微机械陀螺仪

作品数：117被引量：355H指数：9
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石英单晶微机械陀螺仪研究进展
《微纳电子技术》2024年第11期17-30,共14页孙卓 孙立涛 窦广彬 
国家重点研发计划(2023YFB3208901)。
对Z切、ST切、AT切三种切割方式的石英单晶微机械陀螺仪的基本工作原理进行了阐述,梳理了不同类型陀螺仪的发展历程,重点介绍了三种石英单晶微机械陀螺仪的设计结构、性能特点及其应用场景,并从灵敏度、动态范围、稳定性、抗冲击性及工...
关键词：石英 微机械陀螺仪 压电效应 Z切音叉微机械陀螺仪 ST切表面声波微机械陀螺仪 AT切厚度剪切振动陀螺仪 微电子机械系统(MEMS) 
硅微机械陀螺仪温度补偿方法的研究现状被引量：12
《微纳电子技术》2017年第6期395-400,共6页刘楠 苏言 童鑫 韩国威 司朝伟 宁瑾 
国家自然科学基金资助项目(61274001;61234007;61504130)
综述了硅微机械陀螺仪温度补偿方法的研究现状。介绍了陀螺仪的基本原理,并分析了陀螺仪的温度特性。分别对温度控制、器件设计和算法补偿三种温度补偿方法进行了原理和结果分析,总结了各种方法的优势与不足。介绍了算法补偿中两种常用...
关键词：微机械系统(MEMS) 陀螺仪 零偏稳定性 温度补偿 软件算法补偿 
MEMS封装中真空封口及真空度检测技术被引量：7
《微纳电子技术》2003年第7期267-270,共4页张丽华 李军 邵崇俭 
通过对MEMS封装技术进行研究攻关 ,突破了针对微机械陀螺仪器件性能发挥所需的真空封口技术及真空度检测技术 ,使器件品质因数提高将近
关键词：MEMS 封装 真空封口 真空度检测 微机械陀螺仪 品质因数 
加工应力对双线振动式陀螺仪谐振频率的影响
《微纳电子技术》2003年第7期314-316,共3页谢明媚 裘安萍 王寿荣 
分析了双线振动式陀螺仪在驱动模态和检测模态的振动方程及刚度 ,提出用方波梁代替直梁以减小加工应力对陀螺仪谐振频率的影响。并用ANSYS分析软件对驱动谐振频率进行仿真 。
关键词：加工应力 双线振动式陀螺仪 谐振频率 硅微机械陀螺仪 微惯性导航 
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