AZO

作品数：485被引量：794H指数：12
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AZO/Bi_(2)O_(3)复合薄膜的制备及压敏电阻特性研究
《电子元件与材料》2024年第11期1293-1298,共6页余奇岭 易巧钧 薛腊梅 张锋 
重庆理工大学研究生创新项目(gzlcx20232091)。
薄膜压敏电阻在微型电路和集成电路保护等方面有着重要的应用。采用磁控溅射方法制备了基于铝掺杂氧化锌(AZO)与氧化铋(Bi_(2)O_(3))的复合薄膜,考察了AZO/Bi_(2)O_(3)/AZO构型下不同厚度Bi_(2)O_(3)和不同退火温度对样品电阻特性的影...
关键词：AZO薄膜 压敏电阻特性 氧化铋 磁控溅射 
掺铝氧化锌(AZO)透明导电薄膜的研究进展被引量：2
《功能材料》2023年第9期9059-9069,共11页孔德茹 安佳钰 刘靖 孙冬兰 
国家自然科学基金(21373150)。
新型掺铝氧化锌(AZO)透明导电薄膜光学性能优异,成本低廉,有望取代技术成熟的掺锡氧化铟(ITO)薄膜。主要简述了AZO薄膜的结构及其光电性能,重点综述了薄膜的制备工艺以及应用领域,对极具开发潜力的AZO薄膜的产业化前景进行了展望。
关键词：AZO薄膜 特性 制备工艺 应用 产业化前景 
基于AZO的光谱选择性反射膜制备及其在聚光器中的应用研究被引量：1
《真空与低温》2023年第1期20-27,共8页王成龙 周渊 王锐东 马军 
国家自然科学基金(52066010);甘肃省科技计划项目(20YF8GA039);甘肃省高等学校创新基金项目(2021B-094)。
铝掺杂氧化锌(AZO)薄膜在红外波段具有高反射率的特性。设计了SiO_(2)/AZO/Al_(2)O_(3)/Glass/SiO_(2)光谱选择性反射膜。通过软件仿真和实验研究,探究了SiO_(2)、AZO、Al_(2)O_(3)薄膜的光学常数以及物理厚度对SiO_(2)/AZO/Al_(2)O_(3)...
关键词：太阳能 光谱选择性反射膜 AZO薄膜 辐射热损失 二次聚光器 
真空热处理对AZO膜结构及光电性能的影响
《真空》2021年第3期45-50,共6页张心会 李青霄 
河南城建学院博士基金(批准号:Q2018015)。
采用直流磁控溅射法分别在预热的和室温下的玻璃衬底上制备了AZO薄膜,并对室温下制备的AZO薄膜进行了真空退火。使用X射线衍射仪、四探针测试仪、紫外-可见分光光度计和霍尔测试仪对这两种工艺条件下制备的AZO薄膜进行了表征,比较研究...
关键词：AZO薄膜 真空 热处理 方阻 光电性能 
溶胶-凝胶法制备的用于模式控制型液晶透镜的AZO高电阻薄膜被引量：1
《液晶与显示》2020年第10期1006-1011,共6页王伟郅 于涛 巩伟兴 肖奇 温志玉 张嘉伦 黄志宇 
国家自然科学基金(No.11404048);中央高校基本科研业务费(No.3132016349)。
采用溶胶-凝胶法制备了掺杂摩尔分数为5%~20%的Al掺杂ZnO(AZO)高电阻薄膜,采用正方形电阻法表征了薄膜的方块电阻,采用扫描电子显微镜(SEM)对薄膜形貌进行了表征,采用Nano Measurer 1.2软件测量了薄膜晶粒的平均粒径,采用分光光度计表...
