“上海－应用材料研究与发展”基金(0103)

作品数：8被引量：14H指数：2
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硅基RF无源低通滤波器设计与实现被引量：2
《电子器件》2006年第1期88-91,共4页李小进 石艳玲 游淑珍 赖宗声 
上海应用材料研究与发展基金等项目的资助(0103)
无源滤波器具有功耗小、面积小,噪声小的特点,优于传统的有源滤波器,而研制高品质因子的电感和电容是研制片上无源滤波器的一个难点。文中讨论了影响电感Q值提高的因素,并将结构参数优化应用于无源滤波器的设计中。根据网络综合法设计...
关键词：无源低通滤波器 射频 结构参数 ADS 
硅衬底上射频无源低通滤波器的设计及版图实现
《微电子学》2003年第6期517-520,共4页李小进 石艳玲 赖宗声 朱自强 
国家973项目(G1999033105);国家杰出青年基金(69975409);上海应用材料研究与发展基金(0103)资助
　文章系统地研究了微波无源低通滤波器的设计原理及其设计方法。根据网络综合法,设计出了一个-3dB截止频率为1.2GHz的2阶低通无源滤波器,其器件参数C1、L1、C2分别为2.56pF、13.252nH和2.56pF。采用自行设计的算法,编制了相应的Matlab...
关键词：硅衬底 射频无源低通滤波器 版图结构参数 ADS软件 散射曲线 
低电压驱动的硅基Ka波段级联式MEMS移相器被引量：4
《电子学报》2003年第12期1914-1916,共3页石艳玲 卿健 李炜 忻佩胜 朱自强 赖宗声 
国家973项目集成微光机电系统研究(No.G1 9990 331 0 5);国家自然科学基金(No .698760 1 2 );国家杰出青年基金(No.6997540 9);上海应用材料研究与发展基金(No.0 1 0 3);上海市重点学科项目(No.0 1 2 2 61 0 2 8)
通过在共平面波导上周期性地分布微机械电容 ,外加电压驱动改变电容值 ,可实现级联式MEMS移相器 .本文讨论了优化相移特性对共平面波导特性阻抗及下拉电压的要求 ,通过工艺参数优化制备了高阻硅基上的Ka波段级联式MEMS移相器 ,测试结果...
关键词：微机械移相器 高阻硅 驱动电压 振动寿命 MEMS 共平面波导 
微波MEMS移相器的特性分析与实现被引量：2
《半导体技术》2003年第11期19-23,共5页李炜 石艳玲 朱自强 赖宗声 
国家973项目 (G1999033105);国家自然科学基金(69876012);国家杰出青年基金(69975409);上海-应用材料研究与发展基金项目(0103);上海市重点学科项目(012261028)
从移相器的基本原理出发,分别介绍了开关线型、耦合器型和加载线型三种采用微机械加工技术制备而成的微波MEMS移相器的结构特点和工作原理。在此基础上,设计制备了CPW分布式加载线型MEMS移相器,并进行测试和分析,结果表明MEMS移相器较...
关键词：MEMS 移相器 微电子机械系统 微波集成电路 开关线型 耦合器 
低损耗微波MEMS共平面波导在低阻硅上的实现
《Journal of Semiconductors》2003年第9期994-998,共5页石艳玲 忻佩胜 邵丽 游淑珍 朱自强 赖宗声 
国家"973"计划 (No .G19990 3310 5);国家杰出青年基金 (批准号 :6 99754 0 9);上海应用材料研究与发展基金 (No .0 10 3)资助项目~~
在低阻硅衬底上采用常规CMOS工艺和后处理微机械加工技术实现了微波MEMS共平面波导 ,并与高阻硅基平面结构共平面波导特性进行了比较 .采用混合相似剖分有限元方法设计了一组不同特性阻抗值的传输线 ,并通过关键的混合腐蚀技术制备了 5...
关键词：共平面波导 低阻硅衬底 微机械加工技术 插入损耗 
硅基RF平面螺旋电感的圈数对品质因子的影响被引量：3
《Journal of Semiconductors》2003年第9期972-976,共5页李小进 石艳玲 赖宗声 朱自强 
国家重点基础研究发展规划 (No .G19990 3310 5);国家自然科学基金 (批准号 :6 9876 0 126 99754 0 9);上海应用材料研究与发展基金 (No.0 10 3)资助项目~~
从硅衬底RF集成电路中平面螺旋电感的品质因子Q的表达式出发 ,采用ADS软件模拟计算了平面螺旋集成电感L值与品质因子Q值 .通过两组电感Q值的对比 ,发现品质因子Q随着电感圈数的增加而减小 .以电感值为 3 2 8nH的设计为例 ,将电感圈数从 ...
关键词：RF集成电路 平面螺旋电感 电感圈数 品质因子 
基于多孔硅的共平面波导制备及传输特性研究
《微电子学》2003年第3期203-206,共4页游淑珍 石艳玲 忻佩胜 朱自强 赖宗声 
国家973项目<集成微光机电系统研究>(G19990303105);国家自然科学基金项目(69876012);国家杰出青年基金项目(69975409);上海市应用材料研究与发展基金项目(0103);上海市重点学科项目(012261028);上海市重点学科项目(2001年)资助。
　多孔硅被认为是RF应用领域中较有潜力的衬底材料。文章利用多孔硅作衬底,制备了微型微波共平面波导,采用多线方法计算出该波导在多孔硅上的插入损耗和有效介电常数;提出了通过多孔硅的相对介电常数来确定多孔度的方法。实验测试结果表...
关键词：多孔硅 共平面波导 传输特性 阳极氧化 插入损耗 有效介电常数 
高阻硅基铝硅合金弹性膜MEMS相移器被引量：3
《Journal of Semiconductors》2002年第9期972-976,共5页石艳玲 卿健 忻佩胜 朱自强 赖宗声 
国家 973计划 (No.G19990 3 3 10 5 );国家自然科学基金 (批准号 :698760 12 );国家杰出青年基金 (批准号 :69975 40 9);上海应用材料研究与发展基金 (No.0 10 3 );上海市重点学科 (No.0 12 2 610 2 8)资助项目~~
级联式 MEMS相移器可通过悬浮于共平面波导之上的微机械可调电容的变化 ,来改变传输线的特性阻抗和相速 ,达到相移的目的 .文中讨论了 MEMS相移器特性对微机械电容和下拉电压的要求 ,并通过轻质量的铝硅合金弹性膜 ,获得了较低的下拉电...
关键词：铝硅合金弹性膜 MEMS相移器 高阻硅 HR-Si 下拉电压 
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