江苏省自然科学基金(BK2003052)

作品数：20被引量：58H指数：5
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一种简单实用的差频方法原理研究及应用被引量：10
《电子器件》2006年第2期473-475,共3页程坤 黄庆安 秦明 茅盘松 
国家自然科学基金资助项目(60476019);江苏省自然科学基金资助项目(BK2003052)
介绍了D触发器差频的方法和应用条件,用最基础的时序分析的方法,对D触发器差频做一个理论上的验证,定量给出应用条件,并分析了产生误差的原因和最大的误差范围。同时,对这一方法的应用范围进行了拓展,给出了输入方波不对称时,对占空比...
关键词：D触发器 频率检测 差频 
基于微控制器的风速计在线控制和测量系统设计被引量：11
《传感技术学报》2006年第3期682-685,689,共5页孙凯 秦明 张中平 黄庆安 
国家自然科学基金资助(60476019);江苏省自然科学基金资助(BK2003052)。
针对两种基于对称热电偶结构和基于晶体管的圆形加热条结构的二维集成风速风向微传感器及其风向测量的问题,设计了采用微控制器进行在线控制和利用软件算法实现风速风向测量的传感器系统。系统集微传感器结构、控制与测量电路于一体,显...
关键词：MEMS 微控制器 CMOS 风速风向传感器 控制和测量 
CMOS工艺兼容的单片集成湿度传感器被引量：3
《Journal of Semiconductors》2006年第2期358-362,共5页彭韶华 黄庆安 秦明 张中平 
国家高技术研究发展计划(批准号:2004AA404030);国家自然科学基金(批准号:60476019);江苏省自然科学基金(批准号:BK2003052)资助项目~~
设计并制备了一个CMOS工艺兼容的集成湿度传感器，将湿度传感器与CMOS测量电路集成在同一芯片上．片上集成的湿度传感器为叉指电容式，感湿介质为聚酰亚胺，本文给出了相应的感湿模型-针对湿度传感器在全量程电容变化量较小的特点，本...
关键词：开关电容电路 聚酰亚胺 CMOS兼容工艺 湿度传感器 
一种基于CMOS工艺的二维风速传感器的设计和测试被引量：2
《固体电子学研究与进展》2006年第1期96-99,110,共5页高冬晖 秦明 程海洋 朱昊 
江苏省自然科学基金资助项目(BK2003052);国家自然科学基金项目(60476019)
给出了一种完全基于CMOS工艺的、能同时测量风速和风向的二维测风传感器的结构、工作原理及其测试结果。该传感器采用恒温差工作模式，热堆输出电压平均值反映芯片温度和环境温度的差，省去了测温二极管。风速测量采用热损失型原理．因...
关键词：二维风速传感器 风向传感器 恒温差模式 互补金属氧化物半导体工艺 
应用于MEMS的芯片倒装技术被引量：3
《传感器与微系统》2006年第2期4-6,共3页周伟 秦明 
国家自然科学基金资助项目(60476019);江苏省自然科学基金资助项目(BK2003052)
通过对芯片倒装技术尤其是凸点加工工艺在MEMS设计中的作用进行实例分析,指出倒装芯片不仅是一种高性能的封装模式,还能为MEMS器件提供立体通道或是力热载体,并形成许多特殊的结构。在MEMS的加工过程中,可以充分考虑芯片倒装技术所带来...
关键词：微机电系统 芯片倒装 凸点 
二维CMOS风速计集成控制电路研究被引量：1
《电子器件》2006年第1期95-97,101,共4页吴剑群 秦明 
国家自然科学基金资助(60476019);江苏省自然科学基金资助(BK2003052)
一种适用于二维CMOS风速计的集成控制电路,是采用恒温差的控制模式,能同时测量风速和风向。在简单介绍了该风速计的测量原理之后,主要介绍了恒温差控制电路的电路指标,方案选择,并给出了电路结构。通过SPICE模拟并经2所制造和后续的测试...
关键词：风速计 恒温差控制 CMOS 放大电路 
采用倒封装技术的硅热风速传感器封装的研究
《传感技术学报》2006年第1期108-111,共4页孙建波 秦明 高冬晖 
国家自然科学基金资助(60476019);江苏省自然科学基金资助项目(BK2003052)
本文给出了一个采用倒封装技术实现的硅热风速传感器的封装结构。该传感器使用铜柱凸点技术,倒装于薄层陶瓷上。利用陶瓷的导热性能实现传感器芯片的加热元件和环境风速的热交换,同时陶瓷又起保护和支撑传感器芯片的作用。测试结果表明...
关键词：硅热风速传感器 倒封装 铜柱凸点 
一种湿度传感器接口电路的分析与改进被引量：2
《微电子学》2005年第6期647-650,654,共5页程坤 秦明 张中平 黄庆安 
国家自然科学基金资助项目(60476019);江苏省自然科学基金资助项目(BK2003052)
介绍了一种本实验室开发的集成湿度传感器,它实现了湿敏电容和接口电路在一块芯片上的集成。重点分析了它的接口电路,基于施密特触发器构建,实现电容值与频率值的转换。对样片进行了测试,电容值与湿度值近似为线性关系;但是,输出波形的...
关键词：MEMS 湿度传感器 接口电路 频率输出 
CMOS工艺实现的热风速传感器及其封装
《东南大学学报（自然科学版）》2005年第6期886-888,共3页孙建波 秦明 黄庆安 
国家自然科学基金资助项目(60476019);江苏省自然科学基金资助项目(BK2003052)
给出了一种完全基于CMOS工艺的热风速传感器及其封装的结构、工作原理以及测试结果.该传感器由加热元件和测温元件构成,多晶硅加热电阻元件产生一定的温度分布,CMOS纵向衬底晶体管实现由风速导致的温度变化的测量.传感器的封装采用导热...
关键词：风速传感器 恒温差 封装 
单片集成MEMS中的阳极键合工艺被引量：1
《电子器件》2005年第4期743-746,共4页祁雪 黄庆安 秦明 张会珍 樊路加 
江苏省自然基金(BK2003052)的资助项目
分析了阳极键合工艺的原理及其工艺条件对CMOS电路的影响,并通过理论分析和实验研究了单片集成MEMS中的两种阳极键合方法:对于玻璃在硅片上方的键合方式,通过在电路部分上方玻璃上腐蚀一定深度的腔及用氮化硅层保护电路可以在很大程度...
关键词：单片集成MEMS 阳极键合 
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