于晓梅

作品数：5被引量：16H指数：2
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供职机构：北京航空航天大学数学与系统科学学院更多>>
发文主题：纳米硅薄膜硅薄膜微结构纳米硅压阻效应更多>>
发文领域：电子电信理学自动化与计算机技术更多>>
发文期刊：《Journal of Semiconductors》《北京航空航天大学学报》《材料研究学报》更多>>
所获基金：国家自然科学基金中国航空科学基金国家留学基金更多>>
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掺磷纳米硅薄膜的微结构被引量：4
《北京航空航天大学学报》2002年第5期547-549,共3页于晓梅 王金良 江兴流 王天民 
采用喇曼 (Raman)散射谱、高分辨率电子显微镜 (HRTEM)和原子力显微镜 (AFM)对掺磷纳米硅薄膜的微结构进行了分析 ,并对纳米硅薄膜的传导机制进行了探讨 .结果表明 :掺磷纳米硅薄膜由尺寸为 2～ 4nm的晶粒和 2～ 3个原子层厚的非晶界面...
关键词：硅薄膜 晶粒 团簇 纳米材料 晶态 
硅压阻输出微传感器的1/f噪声被引量：1
《Journal of Semiconductors》2001年第9期1182-1187,共6页于晓梅 江兴流 J.Thaysen O.Hansen A.Boisen 
国家留学基金管理委员会资助项目~~
从理论和实验上系统地讨论了压阻输出微传感器的噪声 .选用了单晶硅、非晶硅、多晶硅和微晶硅四种材料作为压阻材料 ,设计了 16种不同尺寸的力敏 Wheastone电桥 ,并对器件分别进行了两种不同浓度的掺杂和两种不同条件的退火 ,共获得 2 ...
关键词：l/f噪声 微传感器 硅压阻输出 
PECVD法生长纳米硅薄膜的压敏特性被引量：2
《北京航空航天大学学报》1996年第1期84-87,共4页于晓梅 何宇亮 李雪梅 余明斌 
航空科学基金
使用常规的ＰＥＣＶＤ等离子体增强化学汽相沉积）沉积技术成功地制备出具有纳米相结构的硅薄膜，并研究了以玻璃和单晶硅为衬底材料纳米硅薄膜的压阻特性．测得两种衬底材料制备的样品均有很高的压力灵敏度系数Ｋ，其值可以达到８０，...
关键词：硅膜 界面 压力灵敏度 纳米硅 晶态比 
纳米Si薄膜的结构及压阻效应被引量：8
《材料研究学报》1996年第1期33-38,共6页何宇亮 林鸿溢 武旭辉 余明斌 于晓梅 王珩 李冲 
国家自然科学基金
使用ＨＲＥＭ及ＳＴＭ技术检测了纳米Ｓｉ薄膜的微结构纳米Ｓｉ薄膜由大量的细微Ｓｉ晶粒以及大量的晶粒间界面区组成．这一特殊的结构造成纳米Ｓｉ薄膜具有较大的压阻效应及较高氢含量．本文分析讨论了薄膜微结构对其压阻效应的作用。
关键词：压阻效应 微结构 简支梁法 硅薄膜 纳米硅薄膜 
纳米硅薄膜的电致发光和光致发光探索被引量：1
《自然科学进展（国家重点实验室通讯）》1995年第3期359-361,共3页何宇亮 余明斌 万明芳 李雪梅 徐士杰 刘湘娜 于晓梅 郑厚植 罗晋生 魏希文 戎霭伦 
国家自然科学基金;中国科学院半导体所超晶格与微结构国家重点实验室课题
自从多孔硅的光致发光被报道以来,引起人们的极大关注,这方面的研究得到很大的发展。关于其发光机理,文献[2～4]分别作了解释,目前还存在一定分歧,但人们已经普遍认为量子限制效应在起重要作用,同时表面态也有一定作用。另一方面,虽然...
关键词：纳米硅 电致发光 光致发光 薄膜 
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