国家自然科学基金(50605032)

作品数：21被引量：55H指数：4
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相关机构：南京航空航天大学淮安信息职业技术学院扬州大学中国航天科工集团公司更多>>
相关期刊：《中国机械工程》《功能材料》《材料科学与工艺》《硅酸盐学报》更多>>
相关主题：金刚石膜HFCVD温度场CVD金刚石EACVD更多>>
相关领域：金属学及工艺一般工业技术理学化学工程更多>>
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等离子体稳定性对曲面金刚石膜生长的影响被引量：1
《功能材料》2010年第11期1869-1872,共4页李多生 周贤良 左敦稳 邹爱华 
国家自然科学基金资助项目(50605032);江西省教育厅科技资助项目(GJJ09188);南昌航空大学博士点基金资助项目(EA200901168)
采用直流等离子体喷射化学气相沉积(DCPJCVD)制备曲面金刚石膜,等离子体稳定性对金刚石膜生长十分重要。研究表明,曲面金刚石膜长时间生长,阳极积聚石墨碳点,等离子体流动受阻失稳,金刚石膜含较多杂质。通过对阳极除碳处理,可维持稳定...
关键词：曲面金刚石膜 CVD 直流等离子体 稳定性 
工艺条件对金刚石膜红外透射率影响的研究被引量：1
《材料科学与工艺》2010年第3期322-325,共4页王鸿翔 左敦稳 卢文壮 徐峰 
国家自然科学基金资助项目(50605032);江苏省自然科学基金资助项目(BK2007193)
为了优化金刚石沉积工艺,制备高透射率的CVD金刚石薄膜,采用傅里叶红外光谱仪对不同工艺条件下制备的CVD金刚石膜的红外透射率进行了测量,分析了不同工艺条件对金刚石膜红外透射率的影响,获得了最佳沉积参数.结果表明,金刚石膜的红外透...
关键词：CVD 金刚石膜 红外透射率 工艺条件 
基于模型复制法的金刚石微结构制备研究被引量：6
《人工晶体学报》2010年第5期1141-1145,共5页袁佳晶 卢文壮 王红军 徐锋 左敦稳 
国家自然科学基金(No.50605032);江苏省自然科学基金(BK2008382)
CVD金刚石膜是一种具有众多卓越特性的功能材料,在微机电系统(MEMS)领域有着广泛的应用前景。金刚石膜的精密微细图形化加工技术是将金刚石材料应用于MEMS微器件的关键技术。本文开展了金刚石微结构的制备实验研究,利用在硅微模具中沉...
关键词：CVD金刚石 模型 微结构 HFCVD 
温度对压痕法测试砷化镓显微硬度及裂纹形成和扩展的影响
《硅酸盐学报》2010年第5期892-896,共5页沈兆侠 陈荣发 戴良刚 朱瑞 张显亮 
国家自然科学基金(50605032);江苏省精密与微细制造技术重点实验室开放基金(No.JSPM200705)资助项目
在常温和低温下对砷化镓单晶进行压痕实验,分析温度对砷化镓单晶片显微硬度及其裂纹产生和扩展的影响。结果表明:当试验载荷处在低于0.244N的小载荷区时,砷化镓单晶片的显微硬度随着载荷的增加而增大;当载荷处在大于0.244N的高载荷区时...
关键词：砷化镓单晶 压痕法 温度变化 显微硬度 
Ti/BDD涂层电极的制备及其电化学性能研究被引量：4
《硅酸盐通报》2010年第4期961-966,共6页陈兴峰 左敦稳 卢文壮 徐锋 
国家自然科学基金资助项目(No:50605032);2007年度江苏省高等学校大学生实践创新训练计划项目
本文在热丝化学气相沉积(HFCVD)系统上,采用不同的工艺参数进行了钛衬底掺硼金刚石(Ti/BDD)涂层电极的制备试验,研究了衬底温度和碳源浓度对Ti/BDD涂层电极质量的影响,优化了制备Ti/BDD涂层电极的工艺条件。结果表明,沉积Ti/BDD涂层电...
