MEMS移相器

作品数：16被引量：29H指数：3
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相关作者：赖宗声朱自强朱健郁元卫贺训军更多>>
相关机构：华东师范大学哈尔滨工业大学南京电子器件研究所哈尔滨理工大学更多>>
相关期刊：《航空科学技术》《电子学报》《电子器件》《清华大学学报（自然科学版）》更多>>
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Ka波段开关线型MEMS移相器的设计与研究被引量：1
《微电子学》2022年第3期492-497,共6页吴倩楠 范丽娜 侯文 李孟委 
山西省研究生教育改革课题(110121)。
面向现代通信及相控阵雷达领域的需求,设计了一种移相间隔为22.5°的Ka波段4位开关线型射频MEMS移相器。主要对实现移相功能的四个移相单元进行了设计,采用台阶补偿技术优化移相单元上下通路分工选通,以提供最佳的阻抗匹配;采用直角转...
关键词：移相器 MEMS 高精度 小体积 直角转角 
适用于小卫星的低成本相控阵天线技术研究被引量：3
《电子质量》2021年第3期7-10,共4页田垒 
相控阵天线时卫星雷达天线的发展方向之一,但由于价格高昂,多年来制约了其在星载平台的发展。随着近年来新材料、新器件的面世及发展,如TR组件专用多功能芯片、MEMS移相器、SiGe芯片、CMOS芯片等技术在不断发展。采用这些先进技术,可有...
关键词：相控阵天线 低成本 星载平台 多功能芯片 MEMS移相器 SiGe芯片 CMOS芯片 
毫米波MEMS移相器模块用驱动电路研究被引量：2
《固体电子学研究与进展》2019年第1期23-27,共5页黄镇 朱健 郁元卫 姜理利 
设计了一种4 bit毫米波MEMS移相器驱动电路,主要由24 bit串并转换电路、高压控制电路和升压电路组成。利用24 bit串并转换电路和高压控制电路,实现了波控机控制系统与MEMS移相器的接口转换,满足毫米波MEMS移相器对正反相驱动电压的要求...
关键词：升压电路 MEMS移相器 串并转换电路 
4位毫米波MEMS移相器被引量：4
《固体电子学研究与进展》2013年第6期528-532,共5页郁元卫 姜理利 朱健 
报道了一款开关线型Ka波段MEMS移相器,采用了16只悬臂梁结构MEMS开关,实现了4位相移。采用阶梯阻抗共面波导(CPW)传输线设计,实现了一种新型而紧凑的移相器阻抗匹配的结构。采用RF MEMS低温表面牺牲层工艺,在高阻硅片上实现了单片4位MEM...
关键词：KA波段 微电子机械系统移相器 开关线 插入损耗 
基于电容电感移相单元的MEMS移相器被引量：2
《清华大学学报（自然科学版）》2012年第5期715-719,共5页刘泽文 李玲 
为减小基本结构开关线型微机电(MEMS)移相器的面积,提出了一种新型的基于电容电感移相单元的小型化3位开关线型MEMS移相器。该移相器用MEMS工艺制成的交叠结构的电容电感移相单元代替原始的延迟传输线,其90°移相单元的长度比传统90°...
关键词：微机电(MEMS)移相器 开关线型 电容电感移相单元 小型化 
Ka波段0/Π MEMS移相器被引量：3
《固体电子学研究与进展》2012年第1期68-72,共5页郁元卫 朱健 姜理利 施毅 
报道了一种Ka波段实时延MEMS移相器芯片。该移相器基于开关线式移相器设计原理,集成了4个MEMS三端口直接接触式毫米波开关单元,使用共面波导（CPW）传输线,利用阶梯阻抗的方式实现传输线拐角和CPW空气桥结构的传输线阻抗匹配。芯片采用R...
关键词：KA波段 微机电系统移相器 毫米波微机电系统开关 开关线 
射频MEMS及其在相控阵系统中的应用
《电讯技术》2010年第9期119-124,共6页彭祥龙 石星 
概述了国内外射频MEMS移相器的研究情况,分析了射频MEMS技术给相控阵系统设计带来的优势如:降低系统功耗,实现宽带阵列、自适应阵列与低成本相控阵等,介绍了国外MEMS相控阵天线实例与毫米波MEMS相控阵系统方案。
关键词：MEMS移相器 相控阵系统 低成本 毫米波 
毫米波MEMS移相器及在相控阵中的应用被引量：3
《航空科学技术》2009年第2期25-29,共5页傅佳辉 吴群 贺训军 孟建新 
航空科学基金资助(资助编号:20060112105;20080177010)
通过对MEMS移相器的分析,设计了一种采用绝缘介质层与锯齿形共面波导结构的新型毫米波MEMS移相器,有效提高了移相器的单桥相移量并降低了器件的反射损耗。设计了一种适合于分布式MEMS传输线移相器的芯片微封装结构和结构制备工艺,该器...
关键词：毫米波 MEMS 移相器 相控阵 
Ka波段分布式MEMS移相器低驱动电平容性开关的机电设计被引量：1
《电子器件》2007年第5期1835-1838,共4页贺训军 吴群 金博识 宋明歆 殷景华 
国家自然科学基金资助项目(60571026);哈尔滨工业大学跨学科交叉性研究基金资助(HITMD200307)
为降低Ka波段分布式MEMS移相器容性开关的驱动电压,提出不同形状新型低弹性系数铰链梁结构MEMS电容开关的机电设计概念.采用Intelli SuiteTM和ADS软件分析了三种梁结构MEMS电容开关的位移分布、驱动电压、机械振动模式和射频性能等参数...
关键词：MEMS移相器 电容开关 低驱动电压 机电特性 射频特性 
多层弯曲磁芯微执行器的吸合现象被引量：1
《纳米技术与精密工程》2007年第2期98-101,共4页郭永献 贾建援 张大兴 梁丽萍 
国家自然科学基金资助项目(10476019)
从多层弯曲磁芯微执行器的模型及原理出发,应用静磁执行器的吸合方程,分别用磁动势控制模型和磁通控制模型对多层弯曲磁芯微执行器的吸合现象进行了理论分析.计算及仿真结果表明:多层弯曲磁芯微执行器存在临界吸合角度,磁动势控制模型...
关键词：多层弯曲磁芯微执行器 吸合现象 磁动势 MEMS移相器 
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