微传感器

作品数：328被引量：985H指数：15
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一种液压油多污染物微检测传感器设计及研究被引量：6
《仪器仪表学报》2021年第3期50-58,共9页霍典 张洪朋 史皓天 陈海泉 李伟 
国家自然科学基金(51679022);中央高校基本科研业务费专项资金(3132019034);大连市科技创新基金(2019J12GX023)项目资助
基于微流体芯片技术提出了一种液压油微传感器。微传感器由内嵌硅钢片的平面电感检测线圈与对置硅钢片构成。电感检测模式下对金属颗粒进行检测,电容模式下检测水滴与气泡,实现了对油液中铁磁性颗粒、非铁磁性颗粒、水滴、气泡4种污染...
关键词：液压系统 油液污染物 微传感器 多参数检测 故障预测 
双螺线圈式液压油微污染物检测传感器被引量：5
《仪器仪表学报》2019年第6期16-22,共7页白晨朝 张洪朋 曾霖 赵旭鹏 孙广涛 
国家自然科学基金(51679022);中央高校基本科研业务费专项资金(3132017013)资助项目
设计了一种多参数的油液污染物检测传感器,该传感器在单螺线圈电感式传感器的基础上,增加了一个螺线管线圈,可以进行电感检测和电容检测。电感检测可以区分油液中的铁磁性颗粒和非铁磁性颗粒;电容检测可以区分油液中水和空气。相对于传...
关键词：液压油污染物 微传感器 电感检测 电容检测 微流控技术 
液压油污染物双线圈多参数阻抗检测传感器被引量：19
《仪器仪表学报》2017年第7期1690-1697,共8页曾霖 张洪朋 赵旭鹏 滕怀波 虞子雷 
国家自然科学基金(51679022);中央高校基本科研业务费专项资金(3132017013)项目资助
提出了一种液压油污染物多参数测量传感器,该传感器在平面型微流体电感传感器基础上增加了一个单层电感线圈,并将两个单层线圈正对排布在直微通道两侧,在电感参数检测的基础上将两个单层电感线圈等效为一对圆环形电容极板,引入了电容参...
关键词：液压油 颗粒污染物 多参数检测 双线圈 微传感器 
一种集成三轴加速度、压力、温度的硅微传感器被引量：5
《仪器仪表学报》2007年第8期1393-1398,共6页徐敬波 赵玉龙 蒋庄德 孙剑 
国家自然科学基金(50535030;50475085);国家重点基础研究发展规划(2004CB619302);教育部"新世纪优秀人才支持计划"(NCET-05-0842)资助项目
针对恶劣环境和严格空间体积限制条件下的多参数测量问题,利用绝缘体上硅(SOI)材料,采用微型机械电子系统(MEMS)技术,研制了一种可以同时测量三轴加速度、绝对压力、温度参数的单片集成硅微传感器,其中加速度、绝对压力传感器基于掺杂...
关键词：集成传感器 SOI MEMS 
谐振式低速气体流速微传感器的理论建模
《仪器仪表学报》2007年第5期804-806,共3页陈健 陈德勇 王军波 
国家自然科学基金(60674112)资助项目
首次提出一种基于昆虫风速感受器的微型谐振式传感器,用以测量低速气体流动。基于有限元分析提出气体雷诺数与其绕流无限长平板时的粘滞系数的数值关系,给出无限长平板的尺寸对于上述关系的影响。基于上述关系,推导这种微传感器在测量...
关键词：微机械电子系统 谐振式气体流量传感器 粘滞系数 有限元模拟 
微电子机械系统(MEMS)中的铁电器件被引量：1
《仪器仪表学报》2002年第z1期236-237,共2页刘如净 张之圣 胡明 
提出了一种将铁电材料与 MEMS集成的新趋势 。
关键词：MEMS 铁电材料 微传感器 微执行器 
电容式测压微传感器的特性分析被引量：6
《仪器仪表学报》2001年第4期434-436,440,共4页许金海 冯勇建 邓俊泳 
本文主要对电容式测压微传感器的力学特性和电学特性进行分析。文中通过对测量电路工作过程和特性的深入探讨、仿真和验证 ,证明这种传感器的测量电路具有良好的线性度和稳定性。通过对传感器的敏感元件硅膜片的力学分析 ,建立了传感器...
关键词：微传感器 电容式 特性分析 硅膜片 测量电路 
微型机电系统的进展被引量：11
《仪器仪表学报》1996年第S1期20-25,30,共7页周兆英 叶雄英 胡敏 尤政 
微型机电系统技术是一个新兴的技术领域．本文论述其多学科交叉的性质、研究领域、相关设计理论研究、开放的工艺基地、特种精密加工、产业化问题和发展ＭＥＭＳ的问题。
关键词：微型机电系统技术 纳米技术 微系统 执行器 精密加工 微细加工 微型机械 微细电火花加工 产业化 微传感器 
新型差动式集成硅微声传感器
《仪器仪表学报》1996年第S1期295-298,共4页徐涛 钟先信 温志渝 费龙 
国家自然科学基金
本文提出了一种新颖的可获取差动检测信号的集成化硅微光纤传感器结构。该结构使困难的硅微光纤传感器的装调及封装过程大为简化，能有效的抑制检测过程中的多种干扰。本文详述了该传感器制造过程，并进行了传感器的特性实验。实验表明...
关键词：悬臂梁 声传感 光纤传感器 光纤端面 差动式 掩膜版 硅微结构 频谱分析 位置关系 硅微传感器 
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