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国家自然科学基金(10875093): 作品数：36被引量：75H指数：5; 导出分析报告; 相关作者：马志斌曹为严垒沈武林汪建华更多>>; 相关机构：武汉工程大学更多>>; 相关期刊：《光学学报》《光电子．激光》《硬质合金》《核聚变与等离子体物理》更多>>; 相关主题：ECR等离子体发射光谱刻蚀CVD金刚石膜金刚石膜更多>>; 相关领域：理学化学工程核科学技术一般工业技术更多>>

Breakdown Electric Field of Hot 30% CF_3I/CO_2 Mixtures at Temperature of 300–3500 K During Arc Extinction Process被引量：1: 《Plasma Science and Technology》2016年第11期1095-1100,共6页ZHAO Xiaoling JIAO Juntao XIAO Dengming; supported by National Natural Science Foundation of China(No.10875093); We calculated the uniform dielectric breakdown field strength of residual 30% CF3I/CO2 gas mixtures during the arc extinction process over the temperature range 300-3500 K at 0.1 MPa. The limiting reduced field streng...; 关键词：limiting electric field strength electron swarm parameters Boltzmannequation hot CF3I/CO2 gas mixtures

高气压MPCVD沉积金刚石的光谱研究被引量：4: 《光谱学与光谱分析》2015年第11期3007-3011,共5页曹为马志斌; 国家自然科学基金项目(10875093)资助; 采用微波等离子体化学气相沉积方法(microwave plasma chemical vapor deposition,MPCVD)在高沉积气压(34.5kPa)下制备多晶金刚石,利用发射光谱(optical emission spectroscopy,OES)在线诊断了CH4/H2/O2等离子体内基团的谱线强度及其空...; 关键词：高气压微波等离子体 CVD金刚石膜发射光谱拉曼光谱均匀性

MPCVD生长单晶金刚石及发射光谱分析被引量：4: 《人工晶体学报》2015年第10期2734-2738,共5页吴超马志斌高攀黄宏伟付秋明王传新; 国家自然科学基金(10875093); 在微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)生长单晶金刚石过程中,测量了近衬底附近等离子体发射光谱(OES),研究了甲烷浓度对等离子体中基团谱峰强度的影响,分析了等离子体中基团谱峰相对强度与金刚石生长速率、质量的关系。利用激光拉曼光谱(R...; 关键词：微波等离子体化学气相沉积单晶金刚石发射光谱甲烷浓度

Influence of Working Pressure on Ion Sensitive Probe Measurement in Microwave ECR Plasmas: 《Plasma Science and Technology》2015年第4期294-297,共4页马志斌吴俊谭必松沈武林潘鑫汪建华; supported by National Natural Science Foundation of China(No.10875093); In order to precisely measure the ion parameters in a microwave electron cyclotron resonance plasma using an ion sensitive probe,the dependences of the current-voltage（I-V）characteristics on the shielding height（h...; 关键词：working pressure ion sensitive probe ion temperature plasma

氦气对 MPCVD 沉积金刚石的影响被引量：3: 《光谱学与光谱分析》2015年第3期711-714,共4页曹为马志斌陶利平高攀李易成付秋明; 国家自然科学基金项目(10875093)资助; 为了确定添加氦气对微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)金刚石膜的影响,采用发射光谱法(OES)在线诊断了CH_4-H_2-He等离子体的发射光谱特性,研究了He对等离子体内基团空间分布的影响;并利用扫描电子显微镜(SEM)和拉曼(Raman)光谱对不同He...; 关键词：金刚石膜发射光谱氦气孪晶应力

ECR等离子体刻蚀增强机械抛光CVD金刚石被引量：4: 《真空科学与技术学报》2015年第2期174-178,共5页潘鑫马志斌高攀李国伟曹为; 国家自然科学基金资助项目(10875093); 采用电子回旋共振(ECR)等离子体刻蚀与机械抛光相结合的方法抛光化学气相沉积(CVD)金刚石,运用扫描电镜、Raman光谱观察、分析了刻蚀与抛光后金刚石的表面形貌和质量变化,并与单纯的机械抛光相比较,研究了等离子体刻蚀对后续机械抛光的...; 关键词：刻蚀机械抛光电子回旋共振等离子体化学气相沉积金刚石

氧等离子体刻蚀CVD金刚石膜的影响机理被引量：3: 《强激光与粒子束》2014年第7期243-247,共5页潘鑫马志斌李国伟曹为王传新付秋明; 国家自然科学基金项目(10875093); 采用电子回旋共振(ECR)等离子体在不同的磁场位形和工作气压下刻蚀化学气相沉积(CVD)金刚石膜,运用双探针和离子灵敏探针法对等离子体进行了诊断,研究了等离子体参数对刻蚀效果的影响。结果表明:磁场由发散场向收敛场转变时,离子温度、...; 关键词：刻蚀 CVD金刚石等离子体参数 ECR等离子体

高温高压金刚石衬底上的同质外延生长研究被引量：2: 《人工晶体学报》2014年第6期1420-1424,共5页严垒马志斌曹为吴超高攀张田田; 国家自然科学基金(10875093); 在自主研发的小功率微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)装置上利用高温高压(HPHT)单晶金刚石片为衬底进行了金刚石同质外延生长的研究。研究了甲烷浓度、工作气压对金刚石生长速率的影响。测量了金刚石外延生长过程中等离子体的发射光谱,...; 关键词：高温高压金刚石单晶同质外延

CVD金刚石磨损性能的研究被引量：1: 《金刚石与磨料磨具工程》2014年第1期15-17,共3页高攀吴超严垒马志斌; 国家自然科学基金(10875093)资助项目; 提出了一种直接评价CVD金刚石磨损性能的实验方法,比较研究了热丝CVD法、微波等离子体CVD法和直流电弧等离子体CVD法制备的金刚石的磨损性能。研究结果表明:影响CVD金刚石磨损性能的主要因素是非金刚石相的相对含量,金刚石的内应力和晶...; 关键词：CVD金刚石评价方法磨损性能拉曼光谱

CVD单晶金刚石的研究进展被引量：6: 《金刚石与磨料磨具工程》2014年第1期57-63,共7页吴超马志斌严垒高攀; 国家自然科学基金项目(10875093); 化学气相沉积(CVD)单晶金刚石是近年来金刚石领域研究焦点之一,在众多合成方法中,微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)是诸多学者公认的稳定生长均匀高质量单晶金刚石最有前途的技术。近年来,MPCVD合成单晶金刚石在质量、速率、尺寸以及应...; 关键词：化学气相沉积单晶金刚石生长参数研究成果

国家自然科学基金(10875093)