微驱动

作品数：233被引量：645H指数：11
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微机电系统用压电驱动器的发展及应用被引量：6
《仪器仪表学报》2006年第z1期1023-1025,共3页张东华 陈维山 刘军芳 陈在礼 
微驱动器是微机电系统运行的关键,压电驱动器作为新的驱动元件在这一领域迅速发展起来。它具有很高的位移分辨率以及抗干扰能力,并且控制方法简单。本文介绍了微机电系统、压电驱动器的概念,并对国外微机电系统中压电驱动器的发展及应...
关键词：微机电系统 微驱动器 压电陶瓷 压电驱动器 
微小移动机器人驱动原理研究
《仪器仪表学报》2003年第5期530-532,共3页王忠 李小凡 姚辰 罗宇 原培章 
研究了一种利用碰撞原理 ,进行微驱动的方法。实验表明 ,此种方法更加容易实现高精度位移 ,适用于纳米定位平台等微操作的驱动。
关键词：微小移动机器人 碰撞驱动法 微驱动 精度 纳米定位平台 
高精度微扭矩动态测试仪被引量：3
《仪器仪表学报》2000年第3期233-235,239,共4页贾宏光 吴一辉 王彤宇 王立鼎 
86 3及总装备部资助项目
本文介绍了一种非接触式的、高精度的微扭矩动态测试仪 ,并对其中的两项关键技术——非接触微力制动及微力自动加载进行了论述 。
关键词：微扭矩 非接触测量 动态测试仪 微驱动器 
六自由度并联超精密微驱动器被引量：5
《仪器仪表学报》1996年第S1期377-381,共5页安辉 孙立宁 张涛 蔡鹤皋 
国家自然科学基金
本文介绍作者研制的集精密机械技术、精密测试技术和智能反馈控制技术于一体的压电陶瓷驱动六自由度并联越精密微驱动器，并创造性地建立了微动并联机构的运动学模型。文中依次介绍了该驱动器的结构、控制策略、控制系统及实验结果，最...
关键词：六自由度 超精密 并联机器人 微驱动器 压电陶瓷驱动 末端操作器 并联机构 控制系统 轨迹规划 运动学模型 
微型电磁驱动器被引量：2
《仪器仪表学报》1996年第S1期346-350,共5页吕琼莹 车录峰 
国家科委攀登计划资助;国家基金委自然科学重点基金
微型驱动器作为构成微机械系统的要素单元技术之一，一直是各国微机械研究项目的共有研究内容，一旦微驱动技术获得突破，将有可能在此基础上构造实用化的可动微系统，从而带动微机械整体技术的全面发展。为了使微驱动器在微机械系统中...
关键词：微型电磁驱动器 微小电磁力 微机械 微驱动器 端面摇摆 磁马达 结构原理 分布特性 摩擦系数 测试技术 
纳米级微驱动定位技术的应用
《仪器仪表学报》1996年第S1期250-250,共1页凌宁 
纳米级微驱动定位技术的应用凌宁（中国科学院光电技术研究所）微电子加工、检测和光纤通讯等的对准都要求有纳米级的定位精度，而自适应光学、激光技术和光学精密跟踪等还需要有高的响应速度和带宽，压电微驱动精密定位技术在国外七十...
关键词：定位技术 微驱动 纳米级 自适应光学 压电陶瓷 响应速度 变形反射镜 纳米分辨率 微电子加工 光纤耦合 
微米／纳米驱动及控制技术被引量：3
《仪器仪表学报》1996年第S1期185-188,192,共5页蔡鹤皋 孙立宁 安辉 张涛 
微米／纳米驱动及控制技术是纳米技术发展的基础。本文介绍了微米／纳米驱动及控制的国内外发展状况及哈工大在微米／纳米驱动方面的研究工作，并提出了今后的发展策略。
关键词：纳米驱动 控制技术 纳米技术 压电陶瓷驱动 纳米材料 微型机电系统 微驱动 控制器 微机器人 控制系统 
多维超精密微驱动器及控制系统的研究被引量：1
《仪器仪表学报》1995年第S1期324-327,共4页孙立宁 安辉 张涛 蔡鹤皋 
国家自然科学基金;国家863高技术计划;国家教委博士点基金
介绍了电致伸缩陶瓷驱动的高精度、高分辨率、高频响的仿生型两维大行程超精密驱动器和六自由度超精密微驱动器，说明了驱动器的结构、工作原理、技术指标及应用情况，并介绍了所研制的ＰＤ系列压电／电致伸缩陶瓷驱动电源。
关键词：电致伸缩陶瓷 微驱动器 超精密 控制系统 微位移器 驱动电源 仿生型 并联机器人 位移分辨率 六自由度 
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