上海市科学技术发展基金(0252nm110)

作品数：10被引量：55H指数：4
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潘宁放电溅射沉积纳米级AlN薄膜的性质
《真空》2006年第2期32-35,共4页李慧玉 施芸城 闫永辉 杨平 冯贤平 
上海市科学技术发展基金项目(No.0252nm110);教育部科学技术研究重点项目(No.03077);波多黎各大学启动基金
设计并制造了新的潘宁型等离子体源实验装置,分析了等离子体的发射光谱和产生A lN的动力学机理。在室温条件下,纯氮气的工作环境中用潘宁放电离子源溅射的方法,在S i(100)衬底上制备了纳米级的光滑平整A lN薄膜。本文用扫描电镜(SEM),...
关键词：潘宁放电 溅射 AIN薄膜 
发射光谱法测量常压介质阻挡放电氩等离子体的放电参数被引量：4
《大学物理》2006年第2期58-60,共3页王良 唐晓亮 邱高 张波 
上海市教委"曙光计划"资助项目(02SG28);上海市科学技术发展基金资助项目(0252nm110);东华大学科学技术发展基金资助项目(03013)
介绍发射光谱法测量常压介质阻挡氩等离子体的放电参数的方法,通过常压介质阻挡放电氩等离子体的光谱图,测量和计算了等离子体的电子温度和电子浓度.
关键词：发射光谱 介质阻挡放电 电子温度 电子浓度 
偏压对空心阴极放电等离子体溅射制备氮化碳薄膜的影响被引量：1
《物理实验》2005年第12期15-19,共5页杨平 冯贤平 施芸城 闫永辉 
上海市科学技术发展基金项目(No.0252nm110);教育部科学技术研究重点项目(No.03077);波多黎各大学启动基金
利用空心阴极放电等离子体源在Si(100)单晶衬底上沉积了氮化碳薄膜.薄膜的表面形貌表明所得的薄膜非常的均匀光滑.用X光电子能谱、拉曼和红外吸收光谱对薄膜的结构、成分和化学键等进行了研究.在拉曼光谱中可以看到典型的G,D和C N键的峰...
关键词：氮化碳薄膜 直流空心阴极放电 偏压 
空心阴极放电沉积氮化碳薄膜的结构和成键性质被引量：1
《物理实验》2005年第9期13-16,共4页杨平 冯贤平 施芸城 闫永辉 
上海市科学技术发展基金项目(No.0252nm110);教育部科学技术研究重点项目(No.03077);波多黎各大学启动基金
利用空心阴极放电等离子体源在Si(100)衬底上沉积了氮化碳薄膜.用XRD,SEM,XPS及拉曼和红外吸收光谱对薄膜的结构、成分和化学键等进行了研究.XRD分析表明,制备的氮化碳薄膜为非晶结构.XPS分析证实了薄膜中以C—C,sp2CN和sp3CN键为主,并...
关键词：氮化碳薄膜 直流空心阴极放电 XPS 拉曼光谱 红外吸收光谱 
潘宁型放电等离子体的发射光谱分析被引量：7
《物理实验》2005年第7期15-17,24,共4页李慧玉 施芸城 冯贤平 杨平 
上海市科学技术发展基金项目(No.0252nm110);教育部科学技术研究重点项目(No.03077);波多黎各大学启动基金
重新设计了潘宁型等离子体源实验装置,在低气压下得到了稳定的等离子体.分析了等离子体的发射光谱,得到了等离子体光谱强度与放电气压和放电电压之间的关系,并且对氮气的发射光谱进行了分析.
关键词：潘宁放电 等离子体诊断 发射光谱 
激光脉冲对内层等离子体辐射源的影响
《原子与分子物理学报》2005年第1期30-33,共4页冯贤平 
教育部科学技术研究重点项目 ( 0 30 77) ;上海市科学技术发展基金项目 ( 0 2 5 2nm1 1 0 );东华大学资助
本文的基本思想是设计双层金铝薄膜靶以检测激光脉冲宽度与等离子体消融深度的关系 ,找出有效的等离子体加热方法以产生更强更亮的等离子体辐射源。由于有预脉冲激光的存在 ,表层金薄膜首先被消融 ,由主脉冲携带的大能量就能较易穿过表...
关键词：预脉冲激光 双层金铝薄膜靶 等离子体辐射源 
常压介质阻挡放电等离子体发射光谱诊断及其在材料表面改性中的应用被引量：18
《光谱学与光谱分析》2004年第11期1437-1440,共4页唐晓亮 冯贤平 黎志光 闫永辉 邱高 
上海市科技发展基金(0252nm110);上海市教委"曙光计划"项目(02SG28);教育部科学技术研究重点项目(03077);东华大学资助项目
使用介质阻挡放电光谱诊断装置,分析了常压等离子体放电电流与放电间隙的变化关系,提出了“放电临界间隙”的概念,记录和比较了空气和氩气常压介质阻挡放电等离子体发射光谱,并运用同一元素谱线的相对强度来诊断电子温度等物理参量,以...
关键词：介质阻挡放电 材料表面改性 电子温度 变化关系 临界 相对强度 常压 诊断 等离子体发射光谱 用具 
常压介质阻挡放电的部分电学参量研究被引量：9
《高电压技术》2004年第9期55-57,共3页唐晓亮 邱高 任忠夫 冯贤平 闫永辉 严治仁 王良 
教育部科学技术研究重点项目 ( 0 3 0 77);上海市科学技术发展基金项目 ( 0 2 5 2nm110 );上海市教委"曙光计划"项目 ( 0 2SG2 8);东华大学科学技术发展基金项目资助
用自制改进的介质阻挡放电连续处理纺织材料的装置 ,采用示波器李萨如图形测量放电功率 ,分析了常压等离子体放电的极板充电电流和放电功率等电学参量间的变化关系 ,研究结果表明 :放电间隙、工作气体成分和流量均会影响这些电学参量 ,...
关键词：介质阻挡放电 参量 材料表面改性 李萨如图形 变化关系 电学 辉光放电 极板 充电电流 放电间隙 
碳氮薄膜的制备及其拉曼光谱研究被引量：4
《物理实验》2004年第9期16-19,共4页闫永辉 冯贤平 施芸城 唐晓亮 
上海市科学技术发展基金项目 (No .0 2 5 2nm110 ) ;教育部科学技术研究重点项目 (No .0 30 77)
使用自行设计的真空系统 ,采用弧光放电等离子体的方法 ,成功制备了表面光滑致密的碳氮薄膜 .牛顿环干涉图样进一步验证了薄膜厚度的均匀性 .拉曼光谱显示了 3个主要的散射峰和几个相对较弱的峰 ,拉曼光谱分析表明 ,膜的结构是一种无定...
关键词：碳氮薄膜 弧光放电 拉曼光谱 发射光谱 红外光谱 
常压介质阻挡放电间隙的选择及其在材料表面改性中的应用被引量：14
《物理实验》2004年第1期16-18,共3页唐晓亮 冯贤平 黎志光 闫永辉 邱高 
上海市科学技术发展基金项目 (0 2 5 2nm110 );上海市教委"曙光计划"项目 (0 2SG2 8);教育部科学技术研究重点项目 (0 30 77);东华大学资助
使用自制介质阻挡放电装置 ,分析了常压等离子体放电电流和放电功率与放电间隙的变化关系 ,提出了“放电临界间隙”的概念 ,并应用该装置对PBT熔喷非织造布进行表面改性 。
关键词：介质阻挡放电 放电间隙 等离子体诊断 大气压 表面改性 交流气体放电 放电临界间隙 
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