低压化学气相淀积

作品数：26被引量：46H指数：4
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相关领域：电子电信理学更多>>
相关作者：李仁锋谭刚吴嘉丽周再发徐大为更多>>
相关机构：中国科学院微电子研究所中国工程物理研究院电子工程研究所东南大学中芯国际集成电路制造(上海)有限公司更多>>
相关期刊：《半导体技术》《中国工程物理研究院科技年报》《赣南师范大学学报》《集成电路通讯》更多>>
相关基金：国家自然科学基金国家杰出青年科学基金国家高技术研究发展计划河北省自然科学基金更多>>
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基于MEMS技术的红外成像焦平面阵列被引量：7
《Journal of Semiconductors》2006年第1期150-155,共6页李超波 焦斌斌 石莎莉 叶甜春 陈大鹏 张青川 郭哲颖 董凤良 伍小平 
国家自然科学基金(批准号:60236010);国家高技术研究发展计划(批准号:2005AA404210)资助项目~~
选用Au和LPCVD的低应力Si Nx薄膜材料,采用MEMS技术研制了新型间隔镀金热隔离结构的薄膜镂空式非制冷红外成像焦平面阵列,并应用光学读出的方法成功地在室温(27.47℃)背景下获得了人体的热像.实验证明间隔镀金热隔离结构的引入有效抑制...
关键词：微机械 焦平面阵列 光力学 低压化学气相淀积 氮化硅 噪声等效温度差 
基于SIMOX的耐高温压力传感器芯片制作被引量：2
《Journal of Semiconductors》2005年第8期1595-1598,共4页王权 丁建宁 王文襄 熊斌 
国家高技术研究发展计划(批准号:2002AA404470);国家"九五"传感器技术攻关(批准号:96-748-02-01/07)资助项目~~
针对石油化工等领域中高温下较高压力测量的要求，设计了压阻式压力传感器敏感芯片，采用SIMOX技术的SOI晶片，在微加工平台上通过低压化学气相淀积法（LPCVD）均相外延硅测量层、浓硼离子注入、热氧化、光刻、电感耦合等离子体（ICP）...
关键词：高温压力传感器 SIMOX 低压化学气相淀积 电感耦合等离子体深刻蚀 
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