FD-SOI

作品数:44被引量:21H指数:3
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相关机构:上海功成半导体科技有限公司中国科学院中国科学院大学中国科学院微电子研究所更多>>
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FD-SOI器件中PMOS源漏区外延层形貌改善研究
《集成电路应用》2024年第2期60-62,共3页方精训 吕健 
阐述FD-SOI器件中SiGe-RSD形貌不规则是导致Si Cap层被金属扎穿的原因。针对这一问题,对SiGe-RSD的制备工艺进行逐层(L1/L2/L3)优化,最终制备出形貌规则、表面平整的样品。随后的接触通孔工艺环节Si Cap层未被扎穿,形成良好的合金,器件P...
关键词:集成电路制造 FD-SOI 外延 凸起源漏结构 
28nm超薄体FD-SOI高温输出电流特性研究被引量:4
《微电子学与计算机》2021年第12期75-79,共5页张颢译 曾传滨 李晓静 闫薇薇 倪涛 高林春 罗家俊 赵发展 韩郑生 
针对高温引起MOSFET(金属氧化物半导体场效应晶体管)器件饱和输出电流值发生退化的问题,开展了对SOI(绝缘体上硅)工艺器件的高温特性分析.结果表明FDSOI的饱和输出电流随温度变化值ΔI/I=1.9%,远小于PDSOI的ΔI/I=24.1%.其原因是超薄体...
关键词:高温器件 超薄体FDSOI 输出电流 载流子迁移率 
22nm FD-SOI 静态随机存储器的可靠性研究
《微电子学》2021年第1期137-141,共5页贺泽 蔡畅 赵凯 赵培雄 李东青 刘天奇 刘杰 
国家自然科学基金资助项目(11690041)。
针对22 nm FD-SOI CMOS工艺静态随机存储器(SRAM),研究了工艺角、工作电压、测试温度、总剂量效应对器件性能的影响。通过自动测试设备(ATE),有效地提取了FD-SOI存储器在多种测试环境下的电学性能参数。测试结果表明,不同的工艺角对输...
关键词:全耗尽绝缘体上硅 静态随机存储器 可靠性 
SOI或将成为市场新动力,第六届上海FD-SOI论坛圆满落幕
《中国集成电路》2018年第10期6-6,共1页
近日,由SOI产业联盟、芯原控股有限公司、上海新傲科技股份有限公司与中国科学院上海微系统与信息技术研究所联合主办的第六届上海FD-SOI论坛在上海圆满落幕,论坛吸引了来自衬底、制造、EDA、IP、IC设计和系统设计等半导体产业链各环节...
关键词:SOI技术 上海 论坛 市场 IC设计 中国科学院 产业联盟 信息技术 
全球晶圆代工厂认证Synopsys公司的22nm FD-SOI工艺设计平台
《现代材料动态》2018年第2期14-14,共1页郑诗颖 
位于美国加利福尼亚州Ili景城的Synopsys公司宣布其全球晶圆代工厂已经认证了Synopsys的GF22nmFD-SOl(22FDX)工艺设计平台,采用业界领先的数字化设计工具,确保设计师们实现优化实施和可预见的验收结果。这一认证利用Synopsys设计平...
关键词:Synopsys公司 SOI工艺 设计平台 认证 工厂 晶圆 加利福尼亚州 设计工具 
全耗尽绝缘硅FD-SOI工艺技术的特点分析
《集成电路应用》2017年第11期38-41,共4页孔文 
上海市软件和集成电路产业发展专项基金(2016.160220)
在先进的IC制造工艺方面,由Intel主导的Fin FET一直大行其道。而最近这几年,SOI,包括FD-SOI和RF-SOI越来越受到人们的关注,特别是随着物联网和5G时代的到来,其技术优势和应用前景也越发地被看好。在应用层面,总的来说,Fin FET的目标市...
关键词:集成电路制造 全耗尽绝缘硅 RF-SOI 
格芯将与成都共同推动实施FD-SOI生态圈行动计划
《中国集成电路》2017年第6期13-13,共1页
格芯(GLOBALFOUNDRIES)近日宣布,在成都市政府的引导和支持下,双方将协同合作以推动中国半导体产业的创新发展。双方将合作建立一个世界级的FD—SOI生态系统,其中涵盖多个成都研发中心及高校合作的研究项目。该项累计投资超过1亿...
关键词:成都 生态圈 芯片设计 半导体产业 半导体公司 生态系统 研发中心 移动通信 
FD-SOI技术 半导体业下一个驱动成长新动能
《半导体信息》2016年第4期6-7,共2页
据海外媒体报道,全球半导体业界朝物联网(10T)等新兴领域开拓商机,惟这些新领域对芯片的需求是希望可达低成本及高功耗水准,为此业界目前发现透过全空乏绝缘上覆硅(Fully Depleted Silicon—on—Insulator;FD-SOI)制程新技术,...
关键词:半导体业 SOI技术 SILICON 动能 驱动 半导体产业 物联网 低成本 
Soitec半导体公司和FD-SOI技术:选择理想的企业和技术,助力中国创新蓝图
《今日电子》2016年第4期51-51,共1页
绝缘硅(SOI)晶圆制造商法国Soitec半导体公司在北京举办的新闻发布会中介绍了该公司在中国市场的发展历史、全耗尽绝缘硅(FD-SOI)基板的成熟性和生产及准备状态、FD-SOI的最新进展及其生态系统。会上主要讨论的问题包括该技术是否...
关键词:SOI技术 半导体公司 中国市场 半导体行业 企业 理想 创新 新闻发布会 
Soitec半导体FD-SOI技术助力中国创新蓝图
《半导体信息》2016年第2期21-22,共2页
由于在设计物联网系统单晶片方面表现出的超低功耗和节能应用,FD—SOI的能耗、性能、成本优势正日益受到瞩目,尤其在中国市场,其在智能手机、智能家居,和智能汽车方面的应用表现非常抢眼。
关键词:SOI技术 中国市场 FD 半导体 创新 节能应用 系统单晶片 超低功耗 
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