国家自然科学基金(50574044)

作品数：17被引量：82H指数：7
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TiAlN/CrAlN纳米结构多层膜的结构与性能被引量：6
《材料热处理学报》2010年第8期121-126,共6页董松涛 喻利花 薛安俊 许俊华 
国家自然科学基金(50574044);江苏省自然科学基金(BK2008240)
采用射频磁控溅射方法制备了单层TiAlN、CrAlN复合薄膜以及不同调制周期和不同层厚比(lTiAlN/lCrAlN)的TiAlN/CrAlN纳米结构多层膜。薄膜采用X射线衍射仪、扫描电子显微镜、显微硬度仪进行表征。结果表明:TiAlN、CrAlN复合薄膜和TiAlN/C...
关键词：TiAlN/CrAlN纳米多层膜 显微硬度 微结构 抗氧化性能 
Si含量对Ti-Al-Si-N薄膜微结构与力学性能的影响被引量：16
《材料热处理学报》2010年第7期140-145,共6页喻利花 薛安俊 董松涛 许俊华 
国家自然科学基金(50574044);江苏省自然科学基金(BK2008240)
采用多靶反应磁控溅射技术制备了一系列不同Si含量的Ti-Al-Si-N复合膜。采用能谱仪、X射线衍射仪、三维轮廓仪、原子力显微镜和显微硬度仪对薄膜进行表征,研究了Si含量对Ti-Al-Si-N复合膜微结构和力学性能的影响。结果表明:用Ti0.33 Al0...
关键词：Ti-Al-Si-N 磁控溅射 微结构 显微硬度 
AlN/NbN纳米结构多层膜的共格异结构外延生长研究被引量：3
《物理学报》2010年第6期4150-4155,共6页喻利花 薛安俊 董松涛 许俊华 
国家自然科学基金(批准号:50574044);江苏省自然科学基金(批准号:BK2008240)资助的课题~~
采用射频磁控溅射法制备了NbN,AlN单层膜及不同调制周期的AlN/NbN纳米结构多层膜,采用X射线衍射仪、小角度X射线反射仪和高分辨透射电子显微镜等对薄膜进行了表征.结果表明:单层膜AlN为六方结构,NbN为面心立方结构;AlN/NbN多层膜中AlN...
关键词：AlN/NbN纳米结构多层膜 共格外延生长 异结构 
Ti(C,N)复合膜和TiN/Ti(C,N)多层膜组织和显微硬度被引量：15
《材料热处理学报》2010年第2期113-118,共6页汪蕾 董师润 尤建飞 喻利花 李学梅 许俊华 
国家自然科学基金资助项目(50574044)
采用非平衡反应磁控溅射的方法在Si(100)基片上沉积Ti(C,N)复合膜和不同调制周期、调制比的TiN/Ti(C,N)纳米多层薄膜。薄膜的微观结构和力学性能采用X射线衍射仪(XRD)、显微硬度计进行表征。结果表明,Ti(C,N)复合膜的微观结构和力学性...
关键词：Ti(C N)复合膜 TiN/Ti(C N)纳米多层膜 显微硬度 组织 超硬效应 
Al元素对Zr-Si-N复合膜的微结构与力学性能的影响被引量：3
《金属热处理》2009年第11期1-5,共5页梅永晖 董松涛 熊宁 喻利花 许俊华 
国家自然科学基金项目(50574044);江苏省自然科学基金项目(BK2008240)
采用反应磁控溅射方法制备了一系列不同铝含量的Zr-Al-Si-N复合膜,用能谱仪、X射线衍射仪和显微硬度计对复合膜进行表征,研究了铝元素对Zr-Si-N复合膜的微结构和力学性能的影响。结果表明,当铝的原子分数NAl≤10.84%时,Zr-Al-Si-N复合膜...
关键词：Zr-Si-N复合膜 Zr-Al-Si-N复合膜 微结构 力学性能 
Zr-Al-N及Zr-Al-Si-N复合膜的微结构及力学性能被引量：3
《金属热处理》2009年第10期12-16,共5页靳树强 董松涛 尤建飞 喻利花 许俊华 
国家自然科学基金项目(50574044);江苏省自然科学基金(BK2008240)
采用多靶反应磁控溅射技术制备不同Al含量的Zr-Al-N复合膜及不同Si含量的Zr-Al-Si-N复合膜。采用能谱仪、X射线衍射仪和显微硬度计对薄膜进行测试,研究Al含量对Zr-Al-N复合膜微结构和力学性能的影响以及Si含量对Zr-Al-Si-N复合膜微结构...
关键词：Zr-Al-N复合膜 Zr-Al-Si-N复合膜 微结构 显微硬度 反应磁控溅射 
Ti-Si-Al-N纳米复合膜的组织与性能被引量：3
《材料热处理学报》2009年第6期144-148,共5页李学梅 尤建飞 董松涛 汪蕾 许俊华 
国家自然科学基金资助项目(50574044)
采用磁控反应溅射法制备了一系列Al含量不同的Ti-Si-Al-N纳米复合薄膜,采用X射线衍射仪、扫描电子显微镜及配套能量色散谱仪研究了Al含量对薄膜组织结构、硬度及高温抗氧化性的影响。结果表明:Ti-Si-Al-N薄膜点阵常数随Al含量的增加呈...
关键词：Ti-Si-Al-N复合膜 显微硬度 高温抗氧化性 磁控反应溅射法 
磁控溅射Ti_(1-x)Al_xN薄膜的微结构及性能研究被引量：7
《金属热处理》2008年第11期55-58,共4页喻利花 董松涛 钟春良 董师润 许俊华 
国家自然科学基金(50574044)
利用磁控反应溅射法制备了不同Al含量的Ti1-xAlxN薄膜。采用能谱仪、X射线衍射仪及纳米显微力学探针分析了薄膜的成分、微结构及薄膜的硬度,研究了Al含量对薄膜的微结构、硬度及高温抗氧化性能的影响。结果表明,薄膜为面心立方结构,呈(1...
关键词：磁控溅射法 Ti1-xAlxN薄膜 微结构 抗氧化性能 硬度 
AlN/w-BN纳米多层膜的制备及其显微结构
《机械工程材料》2008年第10期22-26,共5页喻利花 农尚斌 董师润 许俊华 
国家自然科学基金资助项目(50574044)
用射频磁控溅射法在硅基片上制备了AlN、BN单层膜及AlN/BN纳米多层膜,采用X射线衍射仪、傅立叶变换红外光谱仪、小角度X射线反射仪、高分辨率透射电子显微镜和原子力显微镜等对其进行了表征。结果表明:AlN/BN多层膜具有(103)择优取向,...
关键词：AlN/w-BN纳米多层膜 射频磁控溅射 显微结构 
磁控共溅射制备锆-硅-氮复合薄膜的显微组织与性能被引量：7
《机械工程材料》2008年第9期54-58,共5页董松涛 喻利花 董师润 许俊华 
国家自然科学基金资助项目(50574044)
通过磁控共溅射方法制备了一系列不同硅含量的锆-硅-氮复合薄膜;采用能谱仪、X射线衍射仪、扫描电镜和微力学探针等对复合薄膜进行了表征;研究了薄膜中硅、锆原子比对复合薄膜的显微组织、高温抗氧化性能和力学性能的影响。结果表明:随...
关键词：锆-硅-氮复合薄膜 显微组织 抗氧化性能 力争性能 
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