研究了微晶硅的晶化率和光学性质.实验中发现微晶硅的吸收边出现了相对红移,此相对红移可归结于薄膜晶化率的提高和带尾...
关键词：微晶硅 拉曼光谱 快速热处理 红移 
热处理对Ag_xO薄膜结构及成份的影响
《人工晶体学报》2005年第6期1158-1162,共5页郜小勇 刘萍 陈永生 王海燕 卢景霄 
国家自然科学基金(No.69878003)资助项目
利用X射线衍射谱(XRD)和X射线光电子谱(XPS)研究了热处理对AgxO样品的结构及成份的影响。研究结果表明所有制备的AgxO样品基本为无定型,并且AgO和Ag2O两种成份共存;两组具有代表性的AgxO样品经过高温热处理后分别呈现了(Ag+Ag2O)和Ag2O...
关键词：热分解 反应溅射 临界温度 扩散系数 
常规退火与光退火固相晶化的对比被引量：4
《人工晶体学报》2005年第6期1171-1173,共3页靳锐敏 卢景霄 王海燕 张丽伟 王生钊 刘萍 王红娟 
为研究传统炉子退火与光退火固相晶化的不同特点,用石英玻璃作衬底,在室温、350℃和450℃下用PECVD法直接沉积非晶硅(a-S i:H)薄膜,把沉积的样品分别在850℃下用传统炉子退火3h、用光快速热处理(RTP)5m in,然后用Ram an、XRD和SEM分析对...
关键词：PECVD法 非晶硅薄膜 传统退火炉子 光退火 晶粒大小 拉曼光谱 XRD SEM 
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