王艳华

作品数:6被引量:13H指数:2
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供职机构:厦门大学物理与机电工程学院机电工程系更多>>
发文主题:硅尖刻蚀微加工技术各向异性刻蚀MATLAB更多>>
发文领域:自动化与计算机技术电子电信更多>>
发文期刊:《微电子技术》《微纳电子技术》《光学仪器》《信息技术》更多>>
所获基金:福建省科技计划重点项目福建省自然科学基金国家自然科学基金更多>>
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微尖的两种制作工艺
《传感器技术》2004年第2期74-76,79,共4页王明亮 王艳华 郑剑铭 孙道恒 
福建省自然科学基金(A0110003);福建省科技计划重点项目(2002H022)
描述各向异性腐蚀结合键合和各向异性腐蚀结合电镀来制作微尖的方法,利用这两种方法制作出了针尖直径小于25nm的金字塔形微尖,通过实验证明:这是两种有良好可控性和工艺要求不高的制作方法。微尖的成功制作为传感器微型化提供了一种很...
关键词:微尖 制作工艺 各向异性 电镀 传感器微型化 
硅尖的制备及应用
《微电子技术》2003年第5期60-64,共5页王艳华 马海阳 孙道恒 
本文介绍了硅尖的制备及其在不同领域的应用。硅尖的制备方法可与现代IC工艺兼容且易削尖 ,故比其它材料微尖更实用。
关键词:硅尖 刻蚀 微加工技术 
硅尖的制备
《微纳电子技术》2003年第7期164-166,共3页王艳华 孙道恒 
隧道硅尖的制备是微机械隧道传感器制作的一个重要组成部分 ,通过对ICP刻蚀和湿法各向异性刻蚀工艺制备硅尖实验的研究 。
关键词:隧道硅尖 各向异性刻蚀 微机械隧道传感器 ICP刻蚀 
硅尖的制备及在传感器技术中的应用被引量:1
《传感器技术》2003年第6期58-61,共4页王艳华 王明亮 孙道恒 马海阳 
福建省自然科学基金(A0110003);福建省科技计划重点项目(2002H022)
介绍了硅尖的制备及其在传感器技术中的应用。硅尖的制备方法可与现代IC工艺兼容且易削尖,故比其它材料微尖更实用。硅尖的应用随着制备工艺的改进与其它相关技术的进步必将得到新的开发。
关键词:硅尖 刻蚀 微加工技术 传感器 
光开关中静电驱动的微悬臂梁耦合分析被引量:6
《光学仪器》2003年第3期17-20,共4页马海阳 王艳华 王明亮 孙道恒 
国家自然科学基金项目 ( 5 0 2 75 12 7)
采用顺序耦合法 ,对光开关中的、静电驱动的悬臂梁进行分析 ,得出了悬臂梁的动态响应特性 ,并指出了空气阻尼对器件性能的影响 。
关键词:悬臂梁 微机械传感器 静电驱动 光开关 顺序耦合 动态响应 空气阻尼 
MATLAB的VC编程接口浅析被引量:6
《信息技术》2003年第3期55-57,共3页马海阳 王艳华 孙道恒 
首先论述了在VisualC + +中调用MATLAB的重要性和优点 ,提出了三种混合编程的方法 ,并以具体实例详细说明了MATLAB的VC编程接口MATLABC (+ + )MathLibrary数学函数库以及Mex文件 ,通过VC中开发环境的设置 ,与MATLAB实现混合编程 ,为软...
关键词:MATLAB C(++) MATH LIBRARY Visual C++ 动态链接 
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