涂昕

作品数：7被引量：19H指数：3
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供职机构：武汉工程大学更多>>
发文主题：金刚石膜微波等离子体化学气相沉积化学气相沉积石墨烯均匀性更多>>
发文领域：理学化学工程一般工业技术动力工程及工程热物理更多>>
发文期刊：《硬质合金》《真空与低温》更多>>
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MPCVD法制备石墨烯的研究进展
《真空与低温》2014年第4期201-208,共8页游志恒 满卫东 涂昕 阳朔 
微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)法是近年来发展起来的制备石墨烯的新方法,具有低温生长、基底材料选择广泛、容易掺杂等优点,逐渐成为制备高质量石墨烯的主要方法。首先通过分析制备石墨烯的几种主要方法(微机械剥离法、Si C外延生长...
关键词：石墨烯 制备 微波等离子体化学气相沉积 研究进展 
微波等离子体化学气相沉积法制备石墨烯的研究进展被引量：3
《真空与低温》2014年第2期63-70,76,共9页涂昕 满卫东 游志恒 阳朔 
湖北省自然科学基金:11104211;武汉工程大学第四届研究生创新基金项目:CX201236
微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)法具有低温生长、基底材料选择广泛、容易掺杂等优点,是大面积、高速率、高质量石墨烯制备的首选。首先通过比较制备石墨烯的几种主要CVD方法得出MPCVD法的优势,然后阐述了MPCVD法制备石墨烯的研究,最...
关键词：微波等离子体化学气相沉积 石墨烯 研究 应用 
一种提高MPCVD法制备金刚石膜均匀性的方法被引量：3
《硬质合金》2014年第1期23-29,共7页涂昕 满卫东 游志恒 阳朔 
湖北省自然科学基金(11104211)
采用自制的1 kW石英钟罩式微波等离子体化学气相沉积装置,以氢气和甲烷作为气源在镜面抛光的(100)面单晶硅片上沉积了金刚石薄膜。实验共制得两个样品,其中一个样品在制备的过程中加装了难熔的金属钽环,利用等离子体易吸附于金属钽环表...
关键词：微波等离子体化学气相沉积 金刚石膜 均匀性 方法 
衬底对CVD生长石墨烯的影响研究被引量：8
《真空与低温》2013年第4期195-202,213,共9页张玮 满卫东 涂昕 林晓棋 
石墨烯有独特的结构和优异的性能,在电子、信息、能源、材料和生物医药等领域都有着广阔的应用前景。为了更好的应用这种新型材料,如何大规模可控合成高质量石墨烯是一个必须克服的困难。相比与机械剥离法、化学氧化还原法和碳化硅表面...
关键词：石墨烯 化学气相沉积 衬底 生长机理 
光学级CVD金刚石膜的研究进展与应用被引量：3
《真空与低温》2013年第2期63-70,共8页涂昕 满卫东 吕继磊 朱金凤 
金刚石膜优异的光学性能使其成为光学窗口材料的最佳选择。天然金刚石数量稀少,价格昂贵,且为颗粒状,限制了其在光学领域的应用。化学气相沉积(CVD)金刚石膜技术的出现使得其在光学窗口材料上的应用得以实现。首先介绍了光学级CVD金刚...
关键词：金刚石膜 化学气相沉积 光学级 研究进展 
硫化锌窗口上CVD法制备金刚石膜的研究进展被引量：1
《真空与低温》2012年第2期107-114,共8页吕继磊 满卫东 朱金凤 涂昕 
湖北省自然科学基金11104211
金刚石具有优异的红外透过性能,可作为硫化锌红外窗口的保护膜。但由于CVD金刚石的沉积过程会刻蚀硫化锌衬底,导致在窗口表面直接生长金刚石膜比较困难。本文主要综述了近年来通过添加过渡层沉积金刚石薄膜的方法和光学焊接金刚石厚膜...
关键词：金刚石膜 硫化锌 红外 光学窗口 
MPCVD制备大颗粒金刚石形貌的研究被引量：2
《硬质合金》2012年第2期72-79,共8页吕继磊 满卫东 朱金凤 涂昕 
湖北省自然科学基金11104211
利用自制5 kW微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)装置,沉积得到了晶粒尺寸达到500μm的大颗粒金刚石。采用抛光后的硅作为基底,CH4和H2为气源,分别研究了基片边缘与中心区域沉积的大颗粒金刚石的表面形貌。通过SEM表征了金刚石的表面形貌...
关键词：大颗粒 微波等离子体 化学气相沉积 表面形貌 
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