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MEMS: 作品数：5499被引量：11021H指数：29; 导出分析报告; 相关领域：电子电信自动化与计算机技术更多>>; 相关作者：黄庆安苑伟政张国军张文栋刘理天更多>>; 相关机构：东南大学中北大学上海交通大学中国科学院更多>>; 相关期刊：更多>>; 相关基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划国家重点基础研究发展计划中国博士后科学基金更多>>

《传感技术学报》期刊征订: 《传感技术学报》2025年第3期F0003-F0003,共1页; 《传感技术学报》是由中国微米纳米技术学会和东南大学联合主办,东南大学《传感技术学报》编辑部出版发行的学术性刊物,是我国在介绍传感器理论和应用领域方面较为全面的惟一的学术性刊物,1988年创刊,属大16开月刊。主要刊登传感器、执...; 关键词：执行器 MEMS 传感技术学报传感器

微热流矢量传感器的声号筒增敏结构设计: 《传感技术学报》2024年第12期2029-2036,共8页郝涛涛郭世旭胡清扬王萧博; 国家自然科学基金青年基金项目(11904346)。; 为了能有效提高微热流矢量传感器的灵敏度,同时不改变其“8”字指向性,设计了一种微型声振速号筒结构,可以在不增加电噪声的前提下,实现微热流MEMS传感器在工作频段内的物理增敏,且对MEMS芯片起到保护作用。通过COMSOL中的热粘性声学模...; 关键词：微热流矢量传感器声号筒增敏结构联合增敏单元 MEMS

三轴MEMS陀螺仪轨迹跟踪的自耦PID控制方法: 《传感技术学报》2024年第9期1586-1592,共7页熊洛曾喆昭; 国家自然科学基金资助项目(61040049);湖南省教育厅重点项目(21A0183)。; 为了有效提高三轴微机械(Micro-Electro-Mechanic System,MEMS)陀螺仪的抗干扰能力和检测精度,基于自耦PID控制理论提出了一种简单的陀螺仪控制方法。该方法将三轴MEMS陀螺仪控制问题分解为三个严格反馈子系统的控制问题,然后将三个子...; 关键词：三轴 MEMS 陀螺仪轨迹跟踪自耦 PID 控制自适应速度因子

基于超材料吸波结构的MEMS热电堆红外温度传感器设计: 《传感技术学报》2024年第7期1109-1113,共5页谢宇浩吕丝旭张志强; 国家自然科学基金项目(61604039);至善青年学者支持计划项目(2242019R40030)。; 提出了一种基于超材料吸波结构的MEMS热电堆红外温度传感器,避免了使用特殊的滤光片进行封装,从而降低了传感器的体积。在设计上,采用超材料吸波结构将待测目标辐射的红外光选择性吸收,并将光能转化为热。通过利用时域有限差分方法研究...; 关键词：红外温度传感器超材料吸波结构热电堆 MEMS

SCG信号处理与应用研究进展被引量：1: 《传感技术学报》2024年第6期923-940,共18页王超超胡钧益蒋治国张先超; 浙江省自然科学基金项目(LQ23F010006);浙江省教育厅一般科研项目(Y202249280);浙江省“鲲鹏行动”计划项目。; 心血管疾病是严重影响人类生命健康的因素之一。如何利用各类检测方法对人体心血管进行早期健康评估和疾病诊断是有效保障人民生命健康的有效手段。其中,由人体心脏跳动引起的胸腔震动信号(Seismocardiography,SCG)可用于描述细粒度的...; 关键词：心震图 MEMS 加速度传感器陀螺仪 FMCW雷达心血管

双控制模式MEMS风速风向传感器设计、仿真及制备: 《传感技术学报》2024年第5期750-755,共6页田舟洲谢雨珏易真翔秦明; 国家自然科学基金项目(61727812)。; 针对恒温差模式下的MEMS风速风向传感器量程较小等问题,首次提出了一种恒温差和温度平衡双控制模式的MEMS风速风向传感器芯片。通过改变加热、测温电阻在传感器芯片的位置以及加热电阻的工作状态,用于实现传感器在低风速和高风速下处于...; 关键词：微机电系统(MEMS) 热式风速风向传感器恒温差模式温度平衡模式

热振子式Z轴MEMS角速度陀螺敏感机理的研究: 《传感技术学报》2024年第2期189-194,共6页朴林华佟嘉程李备张严; 国家自然科学基金资助项目(61771060);北京市教育委员会科研计划项目资助(KZ20231123221);北京市新世纪百千万人才工程培养资助项目(2019A20);北京市重点实验室开放课题资助项目(2024202109);北京信息科技大学促进高校分类发展项目(20240416);北京信息科技大学北京市传感器重点实验室资助(2024202108);北京信息科技大学学科与研究生教育校内项目(20240403);现代测控技术教育部重点实验室资助(2023202101)。; 揭示了一种热振子式Z轴MEMS角速度陀螺的敏感机理。在给出工作原理、热振子的振动模态和陀螺效应的基础上,对敏感结构内的温度场进行了计算。结果表明:(1)开机1.8 s后在敏感结构内形成一个稳定的温度场。(2)热振子在Y方向建立驱动模态,...; 关键词：陀螺敏感机理陀螺效应数学模型微机械热振子

MEMS风速风向传感器倾斜效应研究: 《传感技术学报》2024年第2期202-208,共7页韦杰王志明田兵张伟勋卢星宇李远罗星恒易真翔秦明; 国家重点研发计划项目(2022YFB3206800);南网数研院输电线路微气象MEMS风速风向传感技术研究项目(670000KK52220016)。; 主要针对智能电网、海上浮标等容易发生倾斜状态的应用场景,研究了微电子机械系统(MEMS)热式风速风向传感器的输出性能,并对带有空气动力学壳罩的传感器进行了有限元仿真和风场测试。测试结果表明,风向测量误差和仿真误差均较小,但风速...; 关键词：微电子机械系统风速风向传感器热式倾斜效应

薄膜体声波谐振器(FBAR)滤波器研究被引量：1: 《传感技术学报》2023年第11期1669-1680,共12页廖俊杰冯耀刚万蔡辛蔡春华秦明张志强; 国家自然科学基金项目(61604039);至善青年学者支持计划项目(2242019R40030)。; 薄膜体声波谐振器(FBAR)滤波器具有小尺寸、高频、宽频带、高功率容量等特点,符合5G通信系统对射频滤波器的要求,因而成为射频滤波器的研究热点。对FBAR滤波器的结构原理、电路拓扑形式、关键材料和空腔结构方案四个方面进行了综合阐述...; 关键词：MEMS FBAR滤波器电路拓扑形式关键材料空腔结构方案

长条形阵列铁芯磁通门性能研究: 《传感技术学报》2023年第11期1701-1705,共5页崔智军刘琛; 陕西省自然科学基础研究计划项目(2022JM-391);安康市科学技术研究发展计划项目(AK2022-GY-08)。; 为了提高微型磁通门传感器的性能,改进铁芯结构,基于MEMS工艺制作了35组不同结构的长条形阵列铁芯。利用双铁芯线圈结构磁通门对制作的35组长条形阵列铁芯进行了磁通门性能指标的测试,分析了长条形阵列铁芯排列密度以及单条铁芯宽度对...; 关键词：磁通门长条形阵列铁芯 MEMS 性能指标

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