国家重点基础研究发展计划(G000028201)

作品数：5被引量：5H指数：2
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相关作者：陈光华何斌朱秀红刘国汉丁毅更多>>
相关机构：北京工业大学兰州大学中国科学院电子学研究所更多>>
相关期刊：《物理》《兰州大学学报（自然科学版）》《真空科学与技术学报》《太阳能学报》更多>>
相关主题：氢化非晶硅薄膜微波热丝ECR-PECVD计算机仿真更多>>
相关领域：理学电子电信更多>>
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热丝辅助MWECR-CVD法沉积氢化非晶硅薄膜研究被引量：1
《太阳能学报》2006年第10期986-989,共4页刘国汉 丁毅 朱秀红 何斌 陈光华 贺德衍 
国家重点基础研究发展规划资助项目(G000028201);甘肃省自然科学基金项目(3ZS051-A25-052)
为了降低a-Si:H薄膜中的氢含量,提高其稳定性,在我们MWECR-CVD系统中引入了热丝装置,热丝对等离子体的热辐射使等离子体升温,既促进了气体的进一步分解和电离,获得较多的低氢原子基团,也减少了活性高硅烷聚合物的生成,从而使薄膜中的(Si...
关键词：电子回旋共振 等离子体增强化学气相沉积 氢化非晶硅薄膜 热丝 光致衰退效应 
MWECR-CVD法高速沉积氢化非晶硅薄膜被引量：2
《兰州大学学报（自然科学版）》2006年第2期43-46,共4页刘国汉 丁毅 何斌 朱秀红 陈光华 贺德衍 
国家重点基础研究发展规划资助项目(G000028201)。
介绍了一种新型的 MWECR-CVD 装置．该装置设计采用了一种由单个电磁线圈和永磁体单元组合的新型磁场,设计了一种新型的矩形耦合波导．应用这一装置使 a-Si∶H 薄膜的沉积速率达到了 2nm／s 以上．为了降低薄膜的光致衰退效应,提出了热...
关键词：微波电子回旋共振化学气相沉积 氢化非晶硅薄膜 磁场 微波 热丝 
热丝辅助MW-ECRCVD制备a-Si:H薄膜及硅-氢键合模式变化的研究
《真空科学与技术学报》2006年第z1期67-70,共4页张文理 陈光华 何斌 朱秀红 马占洁 丁毅 刘国汉 郜志华 宋雪梅 
采用热丝辅助微波电子回旋共振化学汽相沉积(MW ECR-CVD)系统制备氢化非晶硅(a-Si:H)薄膜.实验证明在原有的MW ECR-CVD基础上加入热丝辅助系统能有效提高a-Si:H薄膜的沉积速率并大幅改善薄膜的稳定性;薄膜的沉积速率随着沉积压强的增加...
关键词：A-SI:H薄膜 沉积速率 键合模式 光致衰退 
a-Si∶H薄膜及MWECR-CVD制备技术
《物理》2004年第4期272-277,共6页阴生毅 陈光华 
国家重点基础研究发展规划 (批准号 :G0 0 0 0 2 82 0 1)资助项目
文章回顾了a -Si∶H薄膜的发展历程 ,并介绍了其近 10年的研究状况 .为提高a -Si∶H薄膜的沉积速度 ,还重点介绍了一种新的微波电子回旋共振等离子体CVD(MWECR -CVD)技术 .该技术的特点是 :不含电极 ,可避免电极溅射造成的污染 ;等离子...
关键词：微波电子回旋共振等离子体CVD技术 等离子体增强CVD技术 薄膜制备 薄膜生长 磁场位形 磁场结构 氢化非晶硅薄膜 
新型微波ECR-PECVD装置的研制被引量：2
《真空科学与技术学报》2004年第1期33-36,共4页阴生毅 陈光华 粟亦农 张永清 
国家重点基础研究发展规划资助项目 (G0 0 0 0 2 82 0 1)
介绍一台新型的ECR PECVD装置。这一装置设计和采用了一种由单个电磁线圈和永磁体单元组合的新型磁场 ,使整个装置结构明显简化。为提高装置的微波转换效率 ,通过计算机仿真微波场在等离子体室的分布 ,选择和采用了一种新型的矩形耦合...
关键词：电磁线圈 永磁体 微波转换 计算机仿真 微波电子回旋共振等离子体增强化学气相沉积 ECR-PECVD 
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