氮化钛

作品数:1134被引量:3086H指数:22
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相关领域:金属学及工艺一般工业技术更多>>
相关作者:高原谢一兵高濂李亚伟何家文更多>>
相关机构:中国科学院北京科技大学中芯国际集成电路制造(上海)有限公司清华大学更多>>
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TC4表面TiN/Ti涂层的热腐蚀行为研究及第一性原理计算
《表面技术》2024年第10期156-166,共11页孙志平 郭红星 唐昌伟 何光宇 李玉琴 陈永刚 
陕西省重点研发计划(2023-YBGY-435)。
目的综合评估涂层性能、延长压气机叶片的使用寿命,进行TiN/Ti涂层及冲蚀后TiN/Ti涂层的热腐蚀行为机制研究。方法进行了完整TiN/Ti涂层及冲蚀后TiN/Ti涂层300℃/120h的热腐蚀实验,腐蚀介质为95%(质量分数)Na_(2)SO_(4)+5%(质量分数)NaC...
关键词:氮化钛涂层 热腐蚀行为 冲蚀 第一性原理 电荷转移 
核壳结构SiC@Ti(C,N)复合材料的制备及性能研究被引量:1
《表面技术》2023年第4期410-416,426,共8页黄绍锋 甘志伟 胡宁飞 陆静 李东旭 
国家自然科学基金(51975222);亚稳材料制备技术与科学国家重点实验开放课题(202207)。
目的 碳化物陶瓷材料因优异的力学性能在精加工和切削行业具有广阔的应用前景,制备特定结构的碳化物复合材料能够改善材料的综合性能。方法 通过化学法在SiC表面包覆纳米Ti(C,N),无压烧结制备了具有核壳结构的SiC@Ti(C,N)复合材料。采用...
关键词:碳化硅陶瓷 碳氮化钛 断裂韧性 核壳结构 显微硬度 增韧机理 
Ti6Al4V合金表面激光熔覆原位合成TiN/Ti-Al-Nb基复合涂层被引量:5
《表面技术》2020年第10期61-68,共8页张晓伟 刘国政 易俊超 刘洪喜 
目的为探究Ti6Al4V钛合金表面TiN/Ti-Al-Nb基复合涂层的激光熔覆制备新工艺,研究Nb含量对TiN/Ti-Al-Nb基复合涂层微结构及显微硬度的影响规律。方法以Nb原子数分数分别为10%、15%和25%的Ti+Nb+AlN混合粉末为原材料,采用基于挤压预置粉...
关键词:激光熔覆 激光原位合成 氮化钛 钛铝铌金属间化合物 复合材料涂层 
高功率脉冲磁控溅射制备的TiN薄膜应力释放及其结合稳定性研究被引量:7
《表面技术》2019年第9期245-251,共7页唐鑫 马东林 陈畅子 冷永祥 黄楠 
国家自然科学基金(31570958,U1330113)~~
目的探究高功率脉冲磁控溅射(HPPMS)制备的氮化钛(TiN)薄膜在自然时效过程中,应力、薄膜/基体结合性能随时间的变化规律。方法采用高功率脉冲磁控溅射(HPPMS)技术,通过调控基体偏压(-50、-150V),制备出具有不同残余压应力(3.18、7.46GPa...
关键词:高功率磁控溅射 氮化钛薄膜 薄膜应力 膜基结合力 自然时效 
氮化钛薄膜二次电子发射特性研究被引量:3
《表面技术》2018年第5期9-14,共6页王丹 贺永宁 崔万照 
国家自然科学基金联合基金(U1537211)~~
目的研究氮化钛薄膜的部分物理特性及真空中的电子发射特性,验证氮化钛薄膜具有相对较好的电导特性及较低的电子发射系数,证明氮化钛薄膜在空间大功率微波器件表面处理中有良好的应用前景。方法使用射频磁控溅射技术在单晶硅及玻璃片表...
关键词:氮化钛 微放电 二次电子 薄膜电阻 能谱 电子产额 
W、Mo离子注入对离子镀TiN薄膜表面结构和性能的影响被引量:3
《表面技术》2017年第6期174-179,共6页田斌 刘宝辉 岳文 王成彪 
国家自然科学基金面上项目(41572362);北京市教育委员会科技计划一般项目(SQKM201710011002);中央高校基本科研业务费优秀教师研究项目(2652015077);高等学校博士学科点专项基金资助课题(20130022110004)~~
目的进一步改善氮化钛薄膜的摩擦学性能。方法利用金属蒸汽真空弧源(MEVVA)在离子镀TiN薄膜表面进行等剂量W、Mo离子注入。采用扫描俄歇系统、光学三维形貌仪、X射线衍射仪和纳米压痕仪,分别分析了TiN薄膜的离子注入深度、表面形貌及粗...
关键词:离子注入 氮化钛 摩擦 磨损 钨离子 钼离子 
氮化钛/氧化钛复相陶瓷涂层的干滑动摩擦磨损性能被引量:4
《表面技术》2015年第11期52-58,78,共8页夏铭 王泽华 周泽华 胡亚群 邵佳 盛欢 
国家自然科学基金(51379070);江苏省普通高校研究生科研创新计划项目(CXZZ13-02)~~
目的研究等离子喷涂Ti N/Ti O复相陶瓷涂层的微观组织结构、显微硬度及干滑动摩擦磨损行为和机理。方法采用等离子喷涂技术,在45#钢表面制备Ti N/Ti O复相陶瓷涂层。分析涂层的相组成,测试涂层的硬度。通过磨损试验研究Ti N/Ti O复相陶...
关键词:等离子喷涂 氮化钛/氧化钛 复相陶瓷涂层 摩擦性能 磨损机制 
氮氩流量比对磁控溅射TiN薄膜生长织构的影响被引量:14
《表面技术》2012年第3期19-21,25,共4页田颖萍 范洪远 成靖文 
国家自然科学基金项目(50874076);科技人员服务企业行动项目(2009GJF0003)
采用直流反应磁控溅射法,通过控制氮氩流量比,在Si(111)衬底上沉积了TiN薄膜,并用织构系数来量化TiN薄膜的生长取向。对TiN薄膜的织构、物相组成、形貌进行表征,分析了溅射沉积过程中氮氩流量比对TiN薄膜生长织构的影响,同时还分析了不...
关键词:氮氩气压比 氮化钛薄膜 织构 磁控溅射 
(Ti,Al)N薄膜的制备及性能被引量:11
《表面技术》1998年第4期15-17,共3页陈建国 程宇航 游少鑫 吴一平 乔学亮 
用多弧离子沉积技术制备出(Ti,Al)N薄膜材料,系统研究了薄膜中Al含量对(Ti,Al)N薄的硬度、表面脆性、抗高温氧化性、耐磨性以及热疲劳性的影响.结果表明含22.5~30%Al的薄膜具有最佳的性能.
关键词:多弧离子镀 成分 性能 氮化钛 薄膜 
等离子体金属有机物化学气相沉积碳氮化钛被引量:3
《表面技术》1997年第5期4-5,共2页石玉龙 彭红瑞 李世直 
本课题为山东省自然科学基金
叙述了采用金属有机物钛酸四乙脂取代四氯化钛,运用PCVD外加热法沉积Ti(CN)涂层,其显微硬度可达1600kg/mm^2,涂层结构仍为柱状晶.
关键词:等离子体 金属有机物 碳氮化钛 化学气相沉积 
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