微定位工作台

作品数：14被引量：68H指数：4
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相关领域：机械工程自动化与计算机技术更多>>
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相关期刊：《武汉理工大学学报》《中国学术期刊文摘》《光学精密工程》《微细加工技术》更多>>
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基于GMM的高性能微定位工作台驱动系统的研制被引量：9
《机械工程学报》2019年第9期136-143,共8页喻曹丰 王传礼 解甜 杨林建 姜志 
国家自然科学基金(51075001,51675003,51705003);安徽省2018年度重点研究与开发计划(1804a09020016);安徽理工大学青年教师科学研究基金(QN 2018102)资助项目
提高微定位工作台的性能是提升高端制造装备加工性能的重要方式之一,针对现有微定位工作台驱动系统存有驱动力小、行程短、定位精度低等问题,研制了一台以超磁致伸缩材料为核心元件微定位工作台的驱动系统。为提高驱动系统输出位移的建...
关键词：超磁致伸缩材料 磁滞非线性 混合优化算法 控制策略 
压电驱动微定位工作台的建模被引量：3
《压电与声光》2010年第2期247-250,共4页魏强 胡承忠 张栋 张玉林 
国家自然科学基金重大研究计划基金资助项目(No.90307003);山东省教育厅科技计划基金资助项目(J08LJ89)
为提高压电陶瓷驱动的微定位工作台的模型精度,提出了一种基于动态递归神经网络的建模方法。压电陶瓷具有极高的位移分辨率,但存在着迟滞非线性。分析了压电陶瓷驱动器的结构和特性,利用动态神经网络的自反馈结构和自学习能力,建立起工...
关键词：纳米定位 精密工作台 压电驱动器 系统辨识 神经网络 
白光干涉轮廓仪工作台的设计及有限元分析
《武汉理工大学学报》2007年第1期62-64,共3页戴蓉 谢铁邦 
国家自然科学基金(50175037)
研究开发了一种能实现大量程位移和纳米级定位精度的一维位移工作台。工作台采用了粗、精2级定位机构,以精密衍射光栅传感器组成工作台位移的闭环检测系统。文中对由压电陶瓷驱动和柔性铰链导向的精定位机构进行了力学建模分析,并对其...
关键词：微定位工作台 柔性铰链 PZT驱动 有限元分析 轮廓测量 
用迈克尔逊干涉仪测微定位工作台的位移被引量：8
《中国计量学院学报》2006年第4期281-283,共3页姜坤 朱若谷 
将迈克尔逊干涉实验装置用于用压电陶瓷驱动和柔性铰链导向的一体化微定位工作台,通过实验研究了其位移与电压的关系.实验结果表明它们在限定的工作范围内具有良好的二次曲线关系.另外,还对影响系统定位的误差作了相关分析.
关键词：迈克尔逊干涉 压电陶瓷驱动器 微定位工作台 
机械制造自动化
《中国学术期刊文摘》2006年第22期75-76,共2页
正交基函数多项式实时拟合在轴角编码器测速中的应用,一种纳米级二维微定位工作台的设计与分析,2-DOF新型一维位移工作台的设计及特性分析.
关键词：机械制造自动化 微定位工作台 轴角编码器 正交基函数 非球面加工 监控技术 多项式 纳米级 
一种纳米级二维微定位工作台的设计与分析被引量：24
《光学精密工程》2006年第3期406-411,共6页孙立宁 马立 荣伟彬 高燕 
国家863计划项目(No.2002AA404550)
研究开发了一种采用柔性铰链导向的二维光学调整微定位工作台,建立了工作台的简化模型,并利用结构力学理论推导出工作台沿x、y方向刚度及前二阶固有频率解析式。进行了微定位工作台固有频率及沿x、y方向刚度的试验测试,并结合解析方法...
关键词：柔性铰链 纳米定位工作台 有限元分析 
新型一维位移工作台的设计及特性分析被引量：14
《光学精密工程》2006年第3期428-433,共6页戴蓉 谢铁邦 
国家自然科学基金项目(No.50175037)
研究开发了一种能实现大量程位移和纳米级定位精度的一维位移工作台。工作台采用粗、精两级定位机构，以精密衍射光栅传感器组成工作台位移的闭环检测系统。工作台可以实现0～6mm的位移及1nm的定位分辨力。文中建立了由压电陶瓷驱动和...
关键词：微定位工作台 柔性铰链 PZT驱动器 有限元分析 模态分析 
压电驱动超精密加工微定位工作台的设计与研究被引量：2
《精密制造与自动化》2005年第4期40-42,53,共4页朱振华 李蓓智 杨建国 
上海市科技攻关项目:(041111007)
设计开发了一种用于超精密加工的新型压电驱动微定位工作台(PBMPM-PZT Based Micro-positioning Platform forMachining)。利用力学理论,对柔性铰链和平行铰链运动副进行建模,推导出其刚度理论计算公式。同时,用有限元方法分析了由柔性...
关键词：柔性铰链 压电陶瓷 微定位 有限元 
压电驱动超精密加工微定位工作台的设计与研究被引量：2
《机械科学与技术》2005年第9期1026-1028,共3页朱振华 李蓓智 杨建国 
上海市科技攻关项目(041111007)资助
设计开发了一种用于超精密加工的新型压电驱动微定位工作台(PBMPM-PZT Based M icro-position ing P lat-form forM ach in ing)。利用力学理论,对柔性铰链和平行铰链运动副进行建模,推导出其刚度理论计算公式。同时,用有限元方法分析...
关键词：柔性铰链 压电陶瓷 微定位 有限元 
机械工程
《中国学术期刊文摘》2005年第6期51-64,共14页
机械学 湿式多盘制动器制动噪声建模及其噪声抑制的研究；自行火炮闭锁离合器磨损规律分析及仿真研究；机械设计 塑料微流控芯片微通道热压成形机的研制；金属橡胶构件在某自行火炮闩体挡杆中的应用研究；三自由度微定位工作台的设计与...
关键词：机械工程 湿式多盘制动器 塑料微流控芯片 微定位工作台 自行火炮 离合器磨损 热压成形机 噪声抑制 制动噪声 仿真研究 规律分析 机械设计 金属橡胶 特性分析 三自由度 机械学 微通道 
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