辽宁省科学技术基金(20072036)

作品数：6被引量：10H指数：2
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相关作者：揣荣岩李新王健王健刘本伟更多>>
相关机构：沈阳工业大学沈阳化工学院中国电子科技集团公司第四十七研究所中国石油天然气集团公司更多>>
相关期刊：《沈阳工业大学学报》《仪表技术与传感器》更多>>
相关主题：有限元压力传感器密封腔牺牲层多晶硅更多>>
相关领域：电子电信动力工程及工程热物理理学更多>>
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多晶硅纳米膜压阻超薄微梁加速度敏感结构被引量：4
《仪表技术与传感器》2013年第1期1-3,15,共4页揣荣岩 白羽 吴美乐 代全 靳晓诗 
国家自然科学基金资助项目(60776049);辽宁省科学技术基金资助项目(20072036)
随着微机电系统(MEMS)技术的迅速发展,硅基加速度传感器已经得到广泛应用。但在敏感结构设计中,普遍存在灵敏度与固有谐振频率相互制约的矛盾。为此,采用多晶硅纳米膜作应变电阻,设计了300 nm超薄微梁加速度敏感结构。这种结构的设计改...
关键词：加速度传感器 多晶硅纳米膜 压阻式 超薄微梁 谐振频率 
基于电流致重结晶的Poly-Si纳米薄膜电阻电学修正特性
《纳米技术与精密工程》2011年第1期11-15,共5页施长治 崔虹云 刘晓为 揣荣岩 李智 
国家自然科学基金资助项目(60776049);辽宁省科学技术基金资助项目(20072036);辽宁省教育厅创新团队资助项目(2007T130)
为了提高基于多晶硅纳米薄膜的压阻传感器的性能及成品率,对不同厚度多晶硅薄膜的电阻电学修正特性进行了研究.采用低压化学气相淀积(LPCVD)工艺,620℃下制备多晶硅薄膜.通过固相扩散法实现高掺硼,并基于光刻工艺制作成电阻.实验结果表...
关键词：多晶硅 纳米薄膜 电学修正 电流致重结晶 薄膜厚度 
多晶硅纳米薄膜牺牲层压力敏感结构设计被引量：2
《仪表技术与传感器》2010年第2期10-12,21,共4页揣荣岩 崔林 王健 刘本伟 郑雁公 李新 
国家自然科学基金资助项目(60776049);辽宁省科学技术基金资助项目(20072036);辽宁省教育厅创新团队资助项目(2007T130);辽宁省微纳米技术及系统重点实验室;微系统与微制造辽宁省高校重点实验室开放基金资助项目
为使多晶硅纳米薄膜良好的压阻特性在MEMS（微机电系统）压阻传感器中得到有效应用，在设计牺牲层结构压力传感器芯片中探索性地采用了多晶硅纳米薄膜作为应变电阻，并给出这种传感器的设计方法。分析了牺牲层结构弹性膜片的应力分布对...
关键词：牺牲层 有限元 多晶硅纳米薄膜 密封腔 
牺牲层结构压力传感器技术
《沈阳工业大学学报》2009年第5期587-590,共4页揣荣岩 郑雁公 刘本伟 王文东 崔林 李新 
国家自然科学基金资助项目(60776049);辽宁省科学技术基金资助项目(20072036);辽宁省教育厅创新团队项目(2007T130);辽宁省微纳米技术及系统重点实验室;微系统与微制造辽宁省高校重点实验室开放基金资助项目
为使多晶硅纳米薄膜良好的压阻特性在微机电系统压阻传感器中得到有效应用,在设计牺牲层结构压力传感器芯片中探索性地采用多晶硅纳米薄膜作为应变电阻,并对这种传感器的工艺方法进行了研究.通过对牺牲层材料及结构的分析,给出了传感器...
关键词：压力传感器 牺牲层 灵敏度 工艺设计 化学气相淀积 多晶硅 纳米薄膜 密封腔 
多晶硅纳米薄膜压阻式压力传感器被引量：4
《仪表技术与传感器》2009年第9期6-8,共3页王健 揣荣岩 何晓宇 刘伟 张大为 
国家自然科学基金资助项目(60776049);辽宁省科学技术基金资助项目(20072036)
多晶硅纳米薄膜具有优越的应变灵敏特性和稳定的温度特性。为了使这种良好的压阻特性得到实际应用,文中给出了多晶硅纳米薄膜压阻式压力传感器的设计方法。根据多晶硅纳米薄膜压阻特性和硅杯腐蚀技术条件确定弹性膜片结构,并采用有限元...
关键词：压力传感器 有限元 多晶硅纳米薄膜 
复合钝化多晶硅纳米膜应力分布仿真分析
《仪表技术与传感器》2009年第B11期215-217,224,共4页揣荣岩 张大为 孙显龙 刘斌 李新 
辽宁省科学技术基金资助项目(20072036);辽宁省教育厅项目(2007T130;20060631)
多晶硅纳米薄膜具有优良的压阻特性,为提高其在传感器应用中的稳定性和可靠性,对这种薄膜的钝化层结构进行了研究。基于压力传感芯片的结构特点,建立了钝化层结构的有限元分析分析模型,给出了应力分布与SiO_2和Si_3N_4钝化层结构之间关...
关键词：多晶硅纳米薄膜 钝化 应力分布 有限元 压力传感器 
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