关键词：Ti/BDD涂层电极 衬底温度 碳源浓度 电化学性能 
金刚石线锯切割对砷化镓切片表面质量的影响被引量：3
《扬州大学学报（自然科学版）》2010年第2期33-36,共4页沈兆侠 陈荣发 孙玉利 戴良刚 张显亮 朱瑞 左敦稳 
国家自然科学基金资助项目(50605032);江苏省精密与微细制造技术重点实验室开放基金资助项目(JSPM200705);扬州大学科技创新基金资助项目(200809)
采用金刚石线锯对直径65 mm的单晶砷化镓棒材进行切割实验,锯丝线速度分别为0.8,2.5 m.s-1,进给速度分别为0.6,1.5,2.5 mm.min-1.应用原子力显微镜(atomic force microscopy,AFM)测量切割后砷化镓切片的表面粗糙度,根据脆塑转变中的滑...
关键词：单晶砷化镓 金刚石锯丝 表面质量 线速度 进给速度 
整体硬质合金铣刀上制备CVD金刚石涂层的系统三维流场研究被引量：2
《人工晶体学报》2010年第2期345-349,共5页林欢庆 卢文壮 左敦稳 徐锋 袁佳晶 马乐娟 
国家自然科学基金(No.50605032);江苏省自然科学基金(No.BK2007193)
本文通过建立整体硬质合金立铣刀上制备CVD金刚石涂层时CVD沉积系统流场的三维模型,研究了进气口分布对该系统流场均匀性的影响,优化了进气口的分布;在仿真的基础上开展了整体硬质合金立铣刀上制备CVD金刚石涂层的验证实验,采用SEM和Ram...
关键词：铣刀 CVD金刚石 涂层 三维流场 
EACVD摆动衬底空间流场有限元模拟研究
《人工晶体学报》2010年第1期251-256,共6页王鸿翔 左敦稳 卢文壮 徐峰 陈拥军 
国家自然科学基金(No.50605032);江苏省自然科学基金(BK2007193)
根据EACVD系统的实际几何特点和工艺参数建立了该系统的三维流场有限元模型,研究了衬底温度及摆动周期、热丝参数、进气口参数对衬底表面流场均匀性的影响。结果表明:衬底低速摆动情况下摆动周期的变化对衬底表面流场的分布没有影响,衬...
关键词：EACVD 金刚石膜 流场 有限元模拟 
硅衬底上高增透金刚石膜的制备研究被引量：3
《功能材料》2009年第12期2008-2010,共3页王鸿翔 左敦稳 卢文壮 徐峰 
国家自然科学基金资助项目(50605032);江苏省自然科学基金资助项目(BK2007193)
采用甲烷和氢气作为工作气体,在热丝化学气相沉积(HFCVD)设备上采用五段式沉积法制备了金刚石薄膜,用扫描电子显微镜(SEM)、激光拉曼光谱仪、X射线衍射仪(XRD)、原子力显微镜(AFM)以及傅立叶红外光谱仪研究了金刚石膜的结构和性质。结...
关键词：HFCVD 金刚石膜 增透 
Si_3N_4陶瓷轴承NCD涂层制备中的温度场模拟
《机械制造与自动化》2009年第3期16-18,36,共4页杨春 卢文壮 左敦稳 徐锋 任卫涛 
国家自然科学基金资助项目(No:50605032);江苏省自然基金资助项目(编号分别为:BK2006189和BK2007193)
纳米金刚石(NCD)薄膜涂层由于优异的力学和摩擦学性能,是一种理想的轴承涂层材料。在用HFCVD方法制备NCD涂层的过程中,衬底温度是重要参数之一。首先设计了一种适合轴承内外圈NCD涂层制备的热丝夹持装置,其次分析了HFCVD系统的热交换过...
关键词：陶瓷轴承 热丝法 纳米金刚石涂层 温度场 有限元分析 
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