氧化锌薄膜

作品数:407被引量:1194H指数:17
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蓝宝石基底上制备蠕虫状ZnO及强紫外发光性能研究被引量:1
《光学学报》2022年第5期265-269,共5页刘姿彤 尤聂薇 朱亚彬 张致诚 刘歌 陈云琳 
国家大学生创新训练计划(210170067)。
选用纳米球刻蚀技术在蓝宝石(Al_(2)0_(3))基底上制备350 nm聚苯乙烯(PS)微球密排掩模版,然后采用反应射频磁控溅射方法分别在PS/Al_(2)0_(3)和Al_(2)0_(3)基底上沉积氧化锌(ZnO)薄膜,去除掩模版的PS微球后,对经退火处理的两种样品进行...
关键词:薄膜 紫外波段 光致发光 氧化锌薄膜 反应射频磁控溅射 纳米球刻蚀技术 
K掺杂量对氧化锌薄膜晶体结构和光学性能的影响被引量:4
《辽宁师范大学学报(自然科学版)》2020年第1期39-44,共6页王玉新 李真 王媛媛 赵帅 王磊 张巍 
辽宁省教育厅科学技术研究项目(LJ2019006)
利用溶胶-凝胶旋涂法(sol-gel)在玻璃衬底上制备了不同K掺杂量的K-N共掺ZnO薄膜.采用X射线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、紫外-可见分光光度计(UV-Vis)和光致发光谱(PL)对样品的晶体结构、表面形貌和光学性能进行了表征.结果表明:...
关键词:K掺杂 ZNO薄膜 透过率 光致发光谱 溶胶-凝胶法 
玉米蛋白质基底上射频磁控溅射法制备Zn O薄膜
《发光学报》2018年第10期1431-1438,共8页杨帆 王超 周路 初学峰 闫兴振 王欢 郭亮 高晓红 迟耀丹 杨小天 
国家自然科学基金(51672103);吉林省科技厅科研项目(20160204069GX;20170101111JC;20170520169JH);吉林省教育厅科研项目(JJKH20170243KJ;JJKH20170241KJ)资助~~
采用射频磁控溅射方法在蛋白质基底上成功地制备了ZnO薄膜,研究了不同靶基距、氩氧比和溅射功率条件对ZnO薄膜性质的影响。结果表明,较小的靶基距有助于ZnO薄膜的c轴择优取向生长。我们还发现,沉积于玉米蛋白质基底的ZnO薄膜存在不同程...
关键词:氧化锌薄膜 玉米蛋白膜 磁控溅射 X射线衍射 光致发光谱 
不同基片掺杂氧化锌薄膜光学特性的对比研究被引量:1
《现代制造技术与装备》2017年第9期73-75,共3页徐飞 
本论文阐述了不同基片掺杂ZnO薄膜的各种生长技术及原理,在玻璃和硅的衬底上采用磁控溅射的方法沉积ZnO薄膜,并用光谱仪设备分析和表征了它的反射率、光致发光性能。结果显示,相同基底掺杂不同材料ZnO薄膜所对应不同波段的反射率和光致...
关键词:磁控溅射 掺杂氧化锌薄膜 反射率 光致发光 
Al掺杂量对N-Al共掺ZnO薄膜光学性能的影响被引量:7
《辽宁师范大学学报(自然科学版)》2016年第2期181-185,共5页王玉新 刘奇 刘子伟 孙景昌 王晓玉 张巍 陈苗苗 
辽宁省教育厅科学研究一般项目(L2015292)
利用超声喷雾热解方法以不同的Al掺杂量在石英衬底上制备了N-Al共掺ZnO薄膜,并对其光学性能进行了研究.采用X射线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、紫外可见分光光度计(UV)和光致发光谱(PL)表征了样品的晶体结构、表面形貌、透过率和...
