类金刚石

作品数：1327被引量：2354H指数：18
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DLC在6500 V全压接晶闸管台面钝化中的应用
《电力电子技术》2020年第2期113-116,共4页王东东 王政英 高军 银登杰 
国家重点基础研究发展计划(973计划)(613262)。
结终端钝化材料是影响晶闸管耐压和耐压可靠性的关键因素之一。类金刚石膜(DLC)是一种优秀的钝化保护材料。在此介绍了平板电容器耦合式射频等离子体增强化学气相沉积(RF-PECVD)法,研究使用该方法在6500 V全压接晶闸管台面沉积DLC作钝...
关键词：晶闸管 类金刚石膜 耐压可靠性 
调制比对多层DLC涂层摩擦及电化学行为的影响被引量：13
《机械工程学报》2018年第6期25-31,共7页崔明君 任思明 樊小强 张广安 王立平 薛群基 
国家自然科学基金(51322508);国家重点基础研究发展计划(973计划,2014CB643302)资助项目
研究调制比对多层类金刚石(Diamond-like carbon,DLC)涂层摩擦及腐蚀行为的影响。采用等离子体增强化学气相沉积技术成功制备了不同调制比的多层DLC涂层。利用扫描电子显微镜、原子力显微镜、划痕仪、摩擦磨损试验机及电化学工作站等表...
关键词：类金刚石 多层 调制比 摩擦 盐雾 腐蚀 
Al-DLC薄膜结构及其在水介质下摩擦学性能研究被引量：7
《摩擦学学报》2017年第3期310-317,共8页韩熙 郑建云 张帅拓 刘金玉 郝俊英 
国家重点基础研究发展规划项目(973)(2013CB632302);国家自然科学基金项目(51375471);青岛市自主创新计划(16-5-1-97-jch)资助~~
采用磁控溅射技术,以Al为溅射靶材,甲烷为溅射气体,在不同射频功率下制备了一系列Al含量不同的类金刚石碳基薄膜(AL-DLC).分析了Al含量对薄膜成分、结构及机械性能的影响,并探讨了其在空气和水介质下的摩擦磨损行为.结果表明:Al掺杂使...
关键词：类金刚石薄膜 AL掺杂 sp3结构 水介质 
含氢DLC膜的疏水性研究被引量：1
《表面技术》2016年第5期154-161,共8页魏晓丽 张玲 陈厦平 王辅明 
国家重点基础研究发展计划(2012CB933502)~~
目的通过疏水性质的研究,证明源电极式和浸入式PECVD方法制备含氢DLC膜存在结构和性质上的差别,并且证明浸入式PECVD方法制备的含氢DLC膜更适于需要强疏水性的表面改性应用。方法在PECVD腔体中通入甲烷和氢气混合气体,同时在面对源电极...
关键词：类金刚石 PECVD 含氢 掺氟 带隙 接触角 疏水性 
纳尺度下类金刚石(DLC)薄膜摩擦性能研究被引量：9
《摩擦学学报》2015年第2期242-248,共7页张艳 东梅 李媚 段早琦 
国家重大基础研究计划(2011CB707605);国家自然科学基金(50875047;51445007);江苏省自然科学基金(BK20140627)资助~~
类金刚石薄膜(DLC)作为保护涂层在磁存储系统和微/纳米机电系统(M/NEMS)等方面的应用十分广泛,但其在实际应用中存在着摩擦副的设计问题,本文中采用物理气相沉积(PVD)技术以金属Cr作为过渡层在硅基底上制备类金刚石薄膜,利用原子力显微...
关键词：类金刚石薄膜 针尖材料 摩擦副 摩擦系数 
类金刚石碳基薄膜在1-乙基-3-甲基咪唑四氟硼酸盐中的摩擦学性能被引量：1
《润滑与密封》2014年第11期26-30,共5页杨保平 赵更锐 吴坤尧 龚珍彬 张俊彦 
科技部973项目(2013CB632300)
利用射频等离子体增强化学气相沉积技术,以甲烷为气源,在单晶硅(P(001))衬底上制备类金刚石碳基薄膜(DLC);利用高速往复摩擦磨损试验机分别测试DLC薄膜/Al2O3球摩擦副在大气环境下和1-乙基-3-甲基咪唑四氟硼酸盐离子液润滑下的摩擦磨损...
关键词：DLC薄膜 离子液 摩擦磨损 边界润滑 
PECVD制备掺氮类金刚石薄膜的电化学特性被引量：3
《材料研究学报》2014年第3期161-165,共5页周凯 柯培玲 汪爱英 邹友生 
国家重大基础研究计划2012CB933003;国家自然科学基金51371187;宁波市创新团队2011B81001;中央高校基本科研业务费专项资金30920130111019资助项目~~
利用混合离子束系统,通过辉光放电等离子体增强化学气相沉积(PECVD)方法制备出类金刚石薄膜(DLC)和掺氮类金刚石薄膜(N-DLC),用可见拉曼光谱、X射线光电子能谱和扫描探针显微镜表征薄膜微观结构和表面形貌,采用电化学工作站测量了薄膜...
关键词：无机非金属材料 PECVD N—DLC 微观结构 电化学性能 
类金刚石膜-磨粒滑动接触过程的有限元分析被引量：2
《真空科学与技术学报》2014年第1期79-83,共5页曾群锋 于飞 
国家基础研究973项目(2009CB724206);教育部博士点基金(20120201120040)资助课题
采用ANSYS有限元软件模拟了磨粒磨损中类金刚石(DLC)膜与磨粒在旋转滑动中的接触过程,分析了DLC膜表层在整个接触过程中的应力应变和接触压力的变化规律,研究了滑动接触次数对DLC膜残余应变的影响。结果表明:DLC膜在滑动接触后其表层存...
关键词：类金刚石膜 磨粒 滑动接触 应力应变 有限元分析 
工况参数对类金刚石膜摩擦学性能的影响被引量：15
《真空科学与技术学报》2013年第4期377-381,共5页曾群锋 于飞 董光能 毛军红 林凯生 
国家973计划资助项目(2009CB724206);国家自然科学基金项目(51175406)
采用非平衡磁控溅射技术在高速钢基体上以C2H2为反应气源制备了含氢类金刚石(DLC)膜。使用激光拉曼光谱仪、X射线光电子能谱仪和原子力显微镜分析和观察了DLC膜的微观结构及表面形貌,结果表明:DLC膜表面由纳米级别的圆形颗粒堆积而成,...
关键词：非平衡磁控溅射 类金刚石膜 结构分析 摩擦磨损性能 
氟含量对类金刚石薄膜结构及摩擦学性能的影响被引量：7
《中国表面工程》2013年第2期66-71,共6页魏利 张斌 曹忠跃 张俊彦 
国家基础研究发展计划(973计划)(2013CB632300)
采用直流等离子体沉积的方法制备了具有不同氟含量的类金刚石薄膜。并利用多功能X射线光电子能谱仪(XPS)、拉曼光谱仪、纳米压痕仪、应力测试仪和摩擦磨损试验机等手段分析和研究了含氟类金刚石薄膜的结构、力学性能以及摩擦学性能,并...
关键词：氟化类金刚石 等离子体沉积 摩擦性能 
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