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高压13.56MHz PECVD法沉积器件质量级本征微晶硅材料(英文)
《人工晶体学报》2005年第6期999-1005,共7页侯国付 郭群超 王岩 薛俊明 任慧志 宋建 张晓丹 赵颖 耿新华 李以钢 
TheprojectsupportedbytheChinaNationalKeyBasicResearchProgram(No.G2000028202.G2000028203);theKeyProjectofEducationBureau(No.02167)andOpenProjectofKeyLaboratoryofOpto-electronicInformationScienceandTechnology,MinistryofEducation(No.2005-18)andStartingProjectofNankaiUniversity(J02033)
本文国内首次报道了采用高压RF-PECVD技术沉积本征微晶硅材料的结果。实验表明,增大等离子体激发功率和减小硅烷浓度都能够使薄膜材料由非晶硅逐渐向微晶硅转变,而结构上的改变使得电学特性也随之改变。通过工艺参数的优化和纯化器的使...
关键词：微晶硅 太阳电池 高压 氧施主掺杂 
VHF-PECVD制备不同氢稀释条件下硅薄膜特性分析被引量：6
《人工晶体学报》2005年第1期56-59,64,共5页张晓丹 高艳涛 赵颖 朱锋 魏长春 孙建 侯国付 薛俊明 张德坤 任慧志 耿新华 熊绍珍 
国家"973"重大基础研究项目 (No.G2000028202;G2000028203 );教育部项目 (No. 02167 );国际合作项目 ( 2002DFG00051 );"863"重大项目(No. 2002303261)
本文集中报导了不同硅烷浓度条件下,制备的系列硅薄膜电学特性和结构特性的分析研究。结果表明:随着硅烷浓度的逐渐减小,材料逐渐地由非晶向微晶转变。傅立叶变换红外吸收 (FTIR)的测试结果表明:微晶硅材料存在着自然的不稳定性,表现为...
关键词：硅材料 硅薄膜 VHF-PECVD 有源层 微晶 晶向 电学特性 度条件 因子 不稳定性 
MOCVD制备用于薄膜太阳电池的ZnO薄膜研究被引量：14
《光电子．激光》2005年第5期515-518,共4页徐步衡 薛俊明 赵颖 张晓丹 魏长春 孙建 刘芳芳 何青 侯国付 任慧志 张德坤 耿新华 
国家"973"重点基础研究资助项目( G2000028202; G2000028203 );教育部重点资助项目( 02167 );国家合作资助项目(2002DFG00051;023100711);天津市自然科学基金资助项目(043604911)
利用金属有机物化学气相沉积(MOCVD)生长技术,采用二乙基锌(DEZ)作Zn源和H2O作O源,使用B2H6 为掺杂气体,制备出了光电特性稳定的低电阻率、高透过率的ZnO薄膜。制备条件为:衬底温度160 ℃,DEZ的流量为342μmol/min,H2O流量为500μmol/m...
关键词：ZnO薄膜 薄膜太阳电池 MOCVD 金属有机物化学气相沉积 备用 生长技术 二乙基锌 低电阻率 光电特性 衬底温度 制备条件 方块电阻 H2O 透过率 min MOL 掺杂 流量 500 膜面积 气体 
掺杂B(CH)_3的P型a-SiC:H层及a-Si:H电池的P/I界面研究被引量：2
《光电子．激光》2007年第10期1150-1153,共4页薛俊明 张德坤 孙建 任慧志 赵颖 耿新华 
国家"973"规划资助项目(2006CB202602;2006CB202603);天津市科技发展计划资助项目(06YFGZGX02100)
研究了衬底温度、反应气体流量等工艺条件对掺杂B（CH3）3（TMB）的P型氢化非晶硅碳（a-SiC：H）窗口材料性能的影响，获得了电导率达到8．97×10^-7／cm、光学带隙大于2．0eV的P型a-SiC：H窗口材料。研究了单结电池P型a-SiC：H窗口层的...
关键词：非晶硅(a-Si)太阳电池 B(CH3)3(TMB) 光学带隙 暗电导 缺陷态密度 
多晶硅薄膜太阳电池的计算机模拟被引量：4
《太阳能学报》2002年第2期145-149,共5页葛惠春 薛俊明 耿新华 李洪波 王宗畔 王庆章 任慧志 
国家重点基础研究专项 (G2 0 0 0 0 2 82 0 0 )经费资助
建立了一个多晶硅薄膜太阳电池计算机模型。利用该模型 ,分别模拟计算了单结多晶硅薄膜电池、a Si/poly Si双结电池、a Si/ poly Si/ poly Si三结电池 ,并对结果进行了讨论。结果表明实际可行的多晶硅电池应是具有陷光结构的a Si/ poly ...
