杨晓天

作品数：7被引量：42H指数：4
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供职机构：吉林大学电子科学与工程学院集成光电子学国家重点联合实验室更多>>
发文主题：氧化锌薄膜ZNO薄膜半导体材料氮掺杂金属有机化学气相沉积更多>>
发文领域：理学电子电信更多>>
发文期刊：《发光学报》更多>>
所获基金：国家高技术研究发展计划国家自然科学基金吉林大学青年教师基金更多>>
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ZnO薄膜的光抽运紫外激射被引量：4
《发光学报》2004年第4期389-392,共4页刘大力 杜国同 张源涛 王新强 杨天鹏 杨晓天 赵佰军 杨洪军 刘博阳 张景林 
国家"8 63"( 2 0 0 1AA3 1113 0 ) ;国家自然科学基金 ( 60 1770 0 7;60 1760 2 6)资助项目
采用等离子体增强MOCVD方法生长出高质量的ZnO薄膜 ,并观察到了ZnO薄膜的光抽运紫外激射现象。在不同激发强度下进行了光荧光谱测量 ,发现紫外发光强度随着激发光强度的增加呈直线增强 ,证明此紫外发光峰来源于带边自由激子辐射复合。...
关键词：金属有机化学气相沉积方法 ZNO薄膜 光抽运紫外激射 
MOCVD法生长SAWF用ZnO/Diamond/Si多层结构被引量：6
《发光学报》2004年第3期313-316,共4页赵佰军 杨洪军 王新强 杨晓天 刘大力 马艳 张源涛 刘博阳 杨天鹏 杜国同 
国家自然科学基金 ( 60 1770 0 7;60 1760 2 6) ;国家"863"计划 ( 2 0 0 1AA3 1113 0 )资助项目
使用等离子体辅助MOCVD系统在金刚石 硅衬底上成功地制备了氧化锌多层薄膜材料 ,通过两步生长法对薄膜质量进行了优化。XRD测试显示优化后的样品具有c轴的择优取向生长 ,PL谱测试表明样品经优化后不仅深能级发射峰消失 ,同时紫外发射...
关键词：金属有机化学气相沉积 声表面波薄膜 X射线衍射 扫描探针显微镜 
ZnO薄膜的掺杂特性被引量：10
《发光学报》2004年第2期134-138,共5页刘大力 杜国同 王金忠 张源涛 张景林 马艳 杨晓天 赵佰军 杨洪军 刘博阳 杨树人 
国家"863"计划(2001AA311130);国家自然科学基金(60177007;60176026)
通过MOCVD方法生长的ZnO薄膜一般为富锌生长,呈n型电导,要想得到高阻或低阻p-ZnO薄膜需要对其进行掺杂施主或受主杂质。主要研究在生长过程中通过NH_3对ZnO薄膜进行氮掺杂的情况,利用优化生长条件,即生长温度为610℃,Ar气(携带DEZn)流量...
关键词：氧化锌薄膜 富锌生长 半导体材料 氮掺杂 生长温度 掺杂流量 空穴载流子浓度 
ZnO基紫外探测器的制作与研究被引量：7
《发光学报》2004年第2期156-158,共3页杨晓天 刘博阳 马艳 赵佰军 张源涛 杨天鹏 杨洪军 李万程 刘大力 杜国同 
国家"863"计划(20011AA311130);国家自然科学基金(60177007;60176062)
利用新型的等离子体辅助金属有机化学气相沉积(P-MOCVD)系统在蓝宝石、硅等衬底上生长出具有单一c轴取向、高阻的ZnO薄膜,利用添加的等离子体发生装置,进行氮掺杂获得高阻ZnO薄膜。利用ZnO的宽禁带与高光电导特性,结合MSM(金属-半导体-...
关键词：等离子体辅助金属有机化学气相沉积法 氧化锌薄膜 紫外探测器 半导体材料 禁带宽度 
等离子MOCVD系统生长ZnO薄膜掺N_2和掺NH_3特性比较被引量：4
《发光学报》2004年第2期143-146,共4页常玉春 杨晓天 王金忠 王新强 刘博阳 刘大力 胡礼忠 杜国同 
国家自然科学基金(60176026;6017707);国家"863"计划(2001AA311130);吉林大学青年教师基金
利用MOCVD方法生长了高质量的ZnO薄膜材料,分别通过N_2和NH_3对c面和R面蓝宝石衬底上生长的ZnO薄膜材料进行了掺杂行为研究。掺N_2时,X射线衍射半峰全宽仅为0.148°,室温光荧光发光峰位于3.29 eV,半峰全宽～100 meV,电阻率由0.65Ω·cm...
关键词：金属有机化学气相沉积 氧化锌薄膜 半导体材料 氮气掺杂 氨气掺杂 载流子浓度 
蓝宝石R面上ZnO薄膜的NH_3掺杂研究被引量：1
《发光学报》2003年第4期335-338,共4页王金忠 杜国同 马艳 赵佰军 杨晓天 张源涛 刘大力 李万程 杨洪军 杨树人 吴爱国 李壮 
国家自然科学基金(59910161983;60177007和60176026);国家"863"计划(2002AA311130)资助项目
以NH3为掺杂源,利用金属有机化学气相沉积(MOCVD)系统在蓝宝石R面上生长出掺氮ZnO薄膜。通过XRD,SEM测量优化了其生长参数,在610℃和在80sccm的NH3流量下生长出了〈1120〉单一取向的ZnO薄膜。经Hall电阻率测量,得知该薄膜呈现弱p型或高...
关键词：蓝宝石R面 氧化锌薄膜 金屑有机化学气相沉积 X射线光电子能谱 ZNO薄膜 NH3掺杂 半导体 氮掺杂 
射频磁控溅射ZnO薄膜的结构和光学特性被引量：11
《发光学报》2003年第1期73-75,共3页张源涛 李万程 王金忠 杨晓天 马艳 殷宗友 杜国同 
国家 8 6 3计划资助项目 ( 2 0 01AA311130 )
采用射频 (RF)反应磁控溅射法在n Si(0 0 1)衬底上外延生长ZnO薄膜。XRD谱测量显示出较强的 (0 0 2 )衍射峰 ,表明ZnO薄膜为c轴择优取向生长的。室温PL谱测量观察到了较强的紫外光发射和深能级发射。
关键词：射频磁控溅射 结构 光学特性 ZNO薄膜 光荧光谱 氧化锌薄膜 外延生长 
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