钟少龙

作品数：19被引量：71H指数：5
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供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所更多>>
发文主题：MEMS加速度传感器键合微机电系统MEMS工艺更多>>
发文领域：自动化与计算机技术电子电信机械工程电气工程更多>>
发文期刊：《工业建筑》《传感技术学报》《光学精密工程》《控制工程》更多>>
所获基金：国家重大科学仪器设备开发专项国家高技术研究发展计划国家自然科学基金北京市教委科技计划面上项目更多>>
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MEMS光敏BCB硅—硅键合工艺研究被引量：3
《传感器与微系统》2014年第8期48-51,共4页赵璐冰 徐静 钟少龙 李绍良 吴亚明 
微系统技术国家重点实验室基金资助项目
光敏BCB作为粘结介质进行键合工艺实验研究。实验中选用XUS35078负性光敏BCB,提出了优化的光刻工艺参数,得到了所需要的BCB图形层,然后将两硅片在特定的温度与压力条件下完成了BCB键合。测试表明:该光敏BCB具有较小的流动性和较低的塌...
关键词：光敏BCB 光刻 低温键合 剪切强度 气密性 
基于永磁薄膜的MEMS磁传感器设计与制作被引量：3
《传感器与微系统》2014年第5期59-61,65,共4页龙亮 钟少龙 吴亚明 
国家重大科学仪器设备开发专项项目(2012YQ250002)
提出了一种基于永磁薄膜的新型MEMS磁传感器,磁传感器由MEMS扭摆、CoNiMnP永磁薄膜和差分检测电容等部分组成。分析了磁传感器的磁敏感原理和电容检测原理,提出了器件的结构参数并对器件进行了模态仿真。利用MEMS加工技术成功制作了MEM...
关键词：磁传感器 CoNiMnP永磁薄膜 电容检测 微机电系统 
低热机械噪声MEMS加速度计设计被引量：4
《传感器与微系统》2011年第11期89-91,95,共4页杨丹琼 陈志龙 徐静 钟少龙 李四华 吴亚明 
介绍了一种能够在大气条件下具备低噪声、高灵敏度特性的MEMS加速度计设计、制作与测试。器件采用梳齿电容检测方法,利用MEMS体硅加工工艺,实现了210对梳齿的加速度计制作。该加速度计不需要真空封装和阻尼孔就能实现低热机械噪声特性,...
关键词：加速度计 热机械噪声 体硅工艺 梳齿电容 滑膜阻尼 
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