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国家自然科学基金(50472026): 作品数：16被引量：30H指数：3; 导出分析报告; 相关作者：李德军杨瑾王明霞刘桐曹猛更多>>; 相关机构：天津师范大学清华大学更多>>; 相关期刊：《真空科学与技术学报》《真空》《Journal of Materials Science & Technology》《Science China(Technological Sciences)》更多>>; 相关主题：射频磁控溅射纳米多层膜ZRNW磁控溅射更多>>; 相关领域：金属学及工艺一般工业技术机械工程理学更多>>

离子束增强沉积合成ZrN/W纳米多层膜: 《中国科学（E辑）》2007年第11期1455-1460,共6页李德军张晶晶邓湘云王明霞; 天津市科技计划国际合作项目(批准号:07ZCGHHZ01500);国家自然科学基金项目(批准号:50472026)资助; 利用离子束增强沉积方法在室温和不同能量的氮离子轰击条件下制备了不同调制周期的ZrN／W纳米多层膜．利用XRD，AES和纳米压痕仪分析了调制周期和离子轰击能量对薄膜结构和机械性能的影响，结果表明多层膜的机械性能基本都优于单质的ZrN...; 关键词：离子束增强沉积 ZrN/W 多层膜纳米尺度

纳米羟基磷灰石陶瓷的制备及其力学性能的研究被引量：2: 《天津师范大学学报（自然科学版）》2007年第3期9-12,共4页邓湘云刘茜李德军崔福斋; 国家自然科学基金项目(50472026); 利用两段式无压烧结的方法,制备了致密的纳米羟基磷灰石陶瓷,分别采用XRD,SEM和纳米压痕方法测试了纳米羟基磷灰石陶瓷的微观结构和力学性能.它与传统烧结方法制备的粗晶羟基磷灰石陶瓷的力学性能相比,随着晶粒尺寸的减小,纳米羟基磷灰...; 关键词：羟基磷灰石尺寸效应纳米陶瓷

调制周期对TaN/VN纳米多层膜的影响被引量：3: 《真空科学与技术学报》2007年第5期367-369,共3页张学华曹猛杨瑾刘桐王明霞邓湘云李德军; 国家自然科学基金项目(No.50472026);天津市应用基础研究重点项目(No.043801011); 本研究选择钽和钒的氮化物作为个体层材料,利用射频磁控溅射系统制备TaN、VN及一系列的TaN/VN多层薄膜。通过XRD和纳米力学测试系统分析了该体系合成以后的晶体结构、调制周期对力学性能的影响。结果表明:多层膜的纳米硬度值普遍高于两...; 关键词：射频磁控溅射 TaN/VN多层膜调制周期

工作气压对TaN/VN纳米多层膜结构与机械性能的影响被引量：1: 《真空》2007年第2期40-43,共4页张学华曹猛乔林杨瑾刘桐李德军; 天津市应用基础研究重点项目(043801011);国家自然科学基金(50472026); 本研究选择钽和钒的氮化物作为个体层材料,利用超高真空射频磁控溅射系统制备TaN、VN及一系列的TaN/VN多层薄膜。通过XRD,纳米力学测试系统分析了该体系合成中工作气压对多层膜结构与机械性能的影响。结果表明多层膜的纳米硬度值都高于...; 关键词：射频磁控溅射 TaN/VN多层膜工作气压

N_2分压对ZrN/WN纳米多层膜缺陷性质与力学性能的影响被引量：1: 《物理学报》2007年第6期3435-3439,共5页王立群王明霞李德军杨瑾余大书宿杰; 国家自然科学基金(批准号:50472026);天津市应用基础重点项目(批准号:043801011);天津师范大学青年科研基金(批准号:52LJ39)资助的课题~~; 利用射频磁控溅射系统在不同N2分压的条件下,制备了一系列ZrN/WN纳米多层膜.借助慢正电子湮没技术分析了样品的缺陷性质,采用纳米压痕仪研究了多层膜的力学性能.结果发现:N2分压为0.4Pa的多层膜具有最小的空位型缺陷浓度,其中心层和膜...; 关键词：ZrN/WN纳米多层膜缺陷性质力学性能慢正电子湮没

不同靶材制备TaN单层薄膜的晶体结构与力学性能被引量：3: 《天津师范大学学报（自然科学版）》2007年第1期10-12,共3页张学华曹猛杨瑾刘桐李德军; 国家自然科学基金(50472026);天津市应用基础研究重点项目(043801011); 以钽氮化物为个体层材料,利用FJL560CI2型超高真空射频磁控与离子束联合溅射系统,制备以TaN和金属Ta为靶材的两种TaN单层薄膜.通过XRD和纳米力学测试系统分析它们的晶体结构和TaN靶材对薄膜机械性能的影响.结果表明,TaN靶材制备的TaN单...; 关键词：射频磁控溅射 TaN单层膜 TaN靶材 Ta靶材

ZrC/ZrB_2纳米多层膜的微结构和耐磨性被引量：1: 《天津师范大学学报（自然科学版）》2007年第1期17-19,共3页杨瑾李德军; 天津市应用基础研究重点项目(043801011);国家自然科学基金项目(50472026); 采用射频磁控溅射方法在Si(100)基底上制备了一系列ZrC/ZrB2纳米多层膜和ZrC,ZrB2单层薄膜.通过扫描电子显微镜(SEM),MS-T3000摩擦磨损仪及表面轮廓仪(XP-2)研究了薄膜的微结构和耐磨性.结果表明,多层膜的界面清晰,调制周期性好,周期为3...; 关键词：磁控溅射 ZrC/ZrB2纳米多层膜微结构耐磨性

调制周期对TaN/NbN纳米多层膜力学性能的影响被引量：1: 《金属功能材料》2007年第1期23-26,共4页张学华曹猛王明霞刘桐李德军; 天津市应用基础研究重点项目(043801011);国家自然科学基金(50472026); 本研究选择钽和铌的氮化物作为个体层材料,利用FJL560CI2型超高真空射频磁控与离子束联合溅射系统制备TaN、NbN及一系列的TaN/NbN多层薄膜。通过XRD和纳米力学测试系统以及摩擦磨损仪分析了该体系合成以后的晶体结构,以及调制周期对机...; 关键词：射频磁控溅射 TaN/NbN多层膜调制周期硬度

Synthesis of nanoscale multilayered ZrN/W coatings by ion beam assisted deposition被引量：2: 《Science China(Technological Sciences)》2007年第2期206-212,共7页LI DeJun ZHANG JingJing WANG MingXia; Supported by the National Natural Science Foundation of China (Grant No. 50472026); ZrN/W multilayered coatings with different modulation periods at the nanoscale have been synthesized at different N+ beam bombarding energies using IBAD. Various characterization techniques such as XRD, AES, nano inde...; 关键词：IBAD ZrN/W MULTILAYERED coating NANOSCALE

ZrN/W_2N纳米多层膜的调制比对其性能的影响被引量：2: 《真空科学与技术学报》2007年第2期101-104,共4页杨瑾王明霞李德军; 国家自然科学基金(No.50472026);天津市应用基础研究重点项目(No.043801011); 利用射频磁控溅射系统制备了调制周期为30 nm的具有不同调制比例的ZrN/W2N纳米多层膜。研究表明:ZrN/W2N纳米多层膜的界面清晰,通过把ZrN周期性地插入到W2N层,多层薄膜的整体应力得到缓解。在调制比tZrN∶tW2N=2∶3时,纳米多层膜的应力...; 关键词：磁控溅射 ZrN/W2N纳米多层膜调制比硬度

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