NI-AL

作品数：345被引量：937H指数：11
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以Ni-Al为底电极的P(VDF-TrFE)铁电电容器的结构与性能
《功能材料与器件学报》2012年第1期82-86,共5页闫会芳 赵庆勋 付跃举 刘卓佳 张婷 郭建新 任国强 刘保亭 
国家自然科学基金(60876055;11074063);河北省自然科学基金项目(E2009000207;E2011201092);河北省应用基础研究计划重点项目(10963525D);高等学校博士点基金(20091301110002)
应用磁控溅射法制备Ni-Al和Pt薄膜,溶胶-凝胶法制备P(VDF-TrFE)铁电共聚物薄膜,在SiO2/Si(001)衬底上首次构架了Pt/P(VDF-TrFE)/Ni-Al异质结电容器。X射线衍射(XRD)结果表明:Ni-Al薄膜为非晶结构,P(VDF-TrFE)薄膜具有较好的结晶质量。...
关键词：P(VDF-TrFE) 铁电薄膜 非晶Ni-Al 溶胶-凝胶 
含铜铁电电容器SrRuO_3/Pb(Zr_(0.4)Ti_(0.6))O_3/SrRuO_3/Ni-Al/Cu/Ni-Al/SiO_2/Si异质结的研究被引量：1
《物理学报》2011年第11期650-658,共9页陈剑辉 刘保亭 赵庆勋 崔永亮 赵冬月 郭哲 
国家自然科学基金(批准号:60876055;11074063);河北省自然科学基金(批准号:E2008000620;E2009000207);河北省应用基础研究计划重点基础研究(批准号:10963525D);高等学校博士点基金(批准号:20091301110002)资助的课题~~
应用磁控溅射法以Ni-Al同时作为Cu与SiO2/Si,Cu与SRO薄膜之间的阻挡层材料,将Cu与SiO2/Si衬底和氧化物薄膜电极隔离,避免它们在高温氧气氛中发生化学反应和互扩散,实现了Cu薄膜与氧化物铁电电容器的集成.采用X射线衍射仪(XRD)和原子力...
关键词：Cu PZT 铁电电容器 NI-AL 
快速退火对Ni-Al-O栅介质结构和介电性能的影响
《无机材料学报》2011年第3期257-260,共4页李曼 刘保亭 王玉强 王宽冒 
国家自然科学基金(60876055;11074063);河北省自然科学基金(E2008000620;E2009000207);高等学校博士点基金(20091301110002);河北省应用基础研究计划重点基础研究项目(10963525D)~~
采用反应脉冲激光沉积方法(PLD)分别在n-Si(100)和Pt/Ti/SiO2/Si(111)衬底上生长了Ni-Al-O栅介质薄膜,将样品在不同温度下进行快速退火处理.通过XRD和AFM对其结构和表面形貌进行了表征,利用LCR表和Keithley表对其介电性能和漏电流进行...
关键词：高K栅介质 Ni-Al-O薄膜 反应脉冲激光沉积 
含Ni-Al阻挡层硅基BiFe_(0.95)Mn_(0.05)O_3铁电电容器的结构及物理性能被引量：3
《人工晶体学报》2011年第1期33-37,共5页陈剑辉 刘保亭 魏大勇 王宽冒 崔永亮 王英龙 赵庆勋 韦梦袆 
国家自然科学基金(60876055;11074063)资助项目;河北省自然科学基金(E2008000620)资助项目;河北省应用基础研究计划重点基础研究项目(10963525D);高等学校博士点基金(20091301110002)
以Ni-Al为阻挡层,在Si衬底上构架了SrRuO3(SRO)/BiFe0.95Mn0.05O3(BFMO)/SRO异质结电容器。X射线衍射(XRD)分析表明:Ni-Al阻挡层为非晶结构,BFMO薄膜为具有良好结晶质量的多晶结构。在5 kHz测试频率下,SRO/BFMO/SRO电容器呈现饱和的电...
关键词：BiFe0.95Mn0.05O3 NI-AL 阻挡层 漏电机制 
非晶Ni-Al-N薄膜用作Cu互连阻挡层的研究被引量：9
《真空科学与技术学报》2011年第1期23-26,共4页陈剑辉 刘保亭 李晓红 王宽冒 李曼 赵冬月 杨林 赵庆勋 
973前期研究专项(2007CB616910);国家自然科学基金资助项目(60876055;11074063);河北省自然科学基金项目(E2008000620;E2009000207);河北省应用基础研究计划重点基础研究项目(109635251D)
以一种新的三元非晶化合物薄膜作为Cu互连的阻挡层,采用射频磁控溅射法构架了Cu(120 nm)/Ni-Al-N(10nm)/Si的异质结。利用四探针测试仪、X射线衍射仪和原子力显微镜研究了不同温度下高真空退火样品的输运性质、微观结构与表面形貌。实...
关键词：CU互连 Ni-Al-N 扩散阻挡层 失效机制 
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