国家自然科学基金(50275138)

作品数:8被引量:56H指数:5
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相关作者:陈本永李达成吴晓维周砚江韦丰更多>>
相关机构:浙江理工大学清华大学浙江大学浙江工程学院更多>>
相关期刊:《传感技术学报》《仪器仪表学报》《中国激光》《机电工程》更多>>
相关主题:合成波长干涉仪性能表征基础学科纳米生物学更多>>
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激光合成波长纳米测量干涉仪的非线性误差分析被引量:11
《中国激光》2008年第2期240-244,共5页陈本永 穆瑞珍 周砚江 李达成 
国家自然科学基金(50275138,60575055)资助项目
描述了激光合成波长纳米测量干涉仪的测量原理,分析了非线性误差对该干涉仪的影响,得出了由偏振光非正交、椭偏化和光学元件偏振非正交及椭偏化等对该干涉仪造成的非线性误差为偏振态误差的二阶或高阶小量。进行了激光合成波长纳米测量...
关键词:测量 干涉仪 合成波长 非线性误差 偏振光非正交 
磁悬浮式纳米级微动工作台的理论分析与建模研究被引量:9
《仪器仪表学报》2006年第9期1125-1128,共4页陈本永 雷勇 李延宝 张丽琼 王俊茹 冯平 
浙江省自然科学基金青年人才项目(R503197);国家自然科学基金项目(50275138)资助项目
磁悬浮式微动工作台由于运动平台和驱动机构采用非接触式的磁悬浮驱动技术而易于实现大范围纳米级精度的微运动。本文构建了一种新型的磁悬浮微动工作台,从理论上对磁悬浮式微动工作台的运动机理进行了详尽分析,建立了磁悬浮式微运动的...
关键词:磁悬浮 微动工作台 理论分析 仿真研究 Halbach磁阵列 
激光干涉测量中条纹计数的CPLD设计及实现被引量:1
《机电工程》2005年第5期47-50,共4页韦丰 陈本永 杨将新 
国家自然科学基金资助项目(50275138)
使用CPLD设计并实现了采用干涉条纹进行测量的光学测量系统中的计数电路部分,取代了传统的多元件分立的电路设计,达到了很好的效果,满足了光学干涉测量准确快速测量的要求。此分析适用于一般条纹计数系统。
关键词:CPLD VHDL 干涉条纹计数 动镜 
纳米测量技术的挑战与机遇被引量:21
《仪器仪表学报》2005年第5期547-550,共4页陈本永 李达成 
国家自然科学基金(50275138)资助项目。
纳米测量技术是纳米科学技术的基础学科之一。纳米科学技术的快速发展,不但给纳米测量技术提出了挑战,同时也给纳米测量技术提供了全新发展的机遇。综述了国内外纳米测量技术发展的现状,重点讨论了纳米材料、纳米电子学和纳米生物学等...
关键词:纳米测量技术 纳米科学技术 纳米生物学 纳米电子学 基础学科 纳米材料 性能表征 发展机遇 科技成果 发展方向 国内外 
大范围高精度的纳米测量现状与发展趋势被引量:6
《光学技术》2005年第2期302-305,308,共5页韦丰 陈本永 丁启全 
国家自然科学基金资助项目(50275138)
介绍了用于大范围高精度纳米测量的方法和当前的发展动态。给出了大范围高精度纳米测量所取得的成果及具体的仪器装置。提出了一种基于合成波长条纹细分原理的新颖的纳米测量方法,在数十毫米的测量范围内,理论上可以达到1/440000的细分...
关键词:纳米测量 光学干涉仪 自混频干涉 扫描探针显微镜 合成波长 
精密直线位移工作台单神经元自适应PID控制方法研究被引量:4
《传感技术学报》2004年第4期583-586,共4页陈本永 吴晓维 张建新 
国家自然科学基金资助项目 (5 0 2 75 138);浙江省自然科学基金青年人才培养项目 (R5 0 3197) .
设计并实现了一套直线位移工作台的精密运动控制系统 ,建立了直线位移工作台系统各组成部分的数学模型 ;在分析研究常规PID控制的基础上 ,针对精密直线位移工作台对定位、响应速度、运动方向等方面的高精度要求 ,提出了一种适合于高精...
关键词:工作台 单神经元 PID 自适应控制 
一种新型的干涉条纹软件计数方法及其实现研究被引量:6
《传感技术学报》2004年第3期371-374,406,共5页陈本永 吴晓维 李达成 
国家自然科学基金资助项目 (No .5 0 2 75 1 38) .
一般的光学干涉条纹计数方法都是对两路相位差为π/ 2的干涉条纹信号进行整形计数 ,此种方法简便易行 ,但是当条纹信号在半个周期内发生振荡变化时 ,容易出现对信号的变化方向产生判别错误 ,从而导致最后的计数结果出现误差。针对此种缺...
关键词:干涉条纹 计数 判向 阈值 软件 
双频激光合成波长干涉仪的精确定位方法研究
《仪器仪表学报》2003年第z1期53-55,共3页陈本永 周砚江 孙政荣 吴晓维 李达成 
国家自然科学基金资助项目 ( 5 0 2 75 13 8)研究内容
本文构筑了一种在同一干涉仪中可同时实现大范围和高精度纳米测量的双频激光合成波长干涉仪 ;针对该干涉仪的光路结构特点 ,提出一种新的粗精定位相结合的干涉信号同相位检测方法 ,实现了对不同频率干涉信号的同相位检测 ;实验测量结果...
关键词:纳米测量 双频激光 合成波长 相位检测 
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