国家自然科学基金(60476019)

作品数：18被引量：44H指数：3
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MEMS热风速计流固耦合模拟被引量：1
《电子器件》2007年第6期2247-2249,共3页张骅 沈广平 吴剑 秦明 黄庆安 
国家自然科学基金资助(60476019);江苏省青蓝工程人才培养计划资助课题
通过设置流-固耦合面和固-固耦合面,采用ANSYS软件对MEMS热风速计进行了有限元模拟,基本解决了热风速计有限元模拟中遇到的多物理场耦合问题.通过对不同风速,不同风向情况下的风速计芯片的热分布进行了模拟和分析,得到了一些有助于芯片...
关键词：流固耦合 MEMS 热风速计 模拟 测量 
CMOS热流量风速计恒温差控制环路的研究
《电子器件》2007年第5期1571-1574,共4页吴剑 秦明 丁高飞 沈广平 李成章 
国家自然科学基金(60476019);江苏省"青蓝"工程资助项目
分析了恒温差控制模式在CMOS热流量风速计中遇到的振荡问题.为了能够用Pspice等电路软件对环路进行分析,建立了传感器热域到电域的转换模型.分析可知,检测芯片温度的PN结与加热电阻间的距离以及芯片材料的热容和热阻等参数对恒温差控制...
关键词：CMOS 风速计 恒温差 振荡模式 
MEMS芯片正面结构释放时的保护被引量：1
《纳米技术与精密工程》2007年第4期335-338,共4页张筱朵 秦明 
国家自然科学基金资助项目(60476019)
提出了一种MEMS后处理中正面结构释放的正面保护方法.尤其是针对在CMOS-MEMS工艺制造单片集成传感器时,MEMS后处理工艺中正面体硅湿法腐蚀时对已制作完成的CMOS电路部分的表面铝引线、铝焊盘和钝化层下多晶层的保护方法.将一种新型的复...
关键词：MEMS后处理 正面腐蚀 正面保护 正面结构释放 
非热式微流量传感器被引量：5
《电子器件》2006年第4期1065-1070,共6页魏泽文 秦明 黄庆安 
国家自然科学基金资助(60476019);新世纪人才计划资助项目
基于微机械加工技术的微流量传感器是微传感器中重要的一种,目前,对微流体测量的研究主要集中在对流体流量和流速的测量上,按照测量方式的不同,微流量传感器可分为加热式和非加热式两种。本文概述了可以用来实现非热式微流量传感器的物...
关键词：非热式 流量传感器 伯努利方程 微机械 
电磁激励的硅谐振梁设计和有限元分析
《传感技术学报》2006年第05B期1835-1839,共5页潘军 黄庆安 秦明 
国家自然科学基金资助(60476019)
介绍了电磁激励硅谐振梁的激励和检测原理,给出了双端固支的硅谐振梁谐振频率公式,并利用该公式分析了双端固支梁的谐振频率和梁尺寸的关系.本文利用有限元软件模态分析计算了三种不同的谐振频率情况,并逐一加以比较分析.本文还利用有...
关键词：谐振频率 电磁激励 双端固支梁 有限元 
一种简单实用的差频方法原理研究及应用被引量：10
《电子器件》2006年第2期473-475,共3页程坤 黄庆安 秦明 茅盘松 
国家自然科学基金资助项目(60476019);江苏省自然科学基金资助项目(BK2003052)
介绍了D触发器差频的方法和应用条件,用最基础的时序分析的方法,对D触发器差频做一个理论上的验证,定量给出应用条件,并分析了产生误差的原因和最大的误差范围。同时,对这一方法的应用范围进行了拓展,给出了输入方波不对称时,对占空比...
关键词：D触发器 频率检测 差频 
基于微控制器的风速计在线控制和测量系统设计被引量：11
《传感技术学报》2006年第3期682-685,689,共5页孙凯 秦明 张中平 黄庆安 
国家自然科学基金资助(60476019);江苏省自然科学基金资助(BK2003052)。
针对两种基于对称热电偶结构和基于晶体管的圆形加热条结构的二维集成风速风向微传感器及其风向测量的问题,设计了采用微控制器进行在线控制和利用软件算法实现风速风向测量的传感器系统。系统集微传感器结构、控制与测量电路于一体,显...
关键词：MEMS 微控制器 CMOS 风速风向传感器 控制和测量 
CMOS工艺兼容的单片集成湿度传感器被引量：3
《Journal of Semiconductors》2006年第2期358-362,共5页彭韶华 黄庆安 秦明 张中平 
国家高技术研究发展计划(批准号:2004AA404030);国家自然科学基金(批准号:60476019);江苏省自然科学基金(批准号:BK2003052)资助项目~~
设计并制备了一个CMOS工艺兼容的集成湿度传感器，将湿度传感器与CMOS测量电路集成在同一芯片上．片上集成的湿度传感器为叉指电容式，感湿介质为聚酰亚胺，本文给出了相应的感湿模型-针对湿度传感器在全量程电容变化量较小的特点，本...
关键词：开关电容电路 聚酰亚胺 CMOS兼容工艺 湿度传感器 
一种基于CMOS工艺的二维风速传感器的设计和测试被引量：2
《固体电子学研究与进展》2006年第1期96-99,110,共5页高冬晖 秦明 程海洋 朱昊 
江苏省自然科学基金资助项目(BK2003052);国家自然科学基金项目(60476019)
给出了一种完全基于CMOS工艺的、能同时测量风速和风向的二维测风传感器的结构、工作原理及其测试结果。该传感器采用恒温差工作模式，热堆输出电压平均值反映芯片温度和环境温度的差，省去了测温二极管。风速测量采用热损失型原理．因...
关键词：二维风速传感器 风向传感器 恒温差模式 互补金属氧化物半导体工艺 
用两次键合技术制备均匀单晶硅膜被引量：2
《电子器件》2006年第1期69-72,75,共5页何芳 黄庆安 秦明 
国家自然科学基金资助课题(60476019)
硅直接键合(SDB)技术用于制备SOI片(BESOI)是键合技术的最重要应用之一,研究了制备BESOI片中的键合和减薄问题,获得了大面积的均匀单晶硅膜,通过实验分析了这种方法获得的薄膜的平整度和影响因素。并针对压力传感器的敏感膜,通过两次键...
关键词：硅直接键合 减薄 单晶硅薄膜 MEMS 器件 
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