关键词：多晶硅薄膜 叠层电池 计算机模型 陷光结构 太阳能电池 
锂掺杂提高硫氰酸亚铜的电学特性及在钙钛矿太阳电池中的应用
《物理学报》2022年第21期322-328,共7页韩梅斗雪 王雅 王荣波 赵均陶 任慧志 侯国付 赵颖 张晓丹 丁毅 
国家自然科学基金(批准号:61874061,61674084);国家重点研发计划(批准号:2018YFB1500103);高等学校学科创新引智计划(111计划)(批准号:B16027)资助的课题。
高效钙钛矿太阳电池中通常采用有机p型半导体材料作为空穴传输层.有机材料在湿度、温度、紫外照射等环境因素下会出现严重的性能衰退,加速钙钛矿太阳电池的老化,成为实现其实际应用的主要障碍之一.本文提出采用无机硫氢酸亚铜(CuSCN)作...
关键词：钙钛矿太阳电池 空穴传输层 硫氢酸亚铜 锂掺杂 
Si基薄膜叠层太阳电池中顶底电池电流匹配的实现被引量：7
《光电子．激光》2011年第6期868-871,共4页陈培专 陈新亮 蔡宁 韩晓艳 李娟 任慧志 李阳 张晓丹 熊绍珍 赵颖 耿新华 
国家重点基础研究发展计划资助项目(2006CB202602;2006CB202603);国家高技术研究发展计划资助项目(2009AA050602);天津市国家科技计划配套资助项目(07QTPTJC29500);天津市应用基础及前沿技术研究计划资助项目(09JCYBJC06900)
以中间层对非晶硅/微晶硅(a-Si/μc-Si)叠层太阳电池电学特性的影响为研究对象,运用太阳能电池模拟软件,计算了中间层折射率和厚度的变化对顶/底电池电流的影响。针对当前Si基薄膜叠层太阳电池中存在的顶、底电池电流不匹配的问题,提供...
关键词：非晶硅/微晶硅叠层太阳电池 中间层 电学模拟 顶底电池电流匹配 
分布式光纤在基桩静载荷试验中的应用被引量：11
《河南大学学报（自然科学版）》2011年第4期429-432,共4页宋建学 白翔宇 任慧志 
针对郑州会展宾馆7根试桩(桩长60 m和67 m两种)的静载荷试验,分别采用分布式光纤BOTDR和振弦式钢筋应力计两种方案对各级载荷下的桩身应变进行监测.结果表明,两种方案得到的桩身轴力大小及分布均十分相似,但前者反映的信息更加丰富,后...
关键词：土木建筑工程设计 分布式光纤 BOTDR静载荷试验 桩 
VHF-PECVD法高速率沉积氢化微晶硅薄膜被引量：5
《太阳能学报》2004年第2期127-132,共6页杨恢东 吴春亚 黄君凯 麦耀华 张晓丹 薛俊明 任慧志 赵颖 耿新华 熊绍珍 
国家重点基础发展规划项目"973"资助(G20000282 2;G20000282 3)
采用光发射谱(OES)技术对氢化微晶硅(μc Si∶H)薄膜的甚高频等离子体增强化学气相沉积(VHF PECVD)生长过程进行了原位监测,并对不同沉积条件下VHF等离子体中SiH 和H 的发光峰强度与薄膜沉积速率之间的关系进行了分析与讨论。通过Raman...
关键词：光发射谱 氢化微晶硅薄膜 甚高频等离子体化学气相沉积 高速沉积 
器件质量级微晶硅薄膜光稳定性研究被引量：7
《光电子．激光》2006年第1期24-27,共4页韩晓艳 王岩 薛俊明 赵书文 任慧志 赵颖 李养贤 耿新华 
国家"973"重大基础研究资助项目(G2000028202;G2000028203);教育部重大资助项目(02167);国家:863"重大资助项目(2002303261)
利用射频等离子体增强化学气相沉积(RF-PECVD)技术,通过改变SiH4浓度制备了一系列不同晶化率(Xc)的本征Si薄膜材料。通过测量其Raman谱和光、暗电导率(σph、σd)研究了工艺变化对材料结构的影响及材料光电特性同微观结构的关系,然后对...
关键词：射频等离子体增强化学气相沉积(RF-PECVD) 微晶硅(μc-Si:H)薄膜 稳定性 
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