物镜

作品数：932被引量：1692H指数：16
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高时空分辨率动态星模拟器设计被引量：5
《光学精密工程》2020年第3期515-525,共11页李成浩 何煦 姬琪 张晓辉 李宁 
国家自然科学基金资助项目(No.61875190)。
针对大口径空间天文望远镜稳像精度测试的难题,提出了一种高时空分辨率运动导星模拟方案。利用硅基液晶作为运动导星模拟源,结合光束准直系统为空间天文望远镜提供无穷远运动导星,并且通过在光路中加入物镜来提高模拟导星的运动分辨率...
关键词：空间望远镜 运动导星 稳像精度 硅基液晶 物镜 误差模型 
宽光谱长工作距弱荧光信号检测显微物镜设计被引量：5
《光学精密工程》2018年第7期1588-1595,共8页郁晓晖 高志山 袁群 
国家自然科学基金资助项目(No.61505080;No.61377015);中国科学院南京天文光学与技术研究所重点实验室;中国科学院南京天文光学技术研究所开放资助项目(No.CAS-KLAOT-KF201604);江苏省自然科学基金资助项目(No.BK20150788);江苏重点光谱成像与智能感知实验室研究基金资助项目(No.3091601410402)
针对癌细胞突变基因诱导荧光信号弱、光谱覆盖范围宽、现有显微镜不能检测等局限,本文设计了光谱波段为450~800nm、数值孔径为0.95的荧光显微物镜。物镜采用++-结构,因宽光谱、大数值孔径像差校正难度大、透镜片数多、装调困难,前组设...
关键词：光学设计 显微物镜 宽光谱 大数值孔径 复消色差 
彩色共焦系统可调制色散物镜设计被引量：9
《光学精密工程》2017年第4期875-883,共9页崔长彩 李煌 余卿 叶瑞芳 
福建省科技计划项目-对外合作项目(No.2015I0004);厦门市科技计划项目-对台科技合作项目(No.3502Z20151232);大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室研究基金资助项目(No.JMTZ201503)
针对彩色共焦距测量系统中测量范围和分辨率的调制问题,采用色散和聚焦功能分离的思路设计了一款色散物镜,其色散功能由纯球面折射透镜组成的色散管镜来实现,聚焦功能则采用商业物镜实现。使用ZEMAX软件对色散管镜的结构、材料及像差进...
关键词：表面形貌检测 彩色共聚焦 色散物镜 轴向色散 轴向分辨率 
大数值孔径物镜的波像差测量及其特殊问题被引量：2
《光学精密工程》2016年第3期482-490,共9页刘志祥 邢廷文 蒋亚东 吕保斌 
国家科技重大专项资助项目(No.2009ZX02204)
设计了基于振幅型棋盘光栅的二维剪切干涉仪,用于测量大数值孔径(NA)物镜的波像差。研究了棋盘光栅剪切干涉仪的基本原理,分析了大数值孔径物镜波像差测量时涉及的几个特殊问题。首先,根据棋盘光栅的远场衍射函数分析了棋盘光栅的衍射...
关键词：波像差测量 剪切干涉仪 大数值孔径(NA)物镜 光刻物镜 
高数值孔径投影光刻物镜波像差的自动平衡优化被引量：3
《光学精密工程》2015年第8期2143-2148,共6页徐明飞 黄玮 
国家科技重大专项资助项目(No.2012ZX02701001-007)
考虑高数值孔径(NA)投影光刻物镜视场较大、波像差分布不均匀,本文提出了一种自动优化设计方法来降低设计过程中出现的全视场最大波像差。该方法通过将一个自动调节采样视场权重的循环程序附加在光刻物镜的局部优化程序之外来自动平衡...
关键词：投影物镜 光刻物镜 波像差 光学设计 自动优化 
基于红蓝双光阑的单物镜立体显微成像系统
《光学精密工程》2014年第3期533-538,共6页杨勇 王宁 步敬 袁小聪 
国家973基础研究发展计划资助项目(No.2010CB327702)
为了得到微观动态样品的三维形貌图,提出了基于红蓝双小孔光阑的单物镜立体显微成像方法,并建立了一个结构简单的单物镜立体显微系统。该系统在物镜出瞳处放置分别用红、蓝滤光片覆盖的双小孔光阑,当采用白光照明时,彩色CCD将接收到分...
关键词：显微成像 立体显微术 双目立体匹配 双小孔光阑 单物镜 
投影物镜小比率模型系统补偿量的选择被引量：2
《光学精密工程》2013年第12期3029-3036,共8页赵阳 巩岩 
国家自然科学基金资助项目(No.40974110)
由于光刻投影物镜小比率模型光学系统的光学元件数量较多,用每个补偿量去补偿对应失调量的传统装调方法已不适用。本文利用灵敏度矩阵,通过找出偏心补偿量和倾斜补偿量的内在联系来缩小补偿量的选择范围。然后根据失调量敏感度的分析,...
关键词：投影物镜 复杂系统装调 补偿量选择 灵敏度矩阵 宏模块 
热扰动条件下投影物镜温度响应的高精度建模被引量：4
《光学精密工程》2013年第11期2829-2835,共7页秦硕 巩岩 于新峰 袁文全 彭海峰 杨怀江 
国家02专项基金资助项目(No.2009ZX02005)
针对投影物镜温度控制系统具有多重扰、多时滞和时间常数较大等问题,搭建了投影物镜温控实验平台;研究了实验平台的结构、激励信号设计、数据预处理方法和建模算法,建立了超高精度温度响应模型。首先,考虑光刻机对震动和洁净度的严格要...
关键词：投影物镜 热扰动 伪随机信号 系统辨识 温度控制 
6-PSS型光学元件精密轴向调节机构被引量：15
《光学精密工程》2013年第10期2648-2655,共8页郭抗 巩岩 
国家重大科技专项02专项资助项目(No.2009ZX02005)
设计了一种采用6-PSS型并联机构的光学元件精密轴向调节机构,以使光刻物镜中光学元件的调节行程达微米级,调节精度达纳米级。将6-PSS型并联机构中的6个移动副改进为3个,减少了驱动器的使用数量,提高了轴向调节机构的可靠性;设计了一种...
关键词：光刻物镜 光学元件 调节机构 并联机构 一体化结构 6-PSS 
光谱共焦显微镜的线性色散物镜设计被引量：22
《光学精密工程》2013年第10期2473-2479,共7页刘乾 杨维川 袁道成 王洋 
中国工程物理研究院科学技术发展基金资助项目(No.2010B0203026)
由于色散物镜轴向色散与波长间的非线性会导致仪器整体性能下降,本文研究了光学系统轴向色散与透镜组之间的关系,推导了轴向色散的传递公式。为得到较大的线性轴向色散,根据轴向色散的传递公式提出了一种正负透镜组均采用线性色散光焦...
关键词：光学设计 光谱共焦显微镜 色散物镜 位移传感器 
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