关键词:氧化锌薄膜 超声喷雾热解 N-Al共掺 透过率 光致发光谱 
氧化锌薄膜的缺陷发光和它作为白光光源的潜在应用(英文)被引量:3
《光谱学与光谱分析》2016年第5期1604-1614,共11页刘石 陈永健 崔海宁 孙胜男 王子涵 王海水 
Jointly Funded Project(61179055)of Chinese Civil Aviation Authority and National Natural Science Foundation of China;Grant(2012B040303007)of Science and Technology Planning Project of Guangdong Province;Talent Grant(2013-ZQXY-05)of Educational Commission of Guangdong Province,China
ZnO发光二极管(LEDs)在照明应用方面有着巨大的潜力。需要解决的主要问题是光的产生和对辐射的控制,这个问题来自LED波长的变化和组合。发现缺陷发光的ZnO有着各种波长范围,适合LED在白光产生方面的应用。同时展示了在实验和理论上可...
关键词:氧化锌薄膜的缺陷 缺陷发光与光致发光 白光LED 
衬底温度对脉冲激光沉积氧化锌薄膜性能的影响
《铸造技术》2014年第7期1468-1470,共3页赖冬寅 李烨 司马立强 王雷 
采用脉冲激光沉积(PLD)技术,在Si(100)衬底上制备出高度c轴取向的ZnO薄膜。运用X射线衍射(XRD)、光致发光谱(PL)、拉曼光谱(Raman)对衬底温度在300-700℃条件下沉积的氧化锌薄膜进行表征,研究了衬底温度对氧化锌薄膜结构和发...
关键词:衬底温度 氧化锌薄膜 结构特性 发光特性 脉冲激光沉积 
铝掺杂及温度对氧化锌薄膜发光特性的影响被引量:5
《真空科学与技术学报》2013年第11期1105-1109,共5页石市委 李洪霞 江锡顺 孙兆奇 
国家自然科学基金项目(51272001;51072001;61290301);教育部留学归国人才基金项目;国家重点基础研究发展计划(973计划)项目(2013CB632705);安徽大学青年科学研究项目(2009QN008A);安徽省级自然科学研究项目(KJ2010B148)
使用水热法在石英衬底上制备了掺铝氧化锌(AZO)薄膜,采用X射线衍射仪、扫描电子显微镜和低温光致发光谱技术对薄膜的微结构和发光性能进行了表征。结果表明,薄膜由氧化锌纳米锥构成,纳米锥直径大部分都在100 nm以下,且具有明显的沿c轴...
关键词:氧化锌 铝掺杂 光致发光 热淬灭 
种子层诱导溶胶-凝胶法Li,Mg掺杂ZnO薄膜的结构及光电性能研究被引量:4
《人工晶体学报》2013年第7期1272-1277,共6页张利静 方华靖 严清峰 沈光球 王晓青 沈德忠 
清华大学信息科学与技术国家实验室(筹)学科交叉基金;清华大学自主科研计划资助课题;国家自然科学基金重点项目(51132005)
本文以ZnO为种子层采用溶胶-凝胶法制备了Li、Mg掺杂的氧化锌薄膜。利用XRD、SEM、PL等手段对薄膜的结构、表面形貌和发光性能进行了表征,研究了不同掺杂情况、种子层、旋涂次数对Li、Mg掺杂的ZnO薄膜性能的影响。结果表明预铺种子层、...
关键词:氧化锌薄膜 溶胶-凝胶法 种子层 旋涂 光致发光 
掺钼氧化锌薄膜的发光特性被引量:3
《真空科学与技术学报》2013年第3期245-248,共4页石市委 徐汉淑 李洪霞 朱煜东 孙兆奇 
国家自然科学基金项目(51272001;51072001;61290301);安徽大学青年科学研究基金项目(2009QN008A)
使用磁控溅射法在石英基底上制备钼掺杂氧化锌薄膜。扫描电镜结果表明薄膜由晶粒大小为40~80 nm范围内的颗粒组成,薄膜具有六方纤锌矿型结构且沿c轴择优取向生长。在可见光范围(400~760 nm)内所有薄膜的平均光透射率超过90%。退火薄...
关键词:钼掺杂 氧化锌 微结构 光致发光 退火 
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