微传感器

作品数：328被引量：985H指数：15
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微传感器:方寸之间,创见未来
《科技纵览》2019年第4期76-79,共4页刘胜 
国家科技重大专项(02专项)项目“高密度三维系统级封装的关键技术研究”课题一“系统级封装的设计方法与工具、测试技术和可靠性”(课题编号:2009ZX02038-001);国家863计划项目“气密MEMS封装工艺和规范”(项目编号:2002AA404430);国家973计划项目“MEMS器件规模封装技术基础研究”(项目编号:2011CB309504)的支持。
得益于可提升微传感器封装及系统品质、延长微传感器系统寿命等的关键技术,外形小巧的微传感器可以在不断缩小的空间范围内实现精确、可靠的传感器功能,组成具有多种功能的微型系统,从而大幅度提高自动化、智能化和可靠性水平。
关键词：微传感器 传感器系统 可靠性水平 空间范围 微型系统 自动化 智能化 
智能微传感器系统:超灵敏的水环境“侦探”
《科技纵览》2019年第2期66-68,共3页李洋 边超 孙楫舟 王平 吴康兵 吴文刚 王玮 祁志美 靳刚 夏善红 
国家973计划项目“超灵敏微纳生物化学传感器集成自治系统基础研究”(项目编号:2015CB352100)的资助。
随着检测对象的含量越来越低、环境污染体系的成分越来越复杂,生物化学传感器能否胜任复杂体系的连续监测,是必须面对且需要解决的关键问题。集成化、智能化微纳生物化学传感器系统的灵敏度得到了进一步提升,可对水环境中的痕量污染物...
关键词：传感器系统 水环境 智能化 生物化学传感器 超灵敏 现场检测 痕量污染物 污染体系 
差分谐振式压力微传感器灵敏度匹配特性（英文）
《强激光与粒子束》2016年第6期159-164,共6页邢永豪 谢波 陈健 陈德勇 王军波 
supported by National Natural Science Foundation of China(61431019,61372054);National Basic Research Program of China(2014CB744600);Beijing Municipal Science and Technology Commission(D11110100160000)
谐振式压力微传感器因其高精度、高稳定性及准数字输出等特性而广泛应用于气压监测、航空航天等领域。相较于其他结构,差分谐振式具有灵敏度高、线性度好及温度漂移小等优势。然而,要获得差分谐振式压力微传感器的最优性能,仍需解决差...
关键词：微机电系统 谐振式压力传感器 差分频率 灵敏度匹配 双谐振器 有限元分析 
水环境监测无线网络微传感器芯片系统基础研究
《中国科技成果》2014年第13期23-23,28,共2页
国家重点基础研究发展计划（973）项目（2009CB320300）.
面向水环境监测国家重大需求，针对无线网络微传感器芯片系统急需解决的领域前沿问题，围绕着三维微纳结构传感效应及尺度效应、敏感材料与载体相互作用机理及表面增强效应、多靶标可逆特异性响应机理与信号转换机制、能量产生及耗散机...
关键词：水环境监测 微传感器 芯片系统 无线网络 基础研究 相互作用机理 微弱信号检测 低功耗电路 
基于纳米金修饰的两种无汞型重金属微传感器的对比研究被引量：7
《分析化学》2012年第12期1791-1796,共6页王晋芬 边超 佟建华 孙楫舟 夏善红 
国家重点基础研究发展规划"973"项目(No.2009CB320300)资助
采用微加工技术制备了集成有工作电极和对电极的两种重金属微传感电极芯片,工作电极表面采用电沉积法修饰纳米金(Gold nanoparticles,GNPs),由半胱氨酸(L-cysteine,Cys)和天冬氨酸(L-aspartic acid,Asp)修饰制备Asp/Cys/GNPs/微传感电...
关键词：纳米金 微传感电极芯片 铜 铅 锌 
基于铜纳米簇的硝酸根微传感器的研究被引量：9
《分析化学》2011年第11期1621-1628,共8页李洋 孙楫舟 边超 佟建华 夏善红 
国家重点基础研究发展计划(973计划;No.2009CB320300);国家水体污染控制与治理科技重大专项(No.2009ZX07527-007)
基于循环伏安扫描（CV）的电化学沉积方法制备出多孔性纳米簇状结构铜膜，结合采用微机电系统（Microelectro mechanical systems，MEMS）技术制备的微电极芯片，研制出用于NO3^-检测的安培型微传感器。考察该微传感器对N03的响应性能，...
关键词：循环伏安沉积 铜纳米簇 微电极 NO3- 
基于二元混合自组装包裹纳米颗粒的微传感器抗体固定方法被引量：2
《分析化学》2011年第6期804-808,共5页薛茜男 边超 佟建华 孙楫舟 张虹 夏善红 
国家973计划项目(No.2009CB320300);国家863计划项目(No.2006AA04Z366)资助
采用二元混合自组装膜修饰纳米金颗粒,在经自组装单分子层修饰的金电极上阵列式排布,并通过共价键固定抗体形成生物敏感膜。采用原子力显微镜、扫描电镜和阻抗谱分别对电极表面的修饰过程进行了表征。纳米粒子在微电极表面均匀分布,没...
关键词：纳米金 互补金属氧化物半导体 微加工 糖化血红蛋白 集成芯片 
铜离子选择电流型薄膜传感器被引量：2
《传感技术学报》2008年第1期23-26,共4页门洪 靳继勇 王伟广 穆胜伟 王平 
国家重点基础研究发展计划973资助(2007CB206904);国家自然科学基金资助(60604023);吉林省科技发展计划资助项目(20061204);吉林省教育厅科技计划项目资助(吉教科合字[2006]第自17号)
以铜离子选择电极为靶材,采用脉冲激光沉积技术在p型单晶硅基底上制备了一种铜离子选择电流型薄膜传感器。该传感器的线性区间为10^-4~10^-6mol/L,标准曲线的斜率为71nA/decade,检出限为3.0×10^-7mol/L,适宜pH范围4~6,响应时间不超过2m...
关键词：微传感器 薄膜传感器 硅片 脉冲激光沉积 铜离子 
一种集成三轴加速度、压力、温度的硅微传感器被引量：5
《仪器仪表学报》2007年第8期1393-1398,共6页徐敬波 赵玉龙 蒋庄德 孙剑 
国家自然科学基金(50535030;50475085);国家重点基础研究发展规划(2004CB619302);教育部"新世纪优秀人才支持计划"(NCET-05-0842)资助项目
针对恶劣环境和严格空间体积限制条件下的多参数测量问题,利用绝缘体上硅(SOI)材料,采用微型机械电子系统(MEMS)技术,研制了一种可以同时测量三轴加速度、绝对压力、温度参数的单片集成硅微传感器,其中加速度、绝对压力传感器基于掺杂...
关键词：集成传感器 SOI MEMS 
基于SOI的集成硅微传感器芯片的制作被引量：9
《Journal of Semiconductors》2007年第2期302-307,共6页徐敬波 赵玉龙 蒋庄德 张大成 杨芳 孙剑 
国家自然科学基金(批准号:50535030;50475085);国家重点基础研究发展规划(批准号:2004CB619302);教育部"新世纪优秀人才支持计划"(批准号:NCET-05-0842)资助项目~~
为满足小体积、多参数测量的要求,采用SOI硅片,设计了一种测量三轴加速度、绝对压力、温度参数的单片集成硅微传感器,其中加速度、绝对压力传感器基于掺杂硅压阻效应,温度传感器基于掺杂硅电阻温度效应.根据集成传感器的结构,制定了相...
关键词：集成传感器 SOI MEMS 芯片 
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