碳膜

作品数:462被引量:877H指数:13
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掺胺碳膜及其对甲酸蒸气传感特性
《微细加工技术》2001年第1期41-44,36,共5页颜永红 曾云 曾健平 尹霞 张红南 陈宗璋 
湖南省自然科学基金资助项目(湘科技字[1999]358号)
用射频等离子体化学沉积方法制备氢化非晶碳 (a C∶H)膜。在等离子体气氛中引入胺基团 ,则能够在a C∶H薄膜沉积过程中将胺基团掺入薄膜的网络结构中。喇曼光谱表明薄膜具有无序态结构。红外分析表明薄膜中有胺基团存在 ,将掺胺的a C∶...
关键词:氢化碳膜 胺掺杂 质量响应 
使用ECR苯等离子体沉积含氢非晶碳薄膜
《微细加工技术》2000年第4期28-35,共8页马春兰 程珊华 宁兆元 叶超 康健 辛煜 
江苏省自然科学基金资助项目!(L310 870 3)
用苯作工作气体 ,在一个电子回旋共振 (ECR)微波等离子体化学气相沉积系统中制备了含氢非晶碳膜 (a -C :H) .对苯等离子体作了质谱分析 ,发现苯分解后形成的主要基团是C2 H4等 ,而不是常规甲烷放电的CH3,这将影响膜的结构。实验中还考...
关键词:ECR-CVD 基片温度 非晶碳膜 苯等离子体 沉积 
电子能量损失谱在类金刚石碳膜结构表征中的应用
《微细加工技术》1993年第4期13-22,共10页王维洁 才勇 王天民 
本文先介绍了类金刚石碳膜的结构特点及电子能量损失谱的原理和分类;然后着重评述了近年来电子能量损失谱在类金刚石碳膜(及有些金刚石膜)结构表征中的应用;同时也讨论了类金刚石碳膜经某些后处理后其能量损失谱的变化特征。
关键词:电子能量损失谱 类金刚石碳膜 结构表征 
类金刚石碳膜的制备及性能
《微细加工技术》1993年第3期88-91,共4页陈智颖 王维洁 王天民 
本文简略地回顾了用低压气相法制备类金刚石碳(DLC)膜的工艺;讨论了DLC膜的形成机制;评述了DLC膜的性能与工艺参数间的关系。
关键词:类金刚石 碳膜 低压气相法 制造 性能 
类金刚石碳膜在各种后处理条件下稳定行为的研究被引量:3
《微细加工技术》1992年第2期62-69,共8页王维洁 陈智颖 王天民 
本文介绍了类金刚石碳膜的结构和性能在高能离子束辐照、真空热退火及脉冲激光辐照等后处理条件下的变化特征,并就该膜在各种处理条件下的相变机制研究现状进行了评述。
关键词:后处理条件 类金刚石 碳膜 
大粒径金刚石结构碳膜
《微细加工技术》1990年第2期87-90,共4页Yoshikatsu Namba 罗强 
金刚石薄膜由磁场偏转CH^+离子流淀积制成。对在薄膜的形成过程中混入中性粒子的可能性及对薄膜生成的影响做了检测。结果表明:(1)电离淀积过程中混入的中性粒子大约为30%,(2)由偏转淀积而生成的膜的表面结构,通过扫描电子显微镜(SEM)...
关键词:金刚石 薄膜 碳膜 
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