压阻式压力传感器

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SiC压阻式压力传感器欧姆接触制备工艺及性能研究
《实验流体力学》2024年第6期93-98,共6页杨健 许姣 赵晨曦 郝文昌 尹玉刚 张世名 
SiC压阻式压力传感器是解决飞行器表面高温脉动压力原位测量的重要测试工具,为了提高传感器性能、降低敏感芯片金属—半导体接触阻抗,本文对n型4H–SiC欧姆接触的制备工艺及性能进行了研究。采用离子注入工艺对SiC基片进行了磷(P)离子注...
关键词：离子注入 欧姆接触 真空退火工艺 压力传感器 4H–SiC 
MEMS压阻式压力传感器梁−膜−三岛膜结构设计与优化
《电子科技大学学报》2024年第6期852-861,共10页郭威 李辉 罗登玲 刘细辉 邹力 李绍荣 郭小伟 唐普英 
传统的压阻式压力传感器虽然灵敏度高但非线性度也高。针对该问题,设计了一种以敏感膜片为梁−膜−三岛结构的新型压阻式压力传感器,通过在敏感膜片上设计3个方岛结构来提高传感器的线性度和抗过载能力;同时,利用敏感膜片上设计的短窄梁...
关键词：MEMS 压力传感器 有限元仿真 设计与优化 
发明与专利
《传感器世界》2024年第9期44-45,共2页
一种MEMS压阻式压力传感器及其制备方法申请号:202410867038.2【申请日】2024.07.01【公开号】CN118392382A【公开日】2024.07.26【分类号】G01L9/06;G01L1/18【申请人】东南大学【发明人】兰之康;黄晓东;侯赛雅;张鹏飞;张佳【摘要】本...
关键词：压阻式压力传感器 分类号 黄晓东 东南大学 MEMS 发明人 申请人 
硅压阻式压力传感器耐冲击设计改进被引量：1
《自动化与仪表》2024年第8期74-77,共4页王臻 王伟 王言徐 刘俊琴 
在液压伺服系统中,压力传感器是重要的测量器件,其中硅压阻式压力传感器应用最为广泛。由于压力传感器会遇到压力冲击的恶劣环境,强烈的压力冲击会造成压力敏感芯体的波纹膜片凹陷,甚至撕裂,最终导致传感器的失效。为了解决该问题,该文...
关键词：硅压阻压力传感器 阻尼设计 仿真 
硅压阻式压力传感器引线键合工艺研究
《电子产品世界》2024年第8期16-19,共4页薄久旺 金琦 吕宏辉 于程程 李悦铭 
硅压阻式压力传感器具有高精度、高灵敏度、稳定性好等优点,广泛应用于航空、汽车、船舶等行业。在硅压阻式压力传感器的封装过程中,引线键合为关键过程,引线形态对传感器性能具有关键作用。根据引线键合机制,通过研究弧高(loop)、转折...
关键词：引线键合 引线形态 工艺参数 
MEMS高温压阻式压力传感器闭环控制方法被引量：2
《机械与电子》2023年第12期27-30,37,共5页杨恩龙 殷展 魏毅 杨清海 
国家电网有限公司科技项目(SGSHJD00BGJS2101991)。
为提高MEMS高温压阻式压力传感器的整体性能,提出一种MEMS高温压阻式压力传感器闭环控制方法。明确MEMS高温压阻式压力传感器在工作过程中产生的变谐效应,分析了静电驱动和电容检测。根据分析结果设计出闭环控制策略,在闭环控制过程中...
关键词：MEMS高温压阻式压力传感器 变谐效应分析 二元差值算法 误差补偿 闭环控制 
小量程高灵敏度压阻式表压压力传感器的设计被引量：1
《真空科学与技术学报》2023年第11期947-953,共7页高雅 许高斌 朱晓萌 张宇 关存贺 冯建国 
针对飞机供氧、液压、环控和燃油等系统故障预测与健康管理(PHM)对小量程压力传感器的重大需求,设计了一种新型梁膜复合结构微电子机械系统(MEMS)压阻式压力传感器,该研究通过小量程、高灵敏度的压力传感器力学机理分析和力学仿真建模,...
关键词：压阻式压力传感器 高灵敏度 小量程 
柔性可穿戴压阻式压力传感器研究进展被引量：3
《化工进展》2023年第10期5259-5271,共13页徐娜 王国栋 陶亚楠 
国家自然科学基金青年科学基金(21808136)。
伴随着数字医疗与制造业的进步,灵活柔韧的柔性可穿戴设备可以和人体表面完全贴合,从而对人体运动及健康信号等进行监测,从而实现多种传感功能。柔性可穿戴设备具有灵活性、体积可变、生物适应性好等优点,但仍然存在灵敏度低、检测范围...
关键词：压阻式压力传感器 结构设计 导电聚合物 工作机理 设计原则 
固支结构对压阻式压力传感器的输出影响研究
《仪表技术与传感器》2023年第10期7-14,共8页王宇峰 赵妍琛 雷程 梁庭 
山西省重点研发计划项目(202102030201001,202102030201009);山西省科技重大专项计划“揭榜挂帅”项目(202201030201004)。
针对MEMS压阻式压力传感器微型化发展过程中精度难以保证的问题,通过有限元仿真分析方法,研究固支结构、封装约束方法等变量对压力传感器输出的影响。结果表明,固支结构的引入会导致压敏电阻所处路径出现24.93%的应力偏差,不同封装方法...
关键词：MEMS压力传感器 压阻式压力传感器 有限元仿真 固支结构 
压力传感器三维架构PDMS基活性材料的最新进展
《合成材料老化与应用》2023年第2期111-114,共4页宋金亚 
柔性压阻式压力传感器因其诸多优点在多个领域具备良好的应用前景而成为研究热点,作为压力传感器主要组成部分之一的活性材料,对器件的性能具有举足轻重的影响,聚二甲基硅氧烷(PDMS)因具备良好的综合性能而与导电填料结合用来制作活性...
关键词：聚二甲基硅氧烷 活性材料 压阻式压力传感器 柔性压力传感器 牺牲模板法 
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