云南高校图书馆联盟文献共享服务平台- 国家自然科学基金(50175037)

国家自然科学基金(50175037): 作品数：21被引量：123H指数：7; 导出分析报告; 相关作者：谢铁邦郭军王选择戴蓉常素萍更多>>; 相关机构：华中科技大学三峡大学湖北工学院襄樊学院更多>>; 相关期刊：《兵工学报》《武汉理工大学学报》《光学精密工程》《中国机械工程》更多>>; 相关主题：有限元分析柔性铰链计量学计量标准器白光干涉更多>>; 相关领域：机械工程金属学及工艺自动化与计算机技术一般工业技术更多>>

A high precision profilometer based on vertical scanning microscopic interferometry: 《Journal of Shanghai University(English Edition)》2008年第3期255-260,共6页戴蓉谢铁邦龚文常素萍; Project supported by the National Natural Science Foundation of China （Grant No.50175037）; A profilometer used for 3 dimension measurement of micro-surface topography is presented. The instrument is based on the vertical scanning microscopic interferometry （VSMI）. A Linnik type interference microscope is ...; 关键词：PROFILOMETER vertical scanning microscopic interferometry （VSMI） interference microscope work stage piezo- electric （PZT） actuator flexural hinge

基于迈克尔逊干涉原理的高精度位移传感器被引量：4: 《工具技术》2007年第6期100-103,共4页杨旭东陈育荣谢铁邦; 国家自然科学基金项目(项目编号:50175037); 介绍了一种新型的基于迈克尔逊干涉原理的高精度位移传感器,分析了其光学原理、测量电路和信号细分方法。该位移传感器还采用了一种新的光电管排列方法,使得信噪比较传统的光电管排列方法有极大的提高并且更便于光学调整。该传感器的测...; 关键词：迈克尔逊干涉位移传感器光电管信噪比

白光干涉轮廓仪工作台的设计及有限元分析: 《武汉理工大学学报》2007年第1期62-64,共3页戴蓉谢铁邦; 国家自然科学基金(50175037); 研究开发了一种能实现大量程位移和纳米级定位精度的一维位移工作台。工作台采用了粗、精2级定位机构,以精密衍射光栅传感器组成工作台位移的闭环检测系统。文中对由压电陶瓷驱动和柔性铰链导向的精定位机构进行了力学建模分析,并对其...; 关键词：微定位工作台柔性铰链 PZT驱动有限元分析轮廓测量

垂直扫描白光干涉表面三维形貌测量系统被引量：17: 《光学技术》2006年第4期545-547,552,共4页戴蓉谢铁邦常素萍; 国家自然科学基金资助项目(50175037); 依据白光干涉理论,研制了垂直扫描白光干涉表面三维形貌测量仪。重点对实现垂直扫描运动的工作台进行了分析。所研制的测量系统具有1nm的垂直分辨力,可用于表面粗糙度、台阶、膜厚、球面等三维形貌测量。; 关键词：表面三维形貌白光干涉微动工作台有限元分析

高精度智能三维轮廓测量仪: 《机械制造》2006年第6期67-68,共2页戴蓉谢铁邦常素萍; 国家自然科学基金资助项目(编号:50175037); 介绍了基于国产6JA干涉显微镜的智能三维轮廓测量仪。仪器的垂直测量范围达80μm,垂直分辨率达1nm;仪器可用于多种材料、多种形状的轮廓测量,只需几秒钟即可完成一个取样表面的二维和三维自动测量与评定。给出了对标准样板的测量结果,...; 关键词：干涉显微镜三维轮廓测量白光扫描干涉术

新型一维位移工作台的设计及特性分析被引量：14: 《光学精密工程》2006年第3期428-433,共6页戴蓉谢铁邦; 国家自然科学基金项目(No.50175037); 研究开发了一种能实现大量程位移和纳米级定位精度的一维位移工作台。工作台采用粗、精两级定位机构，以精密衍射光栅传感器组成工作台位移的闭环检测系统。工作台可以实现0～6mm的位移及1nm的定位分辨力。文中建立了由压电陶瓷驱动和...; 关键词：微定位工作台柔性铰链 PZT驱动器有限元分析模态分析

COMPACT PHASE GRATING INTERFERENCE SENSOR FOR MICRO-DISPLACEMENT被引量：2: 《Chinese Journal of Mechanical Engineering》2006年第1期131-133,共3页XIAO Gang XIE Tiebang WANG Xuanze; This project is supported by National Natural Sciences Foundation of China (No.50175037).; On the basis of existing techniques, a compact micro-displacement sensor of phase grating interference （PGI） is described, which adopts cylindrical hologram diffraction grating as the calibration standard. The optic...; 关键词：Sensor Surface topography Phase grating interference（PGI）Micro-displacement measurement

光栅计量型的垂直扫描位移工作台及其误差分析被引量：1: 《计量学报》2006年第z1期15-18,共4页常素萍孙艳玲谢铁邦戴蓉; 国家自然科学基金(50175037); 为满足精密测量中垂直扫描白光干涉以及千分表、电感位移传感器、表面粗糙度触针位移传感器标定对垂直方向的高精度定位和高分辨率运动要求,研制出一种纳米级垂直扫描位移工作台.该工作台采用柔性铰链结构,压电陶瓷驱动位移,满足纳米级...; 关键词：计量学垂直扫描位移台压电陶瓷衍射光栅白光干涉

纳米级定位精度一维位移工作台被引量：9: 《中国机械工程》2006年第2期115-118,共4页戴蓉谢铁邦常素萍; 国家自然科学基金资助项目(50175037); 介绍了一种具有纳米级定位精度的一维位移工作台。工作台采用粗精两级定位机构。可以实现0～6mm范围、1nm理论分辨力的快速、高精度定位；固定在工作台上的全息衍射光栅实现了对工作台位移的高精度闭环检测。采用ANSYS有限元分析软件对...; 关键词：柔性铰链 PZT驱动微位移工作台有限元分析 3D形貌测量

Design and Applications of A 3D Precision Probe: 《Wuhan University Journal of Natural Sciences》2005年第2期426-430,共5页LIUXin-biao XIETie-bang; Supported by the National Natural Science Foundation of China (50175037); A 3D probe used for NC\|copying process is proposed in the paper. The construction of parallel springs is adopted in the probe. It has compact structure and little volume. By adjusting spring force and improving sensi...; 关键词：copying process inductive transducer 3D probe CMM reverse engineering

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