云南高校图书馆联盟文献共享服务平台- 国家自然科学基金(60576048)

国家自然科学基金(60576048): 作品数：10被引量：32H指数：4; 导出分析报告; 相关作者：刘泽文侯智昊李志坚胡光伟李玻更多>>; 相关机构：清华大学中国人民解放军后勤工程学院大连理工大学西南林学院更多>>; 相关期刊：《传感技术学报》《光学精密工程》《半导体技术》《Chinese Journal of Electronics》更多>>; 相关主题：RF_MEMS开关MEMS开关MEMSDC函数变换更多>>; 相关领域：电子电信理学电气工程自动化与计算机技术更多>>

微加热器热传导试验与计算被引量：5: 《光学精密工程》2011年第3期612-619,共8页刘泽文田昊刘冲; 国家自然科学基金资助项目(No.60576048);国家重点基础研究发展计划资助项目(No.2007CB310504); 为了研究微加热膜下方的结构与微加热器性能的关系,利用数值计算与有限元仿真,研究了微加热膜下方空气隙厚度的变化对加热器性能的影响。首先,通过微加热器试验确定了对流换热系数等关键热学计算参数,建立了一维Fourier导热微分方程组,...; 关键词：微加热器 Biot数 Fourier传热

GM(1,1)组合优化模型被引量：1: 《后勤工程学院学报》2010年第1期83-87,共5页李玻余显志蒋艳; 国家自然科学基金资助项目(60576048); 从影响GM（1，1）模型产生误差的两个主要原因出发，重新选择灰导数，并基于Newton．Cote’s积分公式和相邻最近插值方法构造出GM（1，1）组合模型，提出了求该组合模型参数的计算方法，通过实例验证了组合模型的模拟精度，具有重要的...; 关键词：GM(1 1)组合模型 Newton—Cote’s积分相邻最近插值

用于悬浮纳米结构制作的氢氟酸气相刻蚀研究被引量：2: 《半导体技术》2009年第12期1166-1169,共4页张伟刘泽文; 国家自然科学基金(60576048); 针对纳米悬浮结构的制作,对不同温度和不同气相条件下的氢氟酸(HF)气相刻蚀进行了研究。利用自制的研究装置,使用HF/水混合气体和HF/乙醇混合气体分别进行了HF对PECVD SiO2的气相刻蚀实验,同时测量了不同衬底温度下刻蚀速率的变化。研...; 关键词：氢氟酸气相刻蚀二氧化硅纳米结构微/纳机电系统

DC～30GHz并联接触式RF MEMS开关的设计与制造被引量：6: 《光学精密工程》2009年第8期1922-1927,共6页侯智昊刘泽文李志坚; 国家自然科学基金资助项目(No.60576048);国家973重点基础研究发展规划资助项目(No.2007CB310500); 对适用于DC～30GHz频率的并联接触式RF MEMS开关的设计与制造进行了研究。利用低应力电镀Au桥膜作为上电极,实现了接触电极之间的Au-Au接触。使用BorofloatTM玻璃作为衬底,并用隔离电阻对内置射频信号与驱动电极旁路进行隔离;通过对上...; 关键词：微机电系统 RF MEMS开关并联接触

函数变换提高灰色预测模型精度的条件被引量：6: 《后勤工程学院学报》2009年第4期86-90,共5页李玻方玲; 国家自然科学基金资助项目(60576048);后勤工程学院学术创新基金资助(YZ07-41101); 指出选择函数变换来提高模型精度主要与三个方面的因素有关：提高数据序列的光滑比、调整数据序列的级比和确保凸凹性。在调整级比方面，扩充了级比压缩变换的相关定理，并讨论了几种常用的函数变换在上述三个方面的关系。最后结合实例...; 关键词：灰色预测模型光滑比级比压缩变换凸凹性

用于制备高机械可靠性RF MEMS开关的新型工艺被引量：3: 《光学精密工程》2008年第7期1213-1217,共5页胡光伟刘泽文侯智昊李志坚; 国家自然科学基金资助项目(No.60576048);北京市科委基金资助项目(No.GYYKW05070014); 对介质桥串联接触式RF MEMS开关的制备工艺进行了研究。介绍了开关的结构,说明了采用常规制备工艺容易在桥膜上形成应力集中,严重影响开关的机械可靠性。通过改进工艺,提出了一种侧向钻蚀刻蚀介质桥膜下金属的方法,获得了平坦的介质桥...; 关键词：MEMS开关接触式开关机械可靠性侧向钻蚀寿命

新型可重构RF-MEMS天线的设计: 《后勤工程学院学报》2008年第3期78-81,共4页余文革巫正中杨廷鸿付诗禄; 国家自然科学基金资助项目(60576048);后勤工程学院学术创新基金的资助; 设计了一种新型的可重构双C型RF—MEMS贴片天线，它由T型桥膜结构的电容式MEMS开关实时地控制天线结构，使之能够发生双频谐振。采用背腔结构的硅基底，使硅衬底的相对有效介电常数从9．18下降到1．51，这有利于减小表面波的损耗，通过...; 关键词：可重构天线 RF—MEMS 电容式MEMS开关 HFSS软件双C型贴片

一种低驱动电压的SP4T RF MEMS开关被引量：5: 《传感技术学报》2008年第4期656-659,共4页胡光伟刘泽文侯智昊李志坚; 国家自然科学基金资助(60576048);北京市科委项目基金资助(GYYKW05070014); 设计并制备了一种低电压的静电驱动接触式单刀四掷(SP4T)RFMEMS开关。单元开关采用以低应力氮氧化硅(SiON)作为桥膜的双端固定桥式结构,并利用附着的金层形成接触结构。整个SP4T开关包括与50Ω特征阻抗相匹配的共面波导,1个输入端,4个...; 关键词：RF MEMS 开关单刀多掷接触式

串联电容式RF MEMS开关设计与制造研究被引量：3: 《传感技术学报》2008年第4期660-663,共4页侯智昊刘泽文胡光伟刘理天李志坚; 国家自然科学基金资助(60576048);北京市科委项目基金资助(GYYKW05070014); 介绍了一种串联电容式RF MEMS开关的设计与制造。所设计的串联电容式RF MEMS开关利用薄膜淀积中产生的内应力使MEMS桥膜向上发生翘曲,从而提高所设计的开关的隔离度,克服了串联电容式RF MEMS开关通常只有在1GHz以下才能获得较高隔离度...; 关键词：射频微电子机械系统串联电容式RF MEMS开关串联电容式内应力

Realization of a Series Contact MEMS Switch with SiON Dielectric Bridge被引量：2: 《Chinese Journal of Electronics》2008年第2期215-218,共4页HU Guangwei LIU Zewen HOU Zhihao LI Zhijian LIU Litian; This work is supported by the National Natural Science Foundation of China （No.60576048）, and by the Sceince and Technology Committee of Beijing Local Government （No.GYYKW05070014）.; A new series contact MEMS switch is proposed and realized using silicon oxynitride （SiON） as bridge film, which allows the switch to work at lower volto age, insulate the via voltage from the signal path, and avoid ...; 关键词：RF MEMS MEMS switch Series switch Dielectric bridge SiON.

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