三维微力传感器

作品数：8被引量：39H指数：5
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相关机构：哈尔滨工业大学西安交通大学南京航空航天大学浙江大学更多>>
相关期刊：《机械工程师》《仪器仪表学报》《压电与声光》《光学精密工程》更多>>
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集成三维力传感器的微夹持器设计与试验被引量：5
《上海交通大学学报》2012年第6期972-976,983,共6页虞启凯 游有鹏 韩江义 
国家自然科学基金资助项目(50975144)
设计了一种集成三维力传感器微夹持器,通过压电陶瓷堆驱动和柔性铰链放大来实现夹持动作.微夹持器的弹性体为2个L型结构,对L型结构进行了优化设计和受力仿真分析,在2个L型结构的相应敏感部位分别粘贴3组应变片对空间三维力进行测量.通...
关键词：三维微力传感器 微夹持器 压电驱动 有限元分析 
基于ANSYS的新型三维微力传感器的设计被引量：3
《机械工程师》2008年第3期127-129,共3页李伟 王卫英 王军 
国家自然科学基金资助项目(50575102)
设计一种基于双孔平行梁式的三维微力传感器,采用H型孔对平行梁弹性体局部削弱,运用ANSYS分析软件对弹性体进行结构静力学分析和模态分析,并利用后处理器中路径映射技术确定具体的贴片位置,为传感器的进一步优化设计与应用奠定了基础。
关键词：测力传感器 弹性体 双孔平行梁 ANSYS 路径映射 
用于微装配的三维微力传感器的研究被引量：3
《压电与声光》2007年第3期280-282,共3页陈海初 张蕊华 
国家"八六三"基金资助项目(2003AA404190);浙江大学流体传动及控制国家重点实验室博士后专项基金资助项目;中国博士后科学基金资助项目(20060391049)
采用硅基应变片设计了一种可用于精密微装配作业过程,检测x、y、z方向微接触力的三维微力传感器;经微小改动后,该传感器可成为五维微力传感器。分析了力传感器测量原理,建立其测量模型,并设计了传感器信号放大电路。测试了微力传感器的...
关键词：微力传感器 微装配 微力检测 微小机器人 
基于MEMS技术的三维微力传感器被引量：4
《仪表技术与传感器》2007年第6期1-2,5,共3页秦磊 李满天 孙立宁 
国家"八六三"高科技发展计划(2003AA404190)
开发了一种基于MEMS技术制作的三维微力传感器,传感器为完全对称结构,由4根垂直放置和1根悬臂放置的硅梁连接而成。每根硅梁上设计了一个利用MEMS工艺制作的惠斯通电桥,该种电桥应变系数大,在很大程度上简化了电桥处理电路的设计。在弹...
关键词：微力传感器 MEMS 应变 
基于MEMS技术的微操作三维力传感器研究被引量：11
《仪器仪表学报》2007年第4期692-698,共7页荣伟彬 王家畴 赵玉龙 陈立国 孙立宁 
国家863计划(2006AA04Z256);长江学者和创新团队发展计划资助项目
针对微操作过程中对微力觉信号的需求,以压阻检测技术为基础结合MEMS加工工艺,设计了一种用于微操作的三维力传感器,建立传感器的数学模型并用有限元分析软件对敏感弹性元件进行分析。利用悬臂梁受力弯曲变形的原理结合显微视觉技术,实...
关键词：三维微力传感器 压阻检测技术 有限元分析 标定实验 
新型集成三维微力检测微夹持器被引量：7
《光学精密工程》2007年第4期550-556,共7页王家畴 荣伟彬 孙立宁 谢晖 陈伟 
国家863计划资助项目(No.2004AA420040);国家863计划基金项目(No.2006AA04Z256);长江学者和创新团队发展计划资助项目
提出了一种以压阻检测技术为基础,压电陶瓷为微驱动元件,具有两级位移放大且集成三维微力传感器的微夹持器。采用有限元软件对微操持器放大机构和传感器弹性体进行分析,并给出了传感器的标定方法。实验证明,该传感器具有无耦合、测量分...
关键词：三维微力传感器 压电陶瓷 解耦 微夹持器 有限元分析 
一种集成三维微力传感器的微夹持器研制被引量：5
《压电与声光》2007年第2期175-178,共4页荣伟彬 谢晖 王家畴 孙立宁 陈伟 
国家"八六三"计划资助项目(2006AA04Z256);长江学者和创新团队发展计划资助项目
微操作中力的检测与控制是实现无损伤操作的关键。因此,该文提出了一种以压阻检测技术为基础,集成三维微力传感器的微夹持器。传感器标定实验结果表明,该传感器具有耦合小,测量分辨率高,线性度好的优点。传感器量程为-10^+10 mN,在x、y...
关键词：微夹持器 三维微力传感器 压阻检测 标定实验 
用于昆虫足力测试的三维微力传感器被引量：7
《传感器与微系统》2006年第4期82-84,共3页颜化冰 吉爱红 沈辉 戴振东 
国家自然科学基金重点基金资助项目(60535020;30400086);国家"863"高技术研究发展计划资助项目(2002AA423230)
介绍一种三维微力传感器的结构和工作原理，该传感器量程为-0．01～0．01N，分辨力为10μN，用于测量昆虫爬行时足底与接触面间的三维接触力。通过运用Ansys有限元分析软件，对这种结构的传感器进行结构静力分析和模态分析，验证这种结...
关键词：测力传感器 有限元方法 昆虫 
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