刘秦

作品数：5被引量：15H指数：2
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供职机构：西安交通大学更多>>
发文主题：PZT薄膜刻蚀铁电PZT微观结构更多>>
发文领域：一般工业技术电气工程电子电信理学更多>>
发文期刊：《硅酸盐通报》《压电与声光》《电子元件与材料》《Journal of Semiconductors》更多>>
所获基金：国家自然科学基金更多>>
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铁电PbZr_(0.53)Ti_(0.47)O_3薄膜的磁增强反应离子刻蚀被引量：4
《Journal of Semiconductors》1999年第11期1044-1048,共5页刘秦 林殷茵 吴小清 张良莹 姚熹 
国家自然科学基金
采用磁增强反应离子刻蚀（ＭＥＲＩＥ）工艺获得了铁电ＰｂＺｒ０５３Ｔｉ０４７Ｏ３（ＰＺＴ）薄膜的微细图形．研究了用ＣＨＦ３ 气体在不同射频功率和气体流量下ＰＺＴ薄膜、Ｐｔ和ＡＺ１４５０Ｊ光刻胶的刻蚀速率以及刻蚀选择...
关键词：PZT薄膜 铁电材料 MERIE工艺 刻蚀 
纳米复合Fe-SiO_2粉体的制备和结构被引量：2
《硅酸盐通报》1999年第2期6-10,共5页林殷茵 刘秦 张良莹 姚熹 
采用非醇盐溶胶－凝胶工艺可获得Ｆｅ与Ｓｉ摩尔比达４．５／１的均匀凝胶，发现可以通过控制ＳｉＯ２的含量和热处理条件来控制相结构和晶粒尺寸，热处理过程中α－Ｆｅ相是由Ｆｅ３Ｏ４相还原而来，材料中有大量氧参与反应是工艺中采...
关键词：溶胶-凝胶 复合材料 金属纳米材料 二氧化硅 铁 
PZT薄膜微图形的制作精度的研究被引量：8
《压电与声光》1998年第6期411-413,共3页刘秦 林殷茵 吴小清 张良莹 姚熹 
国家自然科学基金
采用典型的半导体光刻工艺用ＢＨＦ／ＨＮＯ３溶液成功地刻蚀了ＰＺＴ（５２／４８）薄膜。研究了薄膜的微观结构对微图形的制作精度的影响。结果表明，在薄膜中晶粒团聚区域和周围区域的刻蚀速率存在着差异，晶粒小的薄膜有利于获得高...
关键词：锆钛酸铅 薄膜 刻蚀 微观结构 PZT 
纳米微晶SnO_2薄膜的制备和光学性能的研究被引量：3
《压电与声光》1998年第4期263-266,共4页林殷茵 刘秦 杨合情 张良莹 姚熹 
以无机盐为原料制备得到纳米微晶ＳｎＯ２薄膜。由透射比曲线计算发现，随热处理温度的升高，薄膜的折射率、消光系数均增大。研究表明，掺Ｔｉ的ＳｎＯ２薄膜吸收边的跃迁属间接跃迁，随晶粒尺寸的减小，间接带宽增大。
关键词：二氧化锡 纳米微晶 间接跃迁 吸收边 导电材料 
铁电微型传感器和执行器制作技术
《电子元件与材料》1998年第5期1-2,5,共3页刘秦 林殷茵 张良莹 姚熹 
采用表面微细加工技术制作了铁电微型传感器和执行器。其技术特点是将铁电薄膜制备和加工工艺与半导体集成电路工艺相结合。其技术难点有：平面化、多晶硅的内应力控制，悬空结构与基片粘连及各层薄膜制备工艺间的兼容性等。本文提出了...
关键词：铁电薄膜 传感器 执行器 MEMS 
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