石归雄

作品数：5被引量：8H指数：2
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供职机构：中国电子科技集团公司第五十五研究所更多>>
发文主题：圆片旋涂盐酸清洗甩干机氮化镓更多>>
发文领域：电子电信机械工程自动化与计算机技术更多>>
发文期刊：《红外与毫米波学报》《电子工业专用设备》《固体电子学研究与进展》更多>>
所获基金：中央高校基本科研业务费专项资金江苏省自然科学基金国家自然科学基金更多>>
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基于硅微机械加工波导W波段功率合成放大器被引量：4
《红外与毫米波学报》2021年第2期178-183,共6页成海峰 朱翔 候芳 胡三明 郭健 石归雄 
国家重点研发计划重点专项(2019YFB2204701);国家自然科学基金(61831006、62022023);中央高校基本科研业务费专项资金资助(2242019K40196);江苏省自然科学基金(BK20190011)。
基于硅微机械加工工艺,设计并制作一款W波段4路硅基波导功分/合成器。通过在8英寸的硅晶圆上采用干法刻蚀和晶圆级键合等工艺途径实现了硅基波导结构。根据硅微机械加工工艺的特点,设计了一种基于H面T型结和3dB耦合桥结构的波导功分/合...
关键词：W波段 硅微机械加工 功率分配/合成器 固态功率放大器 氮化镓 
应用于微波/毫米波领域的集成无源器件硅基转接板技术被引量：3
《电子工业专用设备》2017年第4期20-23,共4页黄旼 朱健 石归雄 
展示了一种应用于射频微系统领域的可以集成射频无源器件的硅基转接板结构。该结构将电感、电容、电阻、传输线和TSV等集成在适用于微波应用的高阻硅衬底上,可实现芯片级的CMOS、MMIC及MEMS多种不同材料器件集成。采用这种方法制备的传...
关键词：集成无源器件 硅通孔 互补金属氧化物半导体 转接板 射频 
芯片级原子钟碱金属吸收泡被引量：1
《固体电子学研究与进展》2015年第3期307-,共1页黄旼 朱健 石归雄 曹远洪 王文军 
基于原子相干布局囚禁(Coherent population trapping)原理的芯片级原子钟是原子钟微型化发展的必然趋势,其中的核心微型化碱金属吸收泡起着关键性的作用。南京电子器件研究所与成都天奥电子股份有限公司联合研究。
关键词：芯片级 结构设计 TRAPPING 双腔 圆片 联合研究 吸收谱线 样品图 本征吸收 漏气率 
GaAs pHEMT外延层转移技术研究
《固体电子学研究与进展》2014年第4期F0003-F0003,共1页赵岩 吴立枢 石归雄 程伟 栗锐 陈堂胜 陈辰 
随着化合物半导体技术日益成熟，利用晶体管级异构集成技术在同一芯片内实现SiCMOS与化合物半导体的集成以获得最佳的电路／系统性能，既是技术发展的内在需求也是后摩尔时代的必然趋势。
关键词：半导体技术 外延层转移 化合物半导体 集成技术 晶体管 芯片 
基于外延层转移的GaAsPIN与Si异构集成技术
《固体电子学研究与进展》2014年第2期F0003-F0003,共1页赵岩 程伟 吴立枢 吴璟 石归雄 黄子乾 
南京电子器件研究所采用外延层转移技术在国内率先开展了晶体管级异构集成方嘶的研究，并于2013年突破了超薄外延层的剥离技术、异质圆片的键合技术等异构集成关键技术，成功地将3um厚的76．2mm（3英寸）GaAs外延层薄膜完整地剥离并转移...
关键词：外延层转移 集成技术 异构集成 南京电子器件研究所 SI 剥离技术 键合技术 晶体管 
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