邓俊泳

作品数：5被引量：39H指数：4
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供职机构：厦门大学物理与机电工程学院机电工程系更多>>
发文主题：微机电系统测压测量电路微传感器电容式更多>>
发文领域：自动化与计算机技术理学机械工程一般工业技术更多>>
发文期刊：《仪器仪表学报》《化学传感器》《微纳电子技术》更多>>
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油田水硬度测试方法及自动化测试仪器
《化学传感器》2004年第1期63-66,共4页郑志霞 邓俊泳 冯勇建 郑剑翔 
油田水中含有大量的钠离子,离子选择电极法测油田水硬度必需克服钠离子的干扰,该文采用含有与水样同量Na^+的标准溶液校准电极来解决。测试系统以单片机为核心进行控制和信号处理,放大电路实现高阻抗匹配和信号放大。系统具有性能可靠...
关键词：离子选择电极法 油田水 硬度测试 自动化测试仪器 单片机 
TMAH单晶硅腐蚀特性研究被引量：13
《微纳电子技术》2003年第12期32-34,共3页邓俊泳 冯勇建 
TMAH是一种具有优良的腐蚀性能的各向异性腐蚀剂,选择性好,无毒且不污染环境,最重要的是TMAH与CMOS工艺相兼容,符合SOC的发展趋势。TMAH正逐渐替代KOH和其他腐蚀液,成为实现MEMS工艺中微三维结构的主要腐蚀剂。本文着重介绍了TMAH的特...
关键词：四甲基氢氧化氧 TMAH 单晶硅 腐蚀特性 各向异性腐蚀 微机电系统 
聚酰亚胺在MEMS中的特性研究及应用被引量：14
《微纳电子技术》2003年第4期30-33,共4页邓俊泳 冯勇建 
聚酰亚胺具有耐高温、耐腐蚀、绝缘性能好、化学性质稳定等特点,在MEMS工艺中有很广泛的应用前景,适于做牺牲层、绝缘层和平坦层等。在简要介绍聚酰亚胺的基础上,着重介绍聚酰亚胺在MEMS工艺中的特性、工艺流程及应用。
关键词：聚酰亚胺 MEMS 牺牲层 绝缘层 平坦层 工艺流程 高分子材料 微机电系统 
微气体传感器阵列及神经网络的应用被引量：6
《传感器技术》2002年第8期44-46,共3页邓俊泳 冯勇建 吴青海 
简要分析由MEMS工艺制成的新型微气体传感器阵列的原理及其优点 ,在此基础上 ,应用人工神经网络对气体传感器阵列的输出进行模式分类、识别 ,实现对单一或混合气体的有选择性探测 ,识别率可高达 95 %。
关键词：应用 MEMS工艺 微气体传感器阵列 人工神经网络 气体探测 
电容式测压微传感器的特性分析被引量：6
《仪器仪表学报》2001年第4期434-436,440,共4页许金海 冯勇建 邓俊泳 
本文主要对电容式测压微传感器的力学特性和电学特性进行分析。文中通过对测量电路工作过程和特性的深入探讨、仿真和验证 ,证明这种传感器的测量电路具有良好的线性度和稳定性。通过对传感器的敏感元件硅膜片的力学分析 ,建立了传感器...
关键词：微传感器 电容式 特性分析 硅膜片 测量电路 
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