测辐射热计

作品数:210被引量:333H指数:8
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双层伞状开孔的微测辐射热计红外吸收分析
《半导体光电》2023年第1期44-48,共5页蒋君贤 王涛 陈超 吴志明 王军 
建立了具有伞状吸收层结构的微测辐射热计探测单元的红外吸收模型。基于光学导纳矩阵法和阻抗匹配理论,采用三维电磁仿真软件CST,对伞状结构不同开孔尺寸和形状下模型的红外吸收特性进行了分析。结果表明,双层伞状开孔微测辐射热计光学...
关键词:微测辐射热计 光学仿真 小像元 吸收率 微桥结构 
基于有限元法的12μm微测辐射热计单元设计
《半导体光电》2020年第1期15-19,共5页史佳欣 陈超 王军 
基于多物理场有限元分析与理论计算相结合的方法,采用Intellisuite软件完成了12μm×12μm微测辐射热计结构的设计与仿真,具体工作包括:单元结构二维版图及工艺流程设计和单元结构三维精确建模,结合实际MEMS结构的材料参数,进行了电学...
关键词:微测辐射热计 小像元 非致冷红外焦平面探测器 有限元仿真 热电耦合分析 
基于三维有限元模型的微测辐射热计TCR及电学性能研究
《半导体光电》2015年第6期895-900,共6页陈超 马加锋 蒋亚东 王涛 
国家自然科学基金项目(61235006;61421002)
微测辐射热计结构的电阻温度系数(TCR)及其电阻值对非致冷红外焦平面探测器的性能有极大影响。基于精确的微测辐射热计三维模型,采用热电偶合有限元方法,分析了其电学特性,针对所建立模型,加载0.5~10μA的直流偏置电流,得到各偏置下...
关键词:微测辐射热计 有限元分析 电阻温度系数 热电耦合场分析 电学特性 
基于有限元法的微测辐射热计热电性能研究被引量:2
《半导体光电》2015年第5期689-692,共4页陈超 蒋亚东 马加锋 
国家自然科学基金项目(61235006;61421002)
采用有限元法针对微测辐射热计的热电耦合敏感机理进行研究。建立微测辐射热计精确三维有限元模型,采用动态热电有限元方法对器件的热电特性进行了分析,得到了其热电耦合场下的温度响应特性,并获取其热容、有效热时间常数和有效热导值...
关键词:微测辐射热计 有限元分析 热导 热时间常数 热电耦合场分析 
微测辐射热计阵列读出电路的单片集成设计
《半导体光电》2015年第3期365-368,共4页薛培帆 王维敏 仲顺安 
微测辐射热计阵列读出电路的单芯片集成,有利于红外焦平面阵列的智能化和红外成像系统的便携化发展。提出了一种非致冷红外焦平面阵列读出电路,基于SMIC 0.18μm CMOS工艺,采用CTIA型单元读出电路结构,实现了偏置模块、驱动信号源模块...
关键词:微测辐射热计 红外焦平面 读出电路 CTIA 单芯片集成 
磁控溅射纳米VO_2(B相)热敏薄膜的制备
《半导体光电》2012年第4期500-502,共3页何少伟 陈鹏杰 胡庆 董翔 蒋亚东 赖建军 王宏臣 黄光 
创新研究群体科学基金项目(61021061)
利用磁控反应溅射镀膜方法在低温(250℃)条件下制备了主要成分为B相亚稳态二氧化钒(VO2)的薄膜材料。电学性能测试表明:室温下该薄膜的方块电阻为50kΩ左右,电阻温度系数为-2.4%/K,可以作为非致冷红外微测热辐射热计的热敏材料。
关键词:二氧化钒薄膜 磁控溅射 微测辐射热计 非致冷红外探测器 电阻温度系数 
室温红外探测用非晶Ti薄膜的制备及表征
《半导体光电》2009年第5期708-710,730,共4页刘爽 陈煦 杨亚培 熊平 刘俊刚 
电子科技大学青年基金资助课题
采用快速蒸发并冷却衬底的方法,在不同衬底结构上制备出了电阻温度系数(TCR)优于0.25%的红外探测用非晶Ti薄膜。通过表征分析了氧对薄膜电阻影响,以及组分对其性能的影响。研究表明,Ti薄膜有较强吸附氧能力,低价态的Ti利于红外探测。提...
关键词:室温红外探测 红外探测材料 微测辐射热计 Ti薄膜 非晶薄膜 
新型非致冷红外探测器被引量:8
《半导体光电》2005年第5期374-377,385,共5页刘兴明 韩琳 刘理天 
介绍了近年来出现的各种新型非致冷红外探测器,对不同探测器的基本工作原理、器件结构、制作工艺以及性能的优缺点进行了讨论和对比,并对非致冷红外探测器的改进方向进行了预测。
关键词:非致冷红外探测器 微测辐射热计 非晶硅薄膜晶体管 红外探测器 机械式探测器 
CMOS工艺制作的横向多晶硅p^+p^-n^+结的温度特性及其应用
《半导体光电》2005年第3期219-222,共4页陈二柱 梁平治 
应用标准CMOS工艺制作了横向多晶硅p+p-n+结,对其正向电流电压的温度特性进行了理论分析和实验研究。实验结果表明:横向多晶硅p+p-n+结的理想因子为1.89;在室温附近(T=27℃),恒定的正向偏置电流(1μA)工作条件下,横向多晶硅p+p-n+结正...
关键词:横向多晶硅p^+p^-n^+结 CMOS工艺 微测辐射热计 
微测辐射热计FPA的热学分析
《半导体光电》2005年第B03期37-39,44,共4页王享田 宋建伟 吴志明 蒋亚东 
微测辐射热计FPA的热设计是非致冷红外探测器设计的难点和关键。针对RIO推出的μm×25μm IRFPA对其热性能作了分析,分析了桥面尺寸的减小对探测元被红外辐照后的温度变化率的影响,以及单个探测元在受红外辐照和偏置脉冲时的温度变化...
关键词:微测辐射热计 有限元 热设计 温度场 
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