姚明秋

作品数：7被引量：13H指数：2
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供职机构：中国工程物理研究院电子工程研究所更多>>
发文主题：微加速度传感器加速度传感器压电层固有频率阳极键合更多>>
发文领域：电子电信机械工程轻工技术与工程电气工程更多>>
发文期刊：《光学精密工程》《科技风》《微纳电子技术》《强激光与粒子束》更多>>
所获基金：国家自然科学基金中国工程物理研究院科技发展基金更多>>
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单晶硅各向异性湿法刻蚀的形貌控制被引量：6
《光学精密工程》2016年第2期350-357,共8页姚明秋 唐彬 苏伟 
国家自然科学基金资助项目(No.51305412);中国工程物理研究院超精密加工技术重点实验室研究基金资助项目(No.2012CJMZZ00003)
针对摆式微加速度计的制作,对利用两种添加剂共同修饰的TMAH刻蚀液的单晶硅湿法刻蚀技术及其相关刻蚀特性进行了研究。分析了两种添加剂之间的作用机理及对单晶硅湿法刻蚀的影响,选择合适的添加剂刻蚀液配比,实现了稳定的刻蚀形貌控制...
关键词：单晶硅 湿法刻蚀 形貌控制 三重溶液 表面粗糙度 凸角 
Au薄膜溅射功率对ZnO/Au复合薄膜质量的影响
《太赫兹科学与电子信息学报》2015年第6期980-982,共3页王旭光 姚明秋 席仕伟 徐韩 
在ZnO薄膜上采用不同溅射功率制作了Au薄膜,研究不同溅射功率对Au膜成膜速率、结晶质量和结合力的影响,表明在本实验中100 W功率下Au膜的成膜质量比较好。同时对Zn O薄膜电阻的影响进行了研究,结果表明溅射功率越高,ZnO导通的可能性越大...
关键词：溅射 溅射功率 Au薄膜 ZnO电阻 
热处理对ZnO/Au薄膜结构和压电特性的影响(英文)被引量：1
《强激光与粒子束》2015年第2期176-180,共5页杨杰 陈光焱 王旭光 沈朝阳 姚明秋 
supported by National Natural Science Foundation of China(61101038)
通过射频磁控溅射在氧化硅片表面沉积ZnO/Au薄膜,并通过不同的热处理方式对薄膜进行退火。为了研究退火对ZnO/Au薄膜结构和压电特性的影响,采用X射线衍射分析(XRD)、光学显微镜、场发射扫面电镜(FESEM)和压电力分析仪对薄膜退火前后的...
关键词：ZnO/Au 薄膜 压电特性 结构特性 退火 
不同阳极键合结果的影响因素研究被引量：2
《科技风》2015年第2期14-15,共2页王芳 姚明秋 
本文对阳极键合产生的气泡形貌、键合电流和Na离子积聚进行了研究,通过对硅片三种不同处理方式研究其对气泡产生的影响,处理方式包括亲水、疏水和未处理,结果表明经亲水处理的硅片可有效减少气泡的尺寸和数量。键合电流下降的速度与硅...
关键词：阳极键合 亲水 疏水 峰值电流 
低温阳极键合工艺研究被引量：1
《太赫兹科学与电子信息学报》2014年第6期922-926,共5页姚明秋 李玉萍 唐彬 苏伟 陈颖慧 
中国工程物理研究院超精密加工技术重点实验室资助项目(2012CJMZZ00006)
对低温阳极键合特性进行了研究。通过对硅片进行亲水、疏水和表面未处理3种不同处理方式研究其对键合的影响,键合前将硅片浸入去离子水(DIW)中不同时间,研究硅表面H基和氧化硅分子数量对键合的影响。结果表明经亲水处理的硅片在水中浸泡...
关键词：阳极键合 低温 亲水 疏水 气泡 
TMAH+Triton中Si湿法腐蚀机理研究现状被引量：2
《微纳电子技术》2014年第6期386-393,共8页姚明秋 苏伟 唐彬 王芳 
国家自然科学基金资助项目(51305412);中国工程物理研究院超精密加工技术重点实验室课题资助项目(2012CJMZZ00003)
在微机电系统(MEMS)领域硅各向异性湿法腐蚀是制作许多元器件的一项重要技术,加入非离子型表面活性剂的腐蚀液可以在硅基片上制作出各种形状,但是对于真正的腐蚀机理还有待进一步研究。介绍了硅湿法腐蚀机理的研究现状,通过不同腐蚀条...
关键词：各向异性湿法腐蚀 四甲基氢氧化铵(TMAH) TRITON X-100 表面活性剂吸附 腐蚀速率 
AlN压电薄膜的制备工艺被引量：2
《微纳电子技术》2013年第8期506-511,共6页陈颖慧 王旭光 席仕伟 施志贵 姚明秋 
中国工程物理研究院科技发展基金重点课题资助项目(2010A0302013);中国工程物理研究院超精密加工技术重点实验室课题资助项目(2012CJMZZ00003;2012CJMZZ00006)
采用射频反应磁控溅射法制备了AlN压电薄膜,并分析了制备条件对AlN薄膜性能的影响。为了确定c轴择优取向生长AlN薄膜的制备工艺参数,设计了关于溅射功率、衬底温度、氮氩体积比和气氛压强这四个参数的工艺实验,研究了不同的工艺条件对Al...
关键词：ALN薄膜 射频反应磁控溅射 c轴择优取向 X射线衍射(XRD) 原子力显微镜(AFM) 
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