关键词：溶胶-凝胶法 AZO薄膜 方块电阻 液晶透镜 模式控制 
表面具有微纳结构的AZO薄膜制备及性能研究
《压电与声光》2018年第5期802-806,共5页姚婷婷 仲召进 李刚 汤永康 杨勇 金克武 王天齐 沈鸿烈 甘治平 马立云 
安徽省科技攻关计划基金资助项目(1704a0902010;1704a0902014);江苏省能量转换材料与技术重点实验室基金资助项目
采用磁控溅射法及线棒刮涂法在玻璃衬底上室温生长微纳结构铝掺杂氧化锌(AZO)薄膜,使底层AZO薄膜工作压强从1.5Pa调整到0.1Pa。通过扫描电子显微镜(SEM)、X线衍射(XRD)仪、霍尔效应测试系统、分光光度计及光电雾度仪研究了AZO薄膜的表...
关键词：铝掺杂氧化锌(AZO)薄膜 表面形貌 微纳结构 亲水性 电学性能 雾度 
衬底温度对共溅射制备AZO薄膜光电性能影响被引量：5
《压电与声光》2018年第5期784-788,共5页何双赐 钟志成 汪竞阳 魏彦锋 
国家自然科学基金资助项目(51302075;61302004);湖北省自然科学基金重点资助项目(ZRZ2015000203)
以Al金属和ZnO陶瓷作为溅射靶材,采用直流和射频双靶磁控共溅射的方法在玻璃衬底上制备Al掺杂ZnO(AZO)透明导电薄膜,采用X线光电子能谱仪、X线衍射(XRD)仪、扫描电子显微镜、原子力显微镜、紫外-可见分光光度计和霍耳效应测试仪对薄膜...
关键词：Al掺杂ZnO(AZO)薄膜 共溅射 衬底温度 光电性能 蓝移 
不同沉积温度下AZO透明导电薄膜的性能研究被引量：1
《热加工工艺》2017年第22期155-157,161,共4页张程 代明江 石倩 代建清 侯惠君 林松盛 
国家自然科学基金(NCFC51302044);广东省金属平台创新建设(2013B091602002)
以纯度为99.99%氧化锌铝(w(Zn O)=98.00wt%,w(Al_2O_3)=2.00wt%)陶瓷靶为原料,利用直流磁控溅射法在普通白玻璃衬底上制备铝掺杂氧化锌(AZO)薄膜。利用X射线衍射仪(XRD)、扫描电镜(SEM)、四点探针测试仪和紫外可见光分光光度计等对薄膜...
关键词：透明导电 AZO薄膜 磁控溅射 沉积温度 
氩氧比对磁控溅射梯度AZO薄膜光电性能的影响
《压电与声光》2017年第4期565-568,572,共5页赵斌 唐立丹 王冰 冯佳恒 
国家教育部重点基金资助项目(2012031);辽宁省自然科学基金资助项目(2015020215);辽宁省高校优秀人才计划基金资助项目(LJQ2015050);辽宁省教育厅一般研究基金资助项目(L2015236);辽宁省高等学校创新团队基金资助项目(LT2013014)
采用磁控溅射法在单晶硅和石英玻璃衬底上制备梯度铝掺杂的氧化锌(AZO)薄膜。利用X线衍射(XRD)、霍尔效应测试和紫外可见光分度计等研究了不同氩氧比(体积比)对梯度AZO薄膜结构和光电性能的影响。结果表明,氩氧比可以改善薄膜的结晶质量...
关键词：梯度铝掺杂的氧化锌(AZO)薄膜 磁控溅射 氩氧比 电阻率 透过率 
氧氩比和退火温度对AZO薄膜结构与性能的影响被引量：2
《北京石油化工学院学报》2017年第2期1-5,共5页于舸 赵曼 吕爱君 
北京自然科学基金(1132010);北京市青年拔尖人才项目(CIT&TCD201304099;CIT&TCD201304102);北京石油化工学院学科带头人计划资助项目(BIPT-BPOAL-2013)
在通氩气和不同比率氧氩混合气体的条件下,利用射频磁控溅射法在玻璃衬底上制备铝(Al)掺杂氧化锌(AZO)薄膜(溅射功率为180W,衬底温度为300℃),并对部分薄膜样品进行400℃或500℃退火处理。采用X射线衍射仪(XRD)、原子力显微镜(AFM)和分...
关键词：AZO薄膜 射频磁控溅射 退火温度 氧氩比 透过率 
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