等离子增强化学气相沉积

作品数：61被引量：196H指数：7
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电极间距对防原子氧聚硅氧烷薄膜性能的影响
《真空与低温》2024年第1期71-77,共7页李毅 何延春 王虎 王兰喜 曹生珠 袁璐 王江伟 李中华 
国家自然科学基金(12305289,U1937601);国家重点研发计划(2022YFB3806300);甘肃省自然科学基金(23JRRA1363);国防基础科研项目(JCKY 2020203 b019);五院共性工艺技术研究项目(GXJS1701)。
与传统制备防护薄膜的方法相比,等离子体聚合法是一种更高效、干燥和简易的制备方法,可以在各种基底上制备数百纳米厚的致密薄膜涂层。采用等离子增强化学气相沉积(PECVD)法在大面积柔性聚酰亚胺Kapton基底上制备了聚硅氧烷防原子氧薄...
关键词：等离子增强化学气相沉积 六甲基二硅氧烷 电极间距 薄膜 原子氧 
Al2O3衬底无催化剂生长GaN纳米线及其光学性能被引量：3
《物理学报》2020年第8期204-209,共6页梁琦 王如志 杨孟骐 王长昊 刘金伟 
国家自然科学基金(批准号:11774017)资助的课题.
采用一种绿色的等离子增强化学气相沉积法,以Al2O3为衬底, Ga金属为镓源, N2为氮源,在不采用催化剂的情况下,成功制备获得了结晶质量良好的GaN纳米线.研究表明,生长温度可显著调控GaN纳米线的形貌,当反应温度为950℃时,生长出的GaN微米...
关键词：GAN纳米线 等离子增强化学气相沉积 无催化剂 生长机理 
H_2对类金刚石薄膜性能影响的研究被引量：1
《长春理工大学学报（自然科学版）》2013年第6期97-100,共4页唐吉龙 付新华 
吉林省科技发展计划青年基金项目(20100111)
类金刚石膜因其高的硬度、高的介电性、低的摩擦系数、优异的光学和化学性能以及巨大的潜在应用前景而成为研究热点。采用离子增加化学气相沉积方法在Si基底表面制备含氢类金刚石薄膜,通过XPS能谱测试,确定膜层的成份组成,膜层中除了含...
关键词：类金刚石膜 硬度 应力 等离子增强化学气相沉积 
外置式电感耦合化学气相沉积法低温制备SiO_2薄膜被引量：3
《材料科学与工程学报》2013年第1期84-87,83,共5页席俊华 刘永强 杨凌霞 季振国 
国家自然科学基金资助项目(61072015);浙江省科技计划资助项目(2011C37001)
设计了一种外置式电感耦合等离子增强化学气相沉积装置,并利用该装置在n型硅片上低温沉积了SiO2薄膜。通过扫描电子显微镜(SEM)、傅立叶变换红外吸收谱(FTIR)等对生长的薄膜进行表征。SEM测试结果表明,利用该装置沉积的SiO2薄膜表面平整...
关键词：二氧化硅薄膜 电感耦合 等离子增强化学气相沉积 
磷掺杂对非晶硅薄膜结构及光电性能的影响被引量：5
《硅酸盐学报》2011年第4期568-571,共4页殷官超 高峰 袁文辉 夏冬林 赵修建 
国家自然科学基金重点项目(51032005);中央高校基本科研业务费专项资金资助
采用射频等离子增强化学气相沉积方法制备了磷掺杂氢化非晶硅(a-Si:H)薄膜。通过Raman散射光谱研究了不同磷烷掺杂含量薄膜的微结构,利用分光光度计对薄膜的厚度、消光系数和折射率进行了模拟,用高阻仪测得了非晶硅薄膜暗电导率。结果表...
关键词：氢化非晶硅 等离子增强化学气相沉积 Raman散射光谱 暗电导率 
PECVD法制备类金刚石薄膜的摩擦学性能被引量：5
《材料研究学报》2011年第1期73-78,共6页王庆良 孙彦敏 张磊 
国家重点基础研究发展计划2007CB607605;清华大学摩擦学国家重点实验室开放基金SKLTKF08A01资助项目~~
采用射频等离子体增强化学气相沉积法(rf-PECVD),在45钢表面沉积了类金刚石(DLC)薄膜,借助激光拉曼光谱仪(Raman)、X射线光电子能谱(XPS)、扫描电子显微镜(SEM)和原子力显微镜(AFM),分析了DLC膜的键结构、表面形貌和结构特征,用原位纳...
关键词：材料表面与界面 等离子增强化学气相沉积 类金刚石膜 XPS 摩擦磨损 
等离子体增强化学气相沉积技术制备锗反蛋白石三维光子晶体(英文)被引量：2
《硅酸盐学报》2008年第9期1315-1318,共4页李宇杰 谢凯 张良静 许静 韩喻 李运鹏 
国家部委基金资助项目
采用溶剂蒸发对流自组装法将单分散二氧化硅(SiO2)微球组装形成三维有序胶体晶体模板,以锗烷(GeH4)为先驱体气用等离子增强化学气相沉积法在350℃填充高折射率材料锗,获得了锗反蛋白石光子晶体。通过扫描电镜、X射线衍射仪对锗反蛋白石...
关键词：光子晶体 锗反蛋白石 等离子增强化学气相沉积 溶剂蒸发对流自组装 低温填充 
含钨类金刚石薄膜的制备与性能研究被引量：4
《真空》2007年第4期36-39,共4页牛孝昊 罗庆洪 杨会生 陆永浩 熊小涛 王燕斌 
为了满足制备较厚低摩擦系数类金刚石薄膜(DLC)耐磨镀层的实际需求,对在等离子增强化学气相沉积的类金刚石薄膜(W-DLC)中掺钨进行了系统研究。研究结果表明,类金刚石薄膜掺入钨,在较宽的工艺条件范围内,都可以沉积厚度超过5μm的薄膜而...
关键词：掺钨类金刚石薄膜 硬度 摩擦系数 等离子增强化学气相沉积 
化学气相沉积制备碳化钨纳米晶薄膜被引量：6
《浙江工业大学学报》2005年第4期368-371,共4页郑华均 马淳安 黄建国 赵峰鸣 朱英红 
国家自然科学基金项目(20276069);浙江省自然科学基金重大资助项目(ZD0024)
采用氟化钨(WF6)和甲烷(CH4)为前驱体,采用等离子体增强化学气相沉积(PECVD)方法制备具有纳米晶结构的碳化钨薄膜.采用SEM,XRD,EDS等方法表征了碳化钨薄膜的形貌、晶体结构和化学组成.通过表征,表明在前驱体混合气体中的甲烷与氟化钨气...
关键词：碳化钨 纳米晶薄膜 等离子增强化学气相沉积 
化学气相沉积制备纳米结构碳化钨薄膜(英文)被引量：4
《功能材料》2005年第5期789-793,共5页郑华均 黄建国 马淳安 赵峰鸣 朱英红 
采用氟化钨(WF6)和甲烷(CH4)为前驱体,采用等离子体增强化学气相沉积(PECVD)方法制备具有纳米结构的碳化钨薄膜。采用SEM、XRD、EDS等方法表征了碳化钨薄膜的形貌、晶体结构和化学组成。通过表征,表明在前驱体混合气体中的甲烷与氟化钨...
关键词：碳化钨 纳米结构薄膜 等离子增强化学气相沉积 
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