国家科技重大专项(2012ZX02702001)

作品数：13被引量：38H指数：4
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相关作者：吴晓斌卢启鹏龚学鹏罗艳彭忠琦更多>>
相关机构：中国科学院光电研究院中国科学院长春光学精密机械与物理研究所中国科学院大学中国科学院微电子研究所更多>>
相关期刊：《光学精密工程》《光学学报》《中国激光》《腐蚀与防护》更多>>
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低压环境中材料的氢损伤测试技术被引量：2
《腐蚀与防护》2020年第9期66-71,共6页罗艳 吴晓斌 王宇 王魁波 
国家科技重大专项(2012ZX02702001)。
为了评估极紫外光刻(EUVL)机结构材料的氢损伤行为,提出首先采用低压气相充氢的方法获得不同充氢时间下材料内的氢含量及其变化趋势,同时采用电解充氢恒载荷拉伸试验获得不同氢含量材料的门槛应力值、氢脆指数及变化趋势;然后将两者结...
关键词：极紫外光刻 材料 氢致开裂 氢脆敏感性 测试技术 
不同基底材料对极紫外收集镜聚焦性能的影响
《激光与光电子学进展》2020年第17期295-300,共6页谢婉露 吴晓斌 王魁波 罗艳 王宇 
国家科技重大专项(2012ZX02702001)。
仿真分析了不同基底材料对极紫外辐照损伤研究系统中收集镜聚焦性能的影响,包括熔融石英、SiC和AlSi。与熔融石英、SiC等陶瓷材料基底相比,AlSi基底收集镜的导热性能较高,但在极紫外辐照损伤研究系统中,对于300 mm直径的收集镜,当加载1...
关键词：X射线光学 极紫外 极紫外收集镜 基底材料 热变形 聚焦性能 
自由电子激光光束线反射镜无应力夹持设计与分析被引量：2
《中国光学》2020年第4期787-794,共8页赵晨行 卢启鹏 宋源 龚学鹏 王依 徐彬豪 
国家自然科学基金(No.11079035);国家科技重大专项(No.2012ZX02702001);国家重点研发计划(2018YFD0401003-04)。
反射镜是自由电子激光光束线中的重要光学元件,反射镜自重引起的面形误差会严重影响光束线的成像质量。为减小自重引起的面形误差,基于Bessel点理论提出了重力补偿方案,并设计了无应力夹持装置,利用有限元软件对该装置进行仿真分析。以...
关键词：面形误差 无应力夹持 有限元分析 重力补偿 自由电子激光光束线 
极紫外光源参数对极紫外辐照损伤测试系统聚焦光束性能的影响被引量：5
《中国激光》2020年第6期48-53,共6页谢婉露 吴晓斌 王魁波 罗艳 王宇 
国家科技重大专项(2012ZX02702001)。
实验研究了放电频率、电脉冲能量、碎屑缓冲气体流量等极紫外光源参数对极紫外辐照损伤测试系统聚焦光束性能的影响。测试结果表明:极紫外辐照损伤测试系统焦深为±1.5 mm;聚焦光斑尺寸及单脉冲能量随光源电脉冲能量的增大而明显增大,...
关键词：激光光学 极紫外 极紫外辐照损伤测试系统 极紫外光源参数 聚焦光斑 聚焦能量 
高精度四极质谱检测限测试和影响因素分析被引量：1
《分析测试技术与仪器》2019年第4期211-218,共8页罗艳 吴晓斌 王魁波 
国家科技重大专项(2012ZX02702001)资助
高精度四极质谱仪(QMS)的气体分压精确测量功能与其使用方法关系密切.采用包含有四极质谱仪、真空系统和进样系统的质谱参数测试装置,针对工作及系统参数对质谱测试结果的影响开展研究.试验结果表明:无论是扫描速率、质量数分辨率、电...
关键词：四极质谱仪 检测限 影响因素 最小可检浓度 
超高精度质谱检出限的测试技术研究
《真空科学与技术学报》2018年第11期938-943,共6页罗艳 王魁波 吴晓斌 王宇 
国家科技重大专项(2012ZX02702001)
检出限是评价四极质谱仪性能的重要指标,采用集成有高真空腔室、真空泵组、真空计、大气采样阀和待测四极质谱仪等的超高精度质谱检出限测试系统,针对四极质谱仪进行最小可检浓度和最小可检分压的测试技术研究。通过大气采样阀上的金属...
关键词：超高精度 四极质谱仪 最小可检浓度 最小可检分压 测试 
极紫外光刻机多层膜反射镜表面碳污染的清洗被引量：4
《光学精密工程》2017年第11期2835-2844,共10页宋源 卢启鹏 龚学鹏 王依 彭忠琦 
国家科技重大专项资助项目(No.2012ZX02702001);国家自然科学基金资助项目(No.61404139);应用光学国家重点实验室自主基金资助项目(No.Y5743FQ158);吉林省重点科技成果转化项目(No.20150307039GX)
针对极紫外(EUV)光刻机工作过程中,多层膜反射镜表面沉积碳污染造成的反射率下降问题展开研究,讨论了多层膜反射镜表面碳污染清洗方法。首先描述了在EUV曝光过程中多层膜表面的碳污染形成过程,简单阐述了碳污染对多层膜反射镜的危害。...
关键词：极紫外光刻机 碳污染 清洗技术 多层膜反射镜 
准分子激光与SiC陶瓷的相互作用研究被引量：5
《激光与光电子学进展》2016年第12期159-164,共6页罗艳 吴晓斌 周翊 王宇 
国家科技重大专项(2012ZX02702001)
采用准分子激光对SiC陶瓷表面进行了不同脉冲数、不同单脉冲能量和不同重复频率的辐照实验,获得了SiC陶瓷的辐照损伤二维和三维表面形貌,并分析了微观作用机制。结果表明,193nm准分子激光辐照SiC陶瓷时既产生光热作用又产生光化学作用,...
关键词：激光技术 辐照损伤 损伤机制 准分子激光 SIC陶瓷 
高精度真空材料放气测试研究被引量：13
《真空科学与技术学报》2016年第3期251-257,共7页罗艳 王魁波 吴晓斌 王宇 
国家科技重大专项(2012ZX02702001)
材料放气率是评价真空材料性能的重要参数。高精度真空材料放气测试系统集成了定容升压法、小孔流导法和双通道转换法三种材料放气率测试方法。其独特的系统设计与加工并配备先进的泵阀计组件,使系统获得无污染清洁的超高真空,极限真空...
关键词：真空材料 放气率 测试方法 极限真空 放气组分 
极紫外辐照损伤测试系统光学仿真研究
《激光与光电子学进展》2015年第6期241-246,共6页陈进新 吴晓斌 王宇 
国家科技重大专项(2012ZX02702001)
为了科学地筛选极紫外光刻机所用的材料和工艺,需要建立极紫外辐照损伤测试系统、开展真空极紫外辐照下各种材料的损伤实验。极紫外辐照损伤测试系统主要包括极紫外光源、收集镜腔室和样品腔室。对极紫外辐照损伤测试系统进行了光学仿真...
关键词：光学制造 极紫外辐照损伤测试系统 光学仿真 椭球收集镜 像面